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公开(公告)号：CN1891358A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610100040.9
申请日：2006-06-27
Applicant: 岛田理化工业株式会社 , 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板清洗装置及基板清洗方法，能将进行机械切割或研磨处理等后附着在玻璃基板的端面等处的异物有效地除去。在将液体和气体供给到喷嘴、并通过上述喷嘴将混合了上述液体和上述气体的流体喷射到基板上来清洗上述基板的基板清洗装置中，具有对向喷嘴供给的液体进行加热而控制上述液体的温度的液体加热机构，将上述喷嘴入口处的上述液体的温度控制在40～100℃。
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公开(公告)号：CN1291347A
公开(公告)日：2001-04-11
申请号：CN99803006.6
申请日：1999-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社 , 岛田理化工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/42
CPC classification number: H01L21/67075 , G03F7/42 , G03F7/422 , G03F7/423 , G03F7/428
Abstract: 提供了在减少材料消耗并降低通风设施成本的同时高效率且对环境无害地去除光刻胶膜的方法及其装置。去除覆在衬底表面上的光刻胶膜的方法包括:在密闭系统中,使带有光刻胶膜的衬底表面接触光刻胶膜去除溶液;在光刻胶膜去除溶液的液面附近使臭氧以气相和/或混入溶液的状态存在;改变衬底表面与溶液液面之间的相对位置以便从衬底上除去光刻胶膜或使之分解;其中,在衬底底边从位于溶液液面上方的一个位置到衬底顶边位于溶液液面下方的另一个位置之间的范围内,连续或断续地改变相对位置。用于上述方法的装置。
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公开(公告)号：CN1167106C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN99803006.6
申请日：1999-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社 , 岛田理化工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/42
CPC classification number: H01L21/67075 , G03F7/42 , G03F7/422 , G03F7/423 , G03F7/428
Abstract: 提供了在减少材料消耗并降低通风设施成本的同时高效率且对环境无害地去除光刻胶膜的方法及其装置。去除覆在衬底表面上的光刻胶膜的方法包括：在密闭系统中，使带有光刻胶膜的衬底表面接触光刻胶膜去除溶液；在光刻胶膜去除溶液的液面附近使臭氧以气相和/或混入溶液的状态存在；改变衬底表面与溶液液面之间的相对位置以便从衬底上除去光刻胶膜或使之分解；其中，在衬底底边从位于溶液液面上方的一个位置到衬底顶边位于溶液液面下方的另一个位置之间的范围内，连续或断续地改变相对位置。用于上述方法的装置。
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公开(公告)号：CN113993611B
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN201980097403.3
申请日：2019-06-18
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 目的在于提供一种水处理装置及水处理方法，高效地进行在反洗处理中在从气体排出单元到过滤膜之间或过滤膜的内部产生的气体的除去，抑制反洗水对过滤膜的清洗效果的降低。一种水处理装置，进行过滤处理和反洗处理，所述过滤处理使被处理水从过滤膜的一次侧向二次侧通过来进行过滤，所述反洗处理使反洗水从过滤膜的二次侧向一次侧通过来清洗过滤膜，其特征在于，所述水处理装置具备：反洗水供给部，向过滤膜供给反洗水；检测部，检测由过滤膜的内部的气泡引起的气塞；控制部，在检测部检测到过滤膜的气塞的情况下，使由反洗水供给部进行的反洗水的供给暂时停止，在经过预先决定的时间后，由反洗水供给部进行的反洗水的供给再次开始；以及气体排出单元，排出通过控制部使由反洗水供给部进行的反洗水的供给停止而被引导到气体排出单元的过滤膜的内部的气泡。
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公开(公告)号：CN112752605B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201880097912.1
申请日：2018-10-02
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 在对过滤膜(1)进行臭氧处理的过滤膜处理装置中，具备向过滤膜(1)供给含臭氧流体的第一供给部(3)、测定基于过滤膜(1)的压力的测定值(H)的测定部(8)及基于用测定部(8)测定的测定值(H)的变化调整第一供给部(3)供给的含臭氧流体的供给量的控制部(11)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111936217B
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN201880091767.6
申请日：2018-04-13
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 异物捕捉装置具备：容器部；设置于容器部的侧面，使水流入容器部内的入口部；设置在比入口部靠上方的位置，使水向容器部外流出的出口部；在入口部的相向位置从入口部分离地配置，阻挡流入到容器部内的水的流动的网状物；以及设置在比入口部靠下方的位置且容器部的底部，通过重力的作用来捕捉被网状物阻挡的水中含有的异物的捕捉部。
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公开(公告)号：CN113905990A
公开(公告)日：2022-01-07
申请号：CN201980096724.1
申请日：2019-05-27
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 膜分离活性污泥系统从包含污浊物质的被处理水将污浊物质用分离膜在过滤方向上过滤以取得处理水。膜分离活性污泥系统具备清洗分离膜的膜清洗装置。膜清洗装置具备：将清洗分离膜的第1清洗水在与过滤方向相反的方向上向分离膜供给的第1清洗水供给部；将氧化力与第1清洗水不同、清洗分离膜的第2清洗水在相反方向上向分离膜供给的第2清洗水供给部；接收第1清洗水或第2清洗水的选择的接收部；和进行在接收部接收的选择表示第1清洗水的情况下驱动第1清洗水供给部、在接收部接收的选择表示第2清洗水的情况下驱动第2清洗水供给部的控制的控制部。
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公开(公告)号：CN112135681B
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN201880093508.7
申请日：2018-05-30
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 膜清洗装置，其使用通过MBR的分离膜(2)而被过滤处理的处理水作为被溶解水，实施在中性或碱性条件下将臭氧气溶解于被溶解水的第一工序、和在酸性条件下将臭氧气溶解于被溶解水的第二工序，生成臭氧水。此时，基于被溶解水的有机物浓度来判断从第一工序向第二工序的转移，且基于被溶解水的溶存臭氧浓度来判断向分离膜(2)的臭氧水送水的开始，由此即使有MBR的运转条件引起的被溶解水的有机物浓度的变动，也能够使第一工序及第二工序的处理时间最优化。由此，能够有效率地生成臭氧水，可减少臭氧水生成所需的成本。
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公开(公告)号：CN111936428A
公开(公告)日：2020-11-13
申请号：CN201980023368.0
申请日：2019-03-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C02F1/48
Abstract: 水处理装置(1)是除去水中的杂质的水处理装置(1)，具备：电极部(7)，其进行杂质的吸附解吸；处理槽(2)，其在内部配置有电极部(7)；上游部(25)，其与处理槽(2)连接，并将水引导到内部；下游部(26)，其与处理槽(2)连接，并将电极部(7)进行吸附解吸后的内部的水向排出处引导；循环管路(6)，其与上游部(25)和下游部(26)连接，并将引导到下游部(26)的水引导到上游部(25)；以及切换部(15、16)，其基于引导到下游部(26)的水的水质及处理槽的电力状态中的至少任一方，切换将引导到下游部的水向排出处引导还是向循环管路引导。
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公开(公告)号：CN109890765B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201780065807.5
申请日：2017-08-02
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明涉及水处理装置及水处理方法。水处理装置(100)具备：第1粒状电极构件(18)及第2粒状电极构件(19)，其被收容于水处理部(1)且被间隔件(21)隔开配置；电源部(20)，其在第1粒状电极构件(18)和第2粒状电极构件(19)之间施加电压而使从水处理部(1)的一方供给的被处理水中所含的离子在第1粒状电极构件(18)及第2粒状电极构件(19)吸附除去来进行脱盐处理、生成脱盐处理水；和清洗水供给泵(4)，其从水处理部(1)的另一方使清洗水流通到水处理部(1)的一方来清洗第1粒状电极构件(18)和第2粒状电极构件(19)，第1粒状电极构件(18)及第2粒状电极构件(19)各自包含可流动的多个粒状电极构件。
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