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公开(公告)号：CN116418269A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111659880.X
申请日：2021-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种多绕组直线电机及其控制方法，该多绕组直线电机包括：第一驱动模块、第二驱动模块和主控模块，第一驱动模块包括电连接的第一绕组和第一驱动开关功率单元，第二驱动模块包括电连接的第二绕组和第二驱动开关功率单元，该两个绕组相互独立无耦合关系，第一绕组的匝数大于或等于第二绕组的匝数；主控模块用于通过第一驱动开关功率单元驱动第一绕组产生第一推力并进行电机定位，再根据第一绕组的电流信号通过第二驱动开关功率单元驱动第二绕组产生与第一推力反向的第二推力。本发明实施例中，通过电气连接实现多绕组直线电机控制，结构简单，控制过程方便，平稳性好，易于工程实现。
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公开(公告)号：CN116418255A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202111659471.X
申请日：2021-12-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明实施例公开了一种光刻机系统及其驱动控制方法，光刻机系统包括永磁直线电机运动平台、多个永磁直线电机以及多个位置传感器；驱动控制方法包括：在所述运动平台工作时，检测得到所述永磁直线电机的电磁参数，所述永磁直线电机的电磁参数至少包括电机位置信号和电机速度信号；若所述永磁直线电机的电磁参数不满足预设电机运行规则，确定所述永磁直线电机位置工作状态异常，并将所述永磁直线电机的工作模式切换为备用控制模式。本发明实施例，解决了位置传感器失效时导致永磁直线电机异常飞车问题，提高了系统稳定性。
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公开(公告)号：CN109725495B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201711046800.7
申请日：2017-10-31
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供一种防撞装置及曝光机台，所述防撞装置包括力传递机构和缓冲机构，所述力传递机构包括一环形结构，所述环形结构用于以非接触的方式包围一物体；所述缓冲机构为多个并用于在所述物体的四周设置，多个所述缓冲机构用于分别与所述物体以及所述力传递机构连接。所述曝光机台包括曝光台以及所述防撞装置。本发明提供的防撞装置能够承受所述物体由于惯性而产生的碰撞，避免了所述物体与其他部件发生直接碰撞，保护了所述物体和所述其他部件；同时，此种结构的防撞装置占用空间小以及可承受来自所述物体任意方向上的碰撞。
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公开(公告)号：CN109856916A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711244615.9
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种防撞装置、工件台及曝光装置，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。
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公开(公告)号：CN109799682A
公开(公告)日：2019-05-24
申请号：CN201711140379.6
申请日：2017-11-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109799682B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201711140379.6
申请日：2017-11-16
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种防撞装置，包括：框架、第一缓冲结构、第二缓冲结构及连接部件，所述第一缓冲结构的一端与所述第二缓冲结构的一端通过所述连接部件呈锐角可旋转相连，所述第一缓冲结构的另一端与所述第二缓冲结构的另一端设置在所述框架上。本发明的防撞装置通过两个一端通过连接部件呈锐角可旋转相连的缓冲结构将连接部件引导施加的任意方向上的撞击力转化两个缓冲结构垂向的力，解决了传统一维的油压缓冲器或记忆合金防撞条只能防撞一个方向的碰撞的问题；防撞装置的结构布局简单，安装调试大为便捷，减轻了防撞装置自身的重量；不占用垂向空间，应用到光刻机工件台系统时节省了大量空间，方便工件台系统的后续升级改进。
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公开(公告)号：CN104682656B
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：CN201310612815.0
申请日：2013-11-26
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: H02K33/18
CPC classification number: H02K41/0356 , H02K1/17 , H02K1/34 , H02K7/09
Abstract: 本发明提供了一种平板音圈电机，包括线圈单元和两个主磁极单元，两个所述主磁极单元对所述线圈单元施加安培力，所述线圈单元内包括弱磁性小磁铁，所述两个主磁极单元对所述弱磁性小磁铁作用合力为竖直向上。本发明在线圈单元中设置了弱磁性小磁铁，通过所述弱磁性小磁铁与主磁极单元之间的磁斥力或者磁吸力始终为线圈单元提供竖直向上的力，从而实现了重力的补偿，且该结构的设置是将线圈单元中的部分构件换做了弱磁性磁铁，既不会影响线圈单元中的线圈所受到的安培力，也不会因结构的增加而产生增加电机发热这样的不利后果。
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公开(公告)号：CN109848691B
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：CN201711244930.1
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种调节锁紧装置，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；一配合单元，所述配合单元转移所述定位簧片施加至所述调节单元和所述锁紧单元的反作用力。本发明在实现微动电机的高度和水平度调节与锁紧的同时，将调节锁紧作业时产生的反作用力作用于自身机构壳体上，减小了对粗动壳体的影响，提升了运动台的可靠性。通过改进调节锁紧装置的结构，减小了垂向尺寸，提高了调节精度。
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公开(公告)号：CN109856916B
公开(公告)日：2021-01-29
申请号：CN201711244615.9
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明提供了一种防撞装置、工件台及曝光装置，所述防撞装置安装在工件台的边缘，可以节省工件台内部的大量空间；所述滚轮套接在所述转轴组件外，所述滚轮能够相对所述工件台转动，当工件台失控时，由于防撞装置安装在工件台的边缘，保证了发生碰撞的部件始终是防撞装置，防撞装置中的滚轮可以转动，以吸收碰撞能量，避免损伤工件台内的精密部件，并且所述防撞装置占用空间小、重量轻，也可实现对任意方向碰撞的防撞。
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公开(公告)号：CN109848691A
公开(公告)日：2019-06-07
申请号：CN201711244930.1
申请日：2017-11-30
Applicant: 上海微电子装备(集团)股份有限公司
Abstract: 本发明提供了一种调节锁紧装置，包括：与所述微动电机连接的定位簧片；一调节单元，所述调节单元通过调节所述定位簧片的垂向高度以调整所述微动电机的垂向位置；一锁紧单元，所述锁紧单元通过锁紧所述定位簧片以锁紧所述微动电机；一配合单元，所述配合单元转移所述定位簧片施加至所述调节单元和所述锁紧单元的反作用力。本发明在实现微动电机的高度和水平度调节与锁紧的同时，将调节锁紧作业时产生的反作用力作用于自身机构壳体上，减小了对粗动壳体的影响，提升了运动台的可靠性。通过改进调节锁紧装置的结构，减小了垂向尺寸，提高了调节精度。
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