公开(公告)号：CN102817750A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201210282702.4

申请日：2012-08-09

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 梁家欣 ,  莫锦秋 ,  刘洪涛

IPC: F02M31/087

Abstract: 一种机械设计技术领域的机械式连接管错位连通系统，包括：进气管、发动机、排气管、压气机、涡轮、连接管、容积腔、移动体和弹簧，移动体安装容积腔内并与容积腔的内壁面密封接触，两个贯穿管均贯穿移动体的上下两壁面，弹簧的两端分别与移动体的左壁面、容积腔左壁面相连接。当发动机处于低速工况时，移动体在容积腔内向右移动，第二连接管与第五连接管相连通，排气余热对进气进行加热，发动机冷启动性能较好；当发动机处于高速工况时，移动体在容积腔内向左移动，第二连接管与第五连接管相隔断。本发明设计合理，结构简单，适用于带有涡轮增压器的发动机进气加热系统。

公开(公告)号：CN103050427A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201210579517.1

申请日：2012-12-27

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张波 ,  刘品宽 ,  朱晓博 ,  张帆 ,  梁家欣

IPC: H01L21/68

CPC classification number: H01L21/681

Abstract: 本发明提供了一种晶圆预对准方法，包括利用高精度激光透过式传感器，根据晶圆边缘一周数据，通过构造晶圆形心检测的数学模型，计算出晶圆的形心位置坐标径向位移最大偏心量emax、以及径向位移最大偏心处与水平Y向的夹角带动晶圆旋转角度使径向位移最大偏心量emax与水平Y向处于一条直线上，完成晶圆的形心定位；并根据形心算法精确定位晶圆缺口。本发明用光透式传感器来检测晶圆的边缘，用形心算法确定晶圆形心和缺口位置，有效地提高了定位方法的精度，减小了预对准装置占用的时间空间，降低了成本。

公开(公告)号：CN103021919A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210579502.5

申请日：2012-12-27

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张波 ,  刘品宽 ,  朱晓博 ,  张帆 ,  梁家欣

IPC: H01L21/68

Abstract: 本发明提供了一种晶圆预对准装置，包括工作台面、θ-Y二自由度运动单元、垂直过渡单元、真空吸附单元、以及视觉检测单元，其中：所述θ-Y二自由度运动单元用于调整晶圆的偏心量和缺口位置；垂直过渡单元用于临时放置晶圆，使晶圆与θ-Y二自由度运动单元能够完全脱离开，从而达到调整偏心量的目的；真空吸附单元同轴固定在θ-Y二自由度运动单元上，用于固定晶圆，使其能实现对心和缺口定位；视觉检测单元用于检测晶圆的边缘位置和缺口位置。本发明设计的晶圆预对准装置可以实现将晶圆的最大径向位移偏心量旋转到一个轴上，这样就能有效地减少一个X向自由度，从而对于晶圆的预对准装置减少了一个直线运动平台，节省了成本，提高定位效率。

公开(公告)号：CN103021919B

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201210579502.5

申请日：2012-12-27

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 张波 ,  刘品宽 ,  朱晓博 ,  张帆 ,  梁家欣

IPC: H01L21/68

Abstract: 本发明提供了一种晶圆预对准装置，包括工作台面、θ-Y二自由度运动单元、垂直过渡单元、真空吸附单元、以及视觉检测单元，其中：所述θ-Y二自由度运动单元用于调整晶圆的偏心量和缺口位置；垂直过渡单元用于临时放置晶圆，使晶圆与θ-Y二自由度运动单元能够完全脱离开，从而达到调整偏心量的目的；真空吸附单元同轴固定在θ-Y二自由度运动单元上，用于固定晶圆，使其能实现对心和缺口定位；视觉检测单元用于检测晶圆的边缘位置和缺口位置。本发明设计的晶圆预对准装置可以实现将晶圆的最大径向位移偏心量旋转到一个轴上，这样就能有效地减少一个X向自由度，从而对于晶圆的预对准装置减少了一个直线运动平台，节省了成本，提高定位效率。

公开(公告)号：CN102817750B

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201210282702.4

申请日：2012-08-09

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 梁家欣 ,  莫锦秋 ,  刘洪涛

IPC: F02M31/087

Abstract: 一种机械设计技术领域的机械式连接管错位连通系统，包括：进气管、发动机、排气管、压气机、涡轮、连接管、容积腔、移动体和弹簧，移动体安装容积腔内并与容积腔的内壁面密封接触，两个贯穿管均贯穿移动体的上下两壁面，弹簧的两端分别与移动体的左壁面、容积腔左壁面相连接。当发动机处于低速工况时，移动体在容积腔内向右移动，第二连接管与第五连接管相连通，排气余热对进气进行加热，发动机冷启动性能较好；当发动机处于高速工况时，移动体在容积腔内向左移动，第二连接管与第五连接管相隔断。本发明设计合理，结构简单，适用于带有涡轮增压器的发动机进气加热系统。

公开(公告)号：CN202832873U

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN201220393995.9

申请日：2012-08-09

Applicant: 上海交通大学

Inventor： 梁家欣 ,  莫锦秋 ,  刘洪涛

IPC: F02M31/087

CPC classification number: Y02T10/16

Abstract: 一种机械设计技术领域的机械式连接管错位隔断装置，包括：进气管、发动机、排气管、压气机、涡轮、连接管、容积腔、移动体和弹簧，移动体安装容积腔内并与容积腔的内壁面密封接触，两个贯穿管均贯穿移动体的上下两壁面，弹簧的两端分别与移动体的右壁面、容积腔右壁面相连接。当发动机处于低速工况时，移动体在容积腔内向右移动，第二连接管与第五连接管相连通，排气余热对进气进行加热，发动机冷启动性能较好；当发动机处于高速工况时，移动体在容积腔内向左移动，第二连接管与第五连接管相隔断。本实用新型设计合理，结构简单，适用于带有涡轮增压器的发动机进气加热系统。