-
公开(公告)号：CN1291347A
公开(公告)日：2001-04-11
申请号：CN99803006.6
申请日：1999-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社 , 岛田理化工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/42
CPC classification number: H01L21/67075 , G03F7/42 , G03F7/422 , G03F7/423 , G03F7/428
Abstract: 提供了在减少材料消耗并降低通风设施成本的同时高效率且对环境无害地去除光刻胶膜的方法及其装置。去除覆在衬底表面上的光刻胶膜的方法包括:在密闭系统中,使带有光刻胶膜的衬底表面接触光刻胶膜去除溶液;在光刻胶膜去除溶液的液面附近使臭氧以气相和/或混入溶液的状态存在;改变衬底表面与溶液液面之间的相对位置以便从衬底上除去光刻胶膜或使之分解;其中,在衬底底边从位于溶液液面上方的一个位置到衬底顶边位于溶液液面下方的另一个位置之间的范围内,连续或断续地改变相对位置。用于上述方法的装置。
-
公开(公告)号：CN1167106C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN99803006.6
申请日：1999-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社 , 岛田理化工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/42
CPC classification number: H01L21/67075 , G03F7/42 , G03F7/422 , G03F7/423 , G03F7/428
Abstract: 提供了在减少材料消耗并降低通风设施成本的同时高效率且对环境无害地去除光刻胶膜的方法及其装置。去除覆在衬底表面上的光刻胶膜的方法包括：在密闭系统中，使带有光刻胶膜的衬底表面接触光刻胶膜去除溶液；在光刻胶膜去除溶液的液面附近使臭氧以气相和/或混入溶液的状态存在；改变衬底表面与溶液液面之间的相对位置以便从衬底上除去光刻胶膜或使之分解；其中，在衬底底边从位于溶液液面上方的一个位置到衬底顶边位于溶液液面下方的另一个位置之间的范围内，连续或断续地改变相对位置。用于上述方法的装置。
-
公开(公告)号：CN101817509A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN201010168162.8
申请日：2005-04-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/34 , C01B2201/64
Abstract: 本发明提供一种臭氧发生装置，其目的在于：在以极高纯度的氧(纯度≥99.9％)为原料气体的情况下，高效率地生成不含氮氧化物的高浓度臭氧气体。本发明的臭氧发生装置具有通过施加交流电压而放电的两个电极(11、12)，以及设置在上述电极间的至少一个电介体(22)；向发生上述放电的放电空间(40)内提供含氧的原料气体，经上述放电产生臭氧；在至少一个上述电极和放电空间之间的与放电接触的面的表面电阻率为104Ω～1011Ω；提供给上述放电空间的原料气体为纯度≥99.9％的高纯度的氧。
-
公开(公告)号：CN1923672A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610139872.1
申请日：2002-07-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/76
Abstract: 本发明提供一种可提高放电间隙冷却性能并可形成用于产生纯净臭氧的放电间隙的臭氧发生器，它具有平板状的低压电极7、与电压电极7的主表面相对的平板状的高压电极3、设置在低压电极7与高压电极3之间的平板状的电介质5以及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙6的衬垫、设置在高压电极3的与放电间隙6的反面侧主面相对的用于冷却高压电极3的电极冷却板1、夹在高压电极3与电极冷却板1之间的导热·电气绝缘板2，使得在低压电极7与高压电极3之间施加交流电压，在输入了氧气的放电间隙6中产生放电并生成臭氧气体。
-
公开(公告)号：CN1117695C
公开(公告)日：2003-08-13
申请号：CN97113630.0
申请日：1997-06-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/10 , C01B2201/22 , C01B2201/32
Abstract: 以小型化实现大容量的臭氧发生装置，进而实现安装及维护容易的臭氧发生装置。臭氧发生装置包括把接地电极及高压电极通过电介质相对配置、在上述电极间外加高压发生放电的放电体；把含氧气体供到电极间，借助于放电产生臭氧，其中，放电体具有多个放电单元，该放电单元通过对共同的接地电极配置多个电介质和/或电极而构成。把放电体多级层叠、连接起来构成块，把块多级层叠、连接起来构成组件。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116457072A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202080107434.5
申请日：2020-12-15
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B01D53/04
Abstract: 本公开的目的在于提供能够抑制臭氧发生效率的降低的臭氧供给装置及臭氧供给方法。本公开的臭氧供给装置(100)包括：供给含氧及氮的原料气体的原料气体供给部(1)；从包含原料气体和回送气体的供给气体来生成含臭氧的臭氧化气体的臭氧发生部(2)；吸附臭氧化气体中所含的臭氧、将回送气体排出的吸附脱附部(3)；包含将臭氧发生部(2)中生成的臭氧化气体供给至吸附脱附部(3)、将从吸附脱附部(3)排出的回送气体与原料气体一起供给至臭氧发生部(2)的配管(4)、臭氧发生部(2)、及吸附脱附部(3)的循环回路；和基于循环回路内的信息来控制供给气体的氮浓度的控制部(5)。
-
公开(公告)号：CN115298135A
公开(公告)日：2022-11-04
申请号：CN202080096003.3
申请日：2020-04-09
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 提供能够高效地向处理水注入氧自由基的氧自由基供给装置。氧自由基供给装置(3)具备：供给水的水供给部(61)、排出处理水的水排出部(65)以及针对从水供给部供给的水从交叉方向在水供给部与水排出部之间附加氧自由基的氧自由基供给机构(7)，所述交叉方向与从水供给部朝向水排出部的水流方向交叉。
-
公开(公告)号：CN102815672B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201210295039.1
申请日：2005-04-05
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C01B13/11
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/34 , C01B2201/64
Abstract: 本发明提供一种臭氧发生装置，其目的在于：在以极高纯度的氧（纯度≥99.9%）为原料气体的情况下，高效率地生成不含氮氧化物的高浓度臭氧气体。本发明的臭氧发生装置具有通过施加交流电压而放电的两个电极（11、12），以及设置在上述电极间的至少一个电介体（22）；向发生上述放电的放电空间（40）内提供含氧的原料气体，经上述放电产生臭氧；在至少一个上述电极和放电空间之间的与放电接触的面的表面电阻率为104Ω~1011Ω；提供给上述放电空间的原料气体为纯度≥99.9%的高纯度的氧。
-
公开(公告)号：CN100513302C
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200610139872.1
申请日：2002-07-26
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: C01B13/11 , C01B2201/12 , C01B2201/22 , C01B2201/32 , C01B2201/76
Abstract: 本发明提供一种可提高放电间隙冷却性能并可形成用于产生纯净臭氧的放电间隙的臭氧发生器，它具有平板状的低压电极7、与电压电极7的主表面相对的平板状的高压电极3、设置在低压电极7与高压电极3之间的平板状的电介质5以及用于在叠层方向上形成厚度小的放电间隙6的衬垫、设置在高压电极3的与放电间隙6的反面侧主面相对的用于冷却高压电极3的电极冷却板1、夹在高压电极3与电极冷却板1之间的导热·电气绝缘板2，使得在低压电极7与高压电极3之间施加交流电压，在输入了氧气的放电间隙6中产生放电并生成臭氧气体。
-
公开(公告)号：CN1807555A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200510138138.9
申请日：2005-12-22
IPC: C10G5/00
Abstract: 本发明提供一种防止由于含在汽油蒸汽中的水分的影响而使吸附剂中毒、并且小型、廉价的气体状烃的处理、回收装置以及方法，该装置具有从给油嘴1回收给油时泄漏的汽油蒸汽的装置，具备将含在该汽油蒸汽中的水分和汽油蒸汽除去的冷凝装置6、设置在该冷凝装置的后段的气体下游侧的汽油蒸汽的吸附解吸装置2、3，通过在进行给油的时间带将汽油蒸汽供给前述冷凝装置6和前述吸附解吸装置2，和该动作同期进行，使从前述吸附解吸装置3排出汽油蒸汽，将该解吸气体返回到冷凝装置处理。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
36
records
(took 0.041 seconds)
