公开(公告)号：CN102668109A

公开(公告)日：2012-09-12

申请号：CN201080051133.1

申请日：2010-12-24

Applicant: 三菱综合材料株式会社 ,  三菱材料电子化成株式会社

Inventor： 续桥浩司 ,  池田洋 ,  金井昌宏 ,  胁田三郎

IPC: H01L31/04 ,  C30B29/06 ,  C30B33/02

CPC classification number: H01L31/182 ,  C30B11/00 ,  C30B29/06 ,  C30B33/02 ,  Y02E10/546 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供可以恰当地进行热处理、能够制出寿命得到提高的高品质的多晶硅片的多晶硅块材的制造方法、多晶硅片的制造方法及多晶硅块材。多晶硅块材的制造方法为作为太阳能电池用基板的原材料使用的多晶硅块材的制造方法，其特征在于，具备：铸造工序（S1），使硅熔液凝固来制出多晶硅锭；切断工序（S2），切断所得到的多晶硅锭，从而切出呈多角形柱状、该多角形面的对角线长为150mm以上400mm以下、其高度为100mm以上500mm以下的块坯体和热处理工序（S3），对该块坯体进行温度500℃以上600℃以下、保持时间15分钟以上60分钟以下、冷却速度10℃/min以上60℃/min以下的热处理。