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公开(公告)号：CN102691101B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201210074025.7
申请日：2012-03-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供一种硅锭制造装置、硅锭的制造方法及硅锭、硅晶圆、太阳能电池和硅零件，所述硅锭制造装置能够制造杂质量较少且结晶的成长方向稳定的硅锭。硅锭制造装置具备有保持硅熔液的坩埚、加热该坩埚的加热器及朝向所述坩埚内供给惰性气体的惰性气体供给构件，所述硅锭制造装置特征在于，具有载置于所述坩埚上的盖，所述盖具有：载置部，载置于所述坩埚的侧壁上面；檐部，从所述坩埚的侧壁外边向外侧突出；及开口部，沿厚度方向贯穿，所述檐部配设于所述坩埚的侧壁上端的10％以上区域的外周侧，且从所述侧壁上端外边的突出长度成为50mm以上，所述开口部配设成所述坩埚的侧壁上端面的50％以上的区域相对于所述加热器露出。
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公开(公告)号：CN102689001A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210073804.5
申请日：2012-03-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供一种硅锭制造装置、硅锭的制造方法及硅锭、硅晶圆、太阳能电池和硅零件，所述硅锭制造装置能够制造杂质量较少且杂质量的偏差较小的硅锭，其具有载置于坩埚上的盖，在盖的平面中心附近连接有惰性气体供给构件，盖具有：载置部，载置于坩埚的侧壁上端面；檐部，从坩埚的侧壁外边向外侧突出；及开口部，沿厚度方向贯穿，檐部配置于坩埚的侧壁上端外周边的10％以上区域的外周侧且从侧壁上端外边的突出长度为50mm以上，开口部形成在距坩埚的侧壁上端内边100mm以内的区域，由开口部形成的坩埚的上端内侧区域的露出面积的合计为坩埚的整个上端内侧区域的面积的1.5％以上且10％以下。
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公开(公告)号：CN103003200A
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201180035585.5
申请日：2011-07-21
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: C30B30/00 , C01B33/02 , C30B11/003 , C30B28/06 , C30B29/06
Abstract: 本发明提供一种能够减少底部的氧浓度局部变高的部分来大幅提高多晶硅的生产成品率的多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭。本发明的多晶硅锭制造装置（10），具有：截面呈矩形的坩埚（20）；配设于该坩埚（20）上方的上部加热器（43）；及配设于坩埚（20）下方的下部加热器（33），且使积存于坩埚（20）内的硅熔融液（3）从其底面（21）朝向上方单向凝固，其特征在于，具备在坩埚（20）的底面（21）侧对坩埚（20）的侧壁部（22）的至少一部分进行加热的辅助加热器（50）。
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公开(公告)号：CN102781832A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201180011029.4
申请日：2011-03-25
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: C01B33/02 , C01B33/037 , C30B11/006 , C30B28/06 , C30B29/06 , C30B35/002
Abstract: 本发明提供减少底部中的氧浓度高的部分、可大幅提高多晶硅的合格率的多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭。本发明的多晶硅锭的制造方法，为使贮留在坩埚内的硅熔融液自其底面向着上方单向凝固的多晶硅锭的制造方法，所述坩埚在其侧壁内面及底面内面形成有氮化硅的涂层，将所述坩埚内的凝固过程以所述坩埚的底面为基准分为自0mm至高度X的第1区域、自高度X至高度Y的第2区域和高度Y以上的第3区域，该高度X为10mm≤X
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公开(公告)号：CN102691101A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201210074025.7
申请日：2012-03-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供一种硅锭制造装置、硅锭的制造方法及硅锭、硅晶圆、太阳能电池和硅零件，所述硅锭制造装置能够制造杂质量较少且结晶的成长方向稳定的硅锭。硅锭制造装置具备有保持硅熔液的坩埚、加热该坩埚的加热器及朝向所述坩埚内供给惰性气体的惰性气体供给构件，所述硅锭制造装置特征在于，具有载置于所述坩埚上的盖，所述盖具有：载置部，载置于所述坩埚的侧壁上面；檐部，从所述坩埚的侧壁外边向外侧突出；及开口部，沿厚度方向贯穿，所述檐部配设于所述坩埚的侧壁上端的10％以上区域的外周侧，且从所述侧壁上端外边的突出长度成为50mm以上，所述开口部配设成所述坩埚的侧壁上端面的50％以上的区域相对于所述加热器露出。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102781832B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201180011029.4
申请日：2011-03-25
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: C01B33/02 , C01B33/037 , C30B11/006 , C30B28/06 , C30B29/06 , C30B35/002
Abstract: 本发明提供减少底部中的氧浓度高的部分、可大幅提高多晶硅的合格率的多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭。本发明的多晶硅锭的制造方法，为使贮留在坩埚内的硅熔融液自其底面向着上方单向凝固的多晶硅锭的制造方法，所述坩埚在其侧壁内面及底面内面形成有氮化硅的涂层，将所述坩埚内的凝固过程以所述坩埚的底面为基准分为自0mm至高度X的第1区域、自高度X至高度Y的第2区域和高度Y以上的第3区域，该高度X为10mm≤X
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公开(公告)号：CN102834354A
公开(公告)日：2012-12-19
申请号：CN201180015881.9
申请日：2011-03-25
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: C30B11/00 , C01B33/021 , C30B11/002 , C30B11/003 , C30B29/06
Abstract: 本发明提供一种使硅熔融液从底面向上方单向凝固的多晶硅锭的制造方法，在坩埚的底面配设有二氧化硅，将所述坩埚内的凝固过程以所述坩埚的底面为基准分为自0mm至高度X（10mm≤X＜30mm）的第一区域、自高度X至高度Y（30mm≤Y＜100mm）的第二区域和高度Y以上的第三区域，所述第一区域中的凝固速度V1设定在10mm／h≤V1≤20mm／h的范围内，所述第二区域中的凝固速度V2设定在1mm／h≤V2≤5mm／h的范围内。本发明提供一种通过存在较多朝向（001）和（111）取向的晶体，并且底部中的氧浓度高的部分少，从而能大幅提高作为制品的多晶硅的生产合格率的多晶硅锭及多晶硅锭的制造方法。
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公开(公告)号：CN102668109A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201080051133.1
申请日：2010-12-24
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: H01L31/182 , C30B11/00 , C30B29/06 , C30B33/02 , Y02E10/546 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供可以恰当地进行热处理、能够制出寿命得到提高的高品质的多晶硅片的多晶硅块材的制造方法、多晶硅片的制造方法及多晶硅块材。多晶硅块材的制造方法为作为太阳能电池用基板的原材料使用的多晶硅块材的制造方法，其特征在于，具备：铸造工序（S1），使硅熔液凝固来制出多晶硅锭；切断工序（S2），切断所得到的多晶硅锭，从而切出呈多角形柱状、该多角形面的对角线长为150mm以上400mm以下、其高度为100mm以上500mm以下的块坯体和热处理工序（S3），对该块坯体进行温度500℃以上600℃以下、保持时间15分钟以上60分钟以下、冷却速度10℃/min以上60℃/min以下的热处理。
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公开(公告)号：CN103003200B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201180035585.5
申请日：2011-07-21
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: C30B30/00 , C01B33/02 , C30B11/003 , C30B28/06 , C30B29/06
Abstract: 本发明提供一种能够减少底部的氧浓度局部变高的部分来大幅提高多晶硅的生产成品率的多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭。本发明的多晶硅锭制造装置（10），具有：截面呈矩形的坩埚（20）；配设于该坩埚（20）上方的上部加热器（43）；及配设于坩埚（20）下方的下部加热器（33），且使积存于坩埚（20）内的硅熔融液（3）从其底面（21）朝向上方单向凝固，其特征在于，具备在坩埚（20）的底面（21）侧对坩埚（20）的侧壁部（22）的至少一部分进行加热的辅助加热器（50）。
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公开(公告)号：CN102689001B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201210073804.5
申请日：2012-03-20
Applicant: 三菱综合材料株式会社 , 三菱材料电子化成株式会社
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 本发明提供一种硅锭制造装置、硅锭的制造方法及硅锭、硅晶圆、太阳能电池和硅零件，所述硅锭制造装置能够制造杂质量较少且杂质量的偏差较小的硅锭，其具有载置于坩埚上的盖，在盖的平面中心附近连接有惰性气体供给构件，盖具有：载置部，载置于坩埚的侧壁上端面；檐部，从坩埚的侧壁外边向外侧突出；及开口部，沿厚度方向贯穿，檐部配置于坩埚的侧壁上端外周边的10％以上区域的外周侧且从侧壁上端外边的突出长度为50mm以上，开口部形成在距坩埚的侧壁上端内边100mm以内的区域，由开口部形成的坩埚的上端内侧区域的露出面积的合计为坩埚的整个上端内侧区域的面积的1.5％以上且10％以下。
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