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公开(公告)号：CN115138536B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202210752592.7
申请日：2022-06-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提出一种埋置芯片封装基板匀胶气泡的真空处理方法及装置，针对埋置芯片封装方式，采用具备真空环境的匀胶机装置，在旋涂光刻胶前或在真空环境下旋涂光刻胶并进行去气泡处理，实现匀胶后表面平整，内部无气泡残留。本发明只需要单次涂覆光刻胶就能实现后续工序对光刻胶的需求，不需要多次涂覆光刻胶，工艺步骤上大为简化，且对于不同黏度的光刻胶有对应的真空处理方法，有利于后续金属布线等操作，封装的成功率与性能得到有效提高。
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公开(公告)号：CN115138536A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210752592.7
申请日：2022-06-28
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 本发明提出一种埋置芯片封装基板匀胶气泡的真空处理方法及装置，针对埋置芯片封装方式，采用具备真空环境的匀胶机装置，在旋涂光刻胶前或在真空环境下旋涂光刻胶并进行去气泡处理，实现匀胶后表面平整，内部无气泡残留。本发明只需要单次涂覆光刻胶就能实现后续工序对光刻胶的需求，不需要多次涂覆光刻胶，工艺步骤上大为简化，且对于不同黏度的光刻胶有对应的真空处理方法，有利于后续金属布线等操作，封装的成功率与性能得到有效提高。
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公开(公告)号：CN107070429B
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201710235458.9
申请日：2017-04-12
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种具有稳定插入损耗的电可调负群时延电路，其结构简单，加工容易，可由平面微带电路实现，解决了各种微波器件引入的正群时延导致整个微波系统性能恶化的问题。可通过调节偏置电压来设定其能实现的负群时延量，相比于非实时可调负群时延电路，其灵活性更高，可用于具有负反馈的电路中实现时延自动补偿、天线阵方向图的电可调波束扫描等功能。同时，在负时延调节过程中，其插入损耗变化量很小，使得本发明可广泛应用于各种需要可调负群时延且对其插入损耗稳定性要求较高的微波电路系统中。
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公开(公告)号：CN111146558A
公开(公告)日：2020-05-12
申请号：CN201911075366.4
申请日：2019-11-06
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于薄膜工艺的太赫兹窄波束透射阵天线，包括：由上而下依次设置的顶层透射阵固定用夹具、上层保护用泡沫、透射阵、中层支撑用泡沫、馈源波导以及支架，其中：顶层透射阵固定夹具内部自下至上设有三个空腔，透射阵包括：保护层、上层导电图案、介质层、下层导电图案以及粘合层。本发明通过阵列不同位置的单元对电磁波进行相位补偿，从而可以精确控制天线的波束宽度；相比于常规的透射阵列天线，极化转换单元仅需要单层介质，从而获得更小的体积；同时，薄膜工艺加工精度高，导电图案线条尺寸精细，克服了PCB工艺精度较低引起的太赫兹透射阵天线性能差的问题。
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公开(公告)号：CN107959118A
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201711154249.8
申请日：2017-11-20
Applicant: 上海交通大学
IPC: H01Q1/52
Abstract: 一种基于交叉耦合抑制通道间互耦的滤波天线的实现方法，在具有两个以上通道的天线阵列中，就存在于相邻或空间上相近的若干个通道之间由近场耦合或表面波产生的固有互耦，通过在天线阵列设计中进行跨通道交叉耦合实现去耦。本发明在不增加额外去耦网络情况下实现滤波天线通道之间的前向或(和)后向互耦的抑制，具有无须额外面积、不引入额外损耗、设计与实现灵活、参数自由度大等优点，可用于微波毫米波滤波天线阵列系统中。
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：CN119873740A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510039232.6
申请日：2025-01-10
Applicant: 上海交通大学
IPC: B82B3/00 , B82B1/00 , B82Y40/00 , B82Y5/00 , B82Y15/00 , C12M1/34 , C12M1/00 , C12Q1/68 , G01N33/68 , G01N27/26 , G01N27/04 , G01N27/12 , G01R27/02
Abstract: 本发明提供一种固态纳米孔阵列与固态纳米孔阵列器件的制备方法及应用，结合镀膜以及刻蚀工艺于第一和第二薄膜层，以及第三和第四薄膜层中分别形成第一和第二方向纳米条带，然后于第一和第二纳米条带的交叉点进行选择性刻蚀，从而在功能材料层中形成所需要的固态纳米孔阵列，该制备方法与已有的制备固态纳米孔阵列的方法相比，具有快速高效，大面积制备，成本低等优势，且通过工艺参数调节能够精确控制形成的固态纳米孔的孔径、阵列规模；此外，该制备方法适用于多种固体材料并能够完全与现有的CMOS工艺技术相兼容，可实现固态纳米孔阵列器件的大规模制造。此外，固态纳米孔阵列器件能够对电化学信号，以及DNA或蛋白等生物分子的高通量分析和检测。
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公开(公告)号：CN113488777B
公开(公告)日：2023-01-24
申请号：CN202110647297.0
申请日：2021-06-10
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种石墨烯贴片型太赫兹法布里‑珀罗谐振天线及其实现方法，包括：由上而下依次设置的固定夹具、法布里‑珀罗谐振结构以及加脊馈源喇叭，其中：固定夹具与加脊馈源喇叭相连，法布里‑珀罗谐振结构固定设置于加脊馈源喇叭上方并与加脊馈源喇叭的金属上表面共同构成法布里‑珀罗谐振腔，加脊馈源喇叭辐射出的电磁波在法布里‑珀罗谐振结构中振荡并经调控后在主方向形成所需要的窄波束电磁辐射。本发明将图形化的石墨烯贴片结构应用于太赫兹天线可以提供优良的性能，引入了丰富的设计自由度，该天线工作于太赫兹频段，具有波束宽度易于设计与调控的优点。
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公开(公告)号：CN114554688A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210161488.0
申请日：2022-02-22
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于电热兼容的多层LTCC基板的发射前端装置，包括：第一和第二表面贴装单元、设置于第一表面贴装单元外侧的用于保护芯片以及设有信号输入输出口的中空围墙结构单元以及设置于第一和第二表面贴装单元之间的电源供电以及数字电路布线单元、用于连通各个芯片的输入输出信号的无源电路互连单元和接地散热单元，输入信号通过中空围墙单元输入无源电路互连单元的带状线功分器，并进一步输出至表面贴装单元上的元器件，并通过微带线和金属键合线信号传输后通过中空围墙单元输出信号。本发明能够保证功率放大器芯片去耦要求的同时，满足了大面积散热地的需求，从而实现多芯片组件高密度封装下的高性能和高散热能力。
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公开(公告)号：CN113050084B
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202110263109.4
申请日：2021-03-11
Applicant: 上海交通大学
Abstract: 一种基于MIMO调频连续波毫米波雷达的4D手势识别方法，通过采集MIMO雷达天线阵列的信号并生成虚拟数组，经数字波束形成得到手部在3D空间的具体定位信息，同时根据3D空间定位信息进一步对手势运动进行类别划分，并根据不同类型的手势进行相应相应的运动检测，得到追踪结果。本发明在能够获得手部的精确三维空间定位的同时，可以对手部的微小运动进行追踪，从而完成第四个维度的探测，具有抗干扰性能更强，对外界的环境依赖程度很低，可以适用于任何室内或室外场景的优点。
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