一种半导体衬底及其制备方法

    公开(公告)号:CN101958236A

    公开(公告)日:2011-01-26

    申请号:CN200910055072.5

    申请日:2009-07-20

    Abstract: 本发明提供一种半导体衬底的制备方法,包括:提供铝酸锂晶片,使用溅射法在所述铝酸锂晶片上沉积AlN膜层得到半导体衬底。本发明以铝酸锂晶体作为基底,然后在上面采用溅射法沉积AlN膜层制成半导体衬底,由于铝酸锂与GaN的晶格失配度小,作为GaN晶体生长的衬底时,易于制备GaN外延薄膜,并减少由应力引起的高缺陷密度。当在铝酸锂晶片上沉积与GaN晶体结构相同、晶格常数相近的AlN膜层时,可以解决由于铝酸锂晶体和GaN之间的热膨胀差异而导致的GaN外延片开裂的问题。而且,AlN作为缓冲层还可以阻止铝酸锂衬底中Li的挥发,并保护铝酸锂衬底不受酸性或还原性气氛的腐蚀。

    一种半导体衬底及其制备方法

    公开(公告)号:CN101958236B

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN200910055072.5

    申请日:2009-07-20

    Abstract: 本发明提供一种半导体衬底的制备方法,包括:提供铝酸锂晶片,使用溅射法在所述铝酸锂晶片上沉积AlN膜层得到半导体衬底。本发明以铝酸锂晶体作为基底,然后在上面采用溅射法沉积AlN膜层制成半导体衬底,由于铝酸锂与GaN的晶格失配度小,作为GaN晶体生长的衬底时,易于制备GaN外延薄膜,并减少由应力引起的高缺陷密度。当在铝酸锂晶片上沉积与GaN晶体结构相同、晶格常数相近的AlN膜层时,可以解决由于铝酸锂晶体和GaN之间的热膨胀差异而导致的GaN外延片开裂的问题。而且,AlN作为缓冲层还可以阻止铝酸锂衬底中Li的挥发,并保护铝酸锂衬底不受酸性或还原性气氛的腐蚀。

    可同时测试多个灯具的LED照明灯具发光维持率测试装置

    公开(公告)号:CN202217045U

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201120335174.5

    申请日:2011-09-07

    Abstract: 一种可同时测试多个灯具的LED照明灯具发光维持率测试装置,属测量领域。其包括一依次设有光电转换模块、信号放大/滤波模块、单片机模块和电源模块的主机,在主机上设有数个与光电转换模块电连接的光纤束法兰;设置数组光纤束,各光纤束的首端分别固定在一个待测灯具处,各光纤束的末端分别经过光纤束法兰与主机内的光电转换模块连接;单片机模块与相关外设模块和SD存储卡模块连接;其各个光纤束内分别设有一根玻璃光纤,在每根玻璃纤维的外部设置护套,在每根光纤束的首/末端设置首/末端端套。其可自动采集多个LED灯具的光辐射能量,经模/数信号转换,并换算成相应的照度值,自动记录、存储在标准SD卡中。特别适用于LED灯具的寿命性能测试领域。

Patent Agency Ranking