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公开(公告)号：CN105149714B
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201510603208.7
申请日：2015-09-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: B23K1/00 , C09J11/04 , B23K101/18
Abstract: 一种金属板无压痕胶焊连接方法，通过将混有金属颗粒的胶粘剂涂覆于水平放置的两层金属板之间，将两层金属板逐步通过施加有焊接电流的滚筒电极对之间，通过滚筒电极‐金属板‐金属颗粒之间形成闭合回路实现冶金连接，最后将胶粘剂固化处理后完成无压痕固接。本发明能够显著提高接头的剥离强度同时消除点焊压痕，同时亦可应用于异质金属板料的连接，处理后正拉强度可达到7000N左右。
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公开(公告)号：CN103192384B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310076619.6
申请日：2013-03-11
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种集成旋转变压器的静态真空轴系装置，包括：驱动部件、真空密封罩、位置检测部件、轴系基座、真空隔离套、第二O型密封圈、第一O型密封圈、第一滚动轴承、第二滚动轴承、轴承隔环、传动轴、轴系法兰、游动滚动轴承、轴承压盖、轴承压盖、第三O型密封圈；所述驱动部件包括同轴安装的电机定子、旋转变压器定子、电机与旋转变压器一体化转子、转子法兰盘、定子固定压块；所述真空密封罩包括密封罩上法兰、密封罩、密封罩下法兰。本发明使电机轴与负载的刚性耦合，从而实现了“零传动”方式，并实现了轴系的“零泄漏”密封传动，尤其适用高真空环境下真空机器人的动力传动。
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公开(公告)号：CN103219856A
公开(公告)日：2013-07-24
申请号：CN201310077065.1
申请日：2013-03-11
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种集成旋转变压器的轴系静态真空隔离方法，包括步骤：步骤1：将具有磁力直接驱动功能的永磁同步电机作为轴系的驱动与传动组件；步骤2：将正余弦磁阻式旋转变压器作为电机的位置检测部件；步骤3：将电机内磁转子的端部进行加长，将旋转变压器内磁转子除去，形成一体化内磁，转子使得电机和旋转变压器共用一个一体化内磁转子；步骤4：将整个电机、旋转变压器的一体化内磁转子封闭在隔离密封套中，隔离密封套用于限制磁体径向和轴向的运动。本发明实现了所谓的“零传动”方式，运转平稳，噪声小，并且实现了无接触的“零泄漏”密封传动。
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公开(公告)号：CN105149714A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：CN201510603208.7
申请日：2015-09-21
Applicant: 上海交通大学
IPC: B23K1/00 , C09J11/04 , B23K101/18
CPC classification number: B23K1/0004 , C09J11/04
Abstract: 一种金属板无压痕胶焊连接方法，通过将混有金属颗粒的胶粘剂涂覆于水平放置的两层金属板之间，将两层金属板逐步通过施加有焊接电流的滚筒电极对之间，通过滚筒电极‐金属板‐金属颗粒之间形成闭合回路实现冶金连接，最后将胶粘剂固化处理后完成无压痕固接。本发明能够显著提高接头的剥离强度同时消除点焊压痕，同时亦可应用于异质金属板料的连接，处理后正拉强度可达到7000N左右。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103021919B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201210579502.5
申请日：2012-12-27
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明提供了一种晶圆预对准装置，包括工作台面、θ-Y二自由度运动单元、垂直过渡单元、真空吸附单元、以及视觉检测单元，其中：所述θ-Y二自由度运动单元用于调整晶圆的偏心量和缺口位置；垂直过渡单元用于临时放置晶圆，使晶圆与θ-Y二自由度运动单元能够完全脱离开，从而达到调整偏心量的目的；真空吸附单元同轴固定在θ-Y二自由度运动单元上，用于固定晶圆，使其能实现对心和缺口定位；视觉检测单元用于检测晶圆的边缘位置和缺口位置。本发明设计的晶圆预对准装置可以实现将晶圆的最大径向位移偏心量旋转到一个轴上，这样就能有效地减少一个X向自由度，从而对于晶圆的预对准装置减少了一个直线运动平台，节省了成本，提高定位效率。
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公开(公告)号：CN103219856B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310077065.1
申请日：2013-03-11
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种集成旋转变压器的轴系静态真空隔离方法，包括步骤：步骤1：将具有磁力直接驱动功能的永磁同步电机作为轴系的驱动与传动组件；步骤2：将正余弦磁阻式旋转变压器作为电机的位置检测部件；步骤3：将电机内磁转子的端部进行加长，将旋转变压器内磁转子除去，形成一体化内磁，转子使得电机和旋转变压器共用一个一体化内磁转子；步骤4：将整个电机、旋转变压器的一体化内磁转子封闭在隔离密封套中，隔离密封套用于限制磁体径向和轴向的运动。本发明实现了所谓的“零传动”方式，运转平稳，噪声小，并且实现了无接触的“零泄漏”密封传动。
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公开(公告)号：CN103192384A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201310076619.6
申请日：2013-03-11
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提供了一种集成旋转变压器的静态真空轴系装置，包括：驱动部件、真空密封罩、位置检测部件、轴系基座、真空隔离套、第二O型密封圈、第一O型密封圈、第一滚动轴承、第二滚动轴承、轴承隔环、传动轴、轴系法兰、游动滚动轴承、轴承压盖、轴承压盖、第三O型密封圈；所述驱动部件包括同轴安装的电机定子、旋转变压器定子、电机与旋转变压器一体化转子、转子法兰盘、定子固定压块；所述真空密封罩包括密封罩上法兰、密封罩、密封罩下法兰。本发明使电机轴与负载的刚性耦合，从而实现了“零传动”方式，并实现了轴系的“零泄漏”密封传动，尤其适用高真空环境下真空机器人的动力传动。
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公开(公告)号：CN103050427A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210579517.1
申请日：2012-12-27
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/681
Abstract: 本发明提供了一种晶圆预对准方法，包括利用高精度激光透过式传感器，根据晶圆边缘一周数据，通过构造晶圆形心检测的数学模型，计算出晶圆的形心位置坐标径向位移最大偏心量emax、以及径向位移最大偏心处与水平Y向的夹角带动晶圆旋转角度使径向位移最大偏心量emax与水平Y向处于一条直线上，完成晶圆的形心定位；并根据形心算法精确定位晶圆缺口。本发明用光透式传感器来检测晶圆的边缘，用形心算法确定晶圆形心和缺口位置，有效地提高了定位方法的精度，减小了预对准装置占用的时间空间，降低了成本。
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公开(公告)号：CN103021919A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210579502.5
申请日：2012-12-27
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明提供了一种晶圆预对准装置，包括工作台面、θ-Y二自由度运动单元、垂直过渡单元、真空吸附单元、以及视觉检测单元，其中：所述θ-Y二自由度运动单元用于调整晶圆的偏心量和缺口位置；垂直过渡单元用于临时放置晶圆，使晶圆与θ-Y二自由度运动单元能够完全脱离开，从而达到调整偏心量的目的；真空吸附单元同轴固定在θ-Y二自由度运动单元上，用于固定晶圆，使其能实现对心和缺口定位；视觉检测单元用于检测晶圆的边缘位置和缺口位置。本发明设计的晶圆预对准装置可以实现将晶圆的最大径向位移偏心量旋转到一个轴上，这样就能有效地减少一个X向自由度，从而对于晶圆的预对准装置减少了一个直线运动平台，节省了成本，提高定位效率。
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