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公开(公告)号：CN101841944A
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN201010135651.3
申请日：2010-03-15
Applicant: 岛田理化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种感应加热装置，其能够抑制装置整体重量的增加，并且不会对被加热物的边缘过度加热。本发明的感应加热装置通过将高频电流供应给加热线圈对被加热物进行感应加热，包括：第1加热线圈，被供应有高频电流；以及第2加热线圈，被供应有高频电流；所述第1加热线圈具有大致V字形状部位，所述第2加热线圈具有大致M字形状部位，所述第1加热线圈与所述第2加热线圈大致平行配置，使得所述第1加热线圈的所述大致V字形状部位与所述第2加热线圈的所述大致M字形状部位非电连接地交叉，形成大致四方形形状的空间，所述第1加热线圈与所述第2加热线圈中的至少一个在大致平行方向上移动自如。
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公开(公告)号：CN101058088A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200610126578.7
申请日：2006-08-28
Applicant: 岛田理化工业株式会社
Abstract: 本发明提供了一种湿处理设备，它能够用简单的结构最小化并且由廉价部件构成，从而降低了整个设备成本。该设备将处理物体1浸泡在清洗容器(19)中以清洗该物体，并且该设备包括：清洗容器(19)；可垂直运动板(12)，它可升降地设置在该容器上方并且具有打开的中部；提升装置(14)，它可拆卸地安装在所述板(12)上以将用于垂直运动的推力传递到该板上；输送装置(16)，它设置在所述板(12)的上部的相对侧面上；以及输送夹具(20)，它设有安装在该输送装置(16)上的框架构件(22)以及悬挂在框架构件(22)的上部上以将物体设置在悬挂状态中的设置部分(24)，该夹具构成为只是在可垂直运动板(12)下降时将设置部分(24)浸泡在该容器中。
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公开(公告)号：CN1167106C
公开(公告)日：2004-09-15
申请号：CN99803006.6
申请日：1999-11-12
Applicant: 三菱电机株式会社 , 岛田理化工业株式会社
IPC: H01L21/027 , G03F7/42
CPC classification number: H01L21/67075 , G03F7/42 , G03F7/422 , G03F7/423 , G03F7/428
Abstract: 提供了在减少材料消耗并降低通风设施成本的同时高效率且对环境无害地去除光刻胶膜的方法及其装置。去除覆在衬底表面上的光刻胶膜的方法包括：在密闭系统中，使带有光刻胶膜的衬底表面接触光刻胶膜去除溶液；在光刻胶膜去除溶液的液面附近使臭氧以气相和/或混入溶液的状态存在；改变衬底表面与溶液液面之间的相对位置以便从衬底上除去光刻胶膜或使之分解；其中，在衬底底边从位于溶液液面上方的一个位置到衬底顶边位于溶液液面下方的另一个位置之间的范围内，连续或断续地改变相对位置。用于上述方法的装置。
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公开(公告)号：CN110870190B
公开(公告)日：2023-12-05
申请号：CN201980003588.7
申请日：2019-01-11
Applicant: 岛田理化工业株式会社
IPC: H02M7/48 , H02M7/5387 , H05B6/06
Abstract: 即使进行输出控制逆变器部的输出的频率也不从谐振频率偏离，此外，改善对谐振频率变动的负载的跟随特性。在作为连接到谐振负载200）而被PWM控制的电压型逆变器的逆变器装置（10）中，具有连接到谐振负载（200）而通过逆变器驱动信号（Q、NQ）驱动的逆变器部（106）以及控制逆变器部（106）的动作的控制单元（12），控制单元（12）在将比谐振负载（200）的谐振频率的周期短的脉冲宽度的脉冲信号作为逆变器驱动信号（Q、NQ）并把从谐振频率移开的频率作为起点来开始逆变器部（106）的驱动之后，以使逆变器驱动信号（Q、NQ）的频率频移到谐振频率或谐
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公开(公告)号：CN1956609B
公开(公告)日：2010-09-29
申请号：CN200610149995.3
申请日：2006-10-25
Applicant: 岛田理化工业株式会社
Inventor： 岛津繁之
IPC: H05B6/40
CPC classification number: Y02P10/253
Abstract: 本发明的目的是提供一种感应加热装置，可有效地利用加热线圈的漏泄磁束，缓和金属板的两末端的温度上升和两末端的内侧部分的温度下降，以进行均匀的加热。该感应加热装置包括感应加热电源1、磁芯3上所安装的次级线圈2、利用初级线圈所产生的初级磁束而产生次级磁束的次级线圈5，以对金属板4的部分的温度上升或温度下降进行抑制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100459818C
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN03804815.9
申请日：2003-02-27
Applicant: 岛田理化工业株式会社
CPC classification number: H05B6/38 , C21D1/10 , C21D9/08 , Y02P10/253
Abstract: 为提供一种加热效率高、能够对被加热物上所形成的孔等筒状部位的内径一侧高效率进行加热的内径表面感应加热线圈，在对零部件上所形成的筒状部位上作为位于以轴向为中心的内径一侧的表面的内径表面进行感应加热的内径表面感应加热线圈中，具有由绝缘体形成的中空的壳体(12)，以及由配设在所说壳体(12)的内部的薄片状导体构成、其上外加高频电流的加热部件(14)。
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公开(公告)号：CN101287336A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200710152949.3
申请日：2007-09-25
Applicant: 岛田理化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止搬运中产生粉尘，并可利用简易的搬运机构而稳定地进行大型玻璃基板的搬运的倾斜型的基板搬运装置。本基板搬运装置包括：第1旋转轴(10)，其具有多个支持搬运滚子，该支持搬运滚子以规定的角度倾斜设置着，并与玻璃基板(60)的下面相接，以用来进行搬运驱动；第2旋转轴，其具有定位搬运滚子，该定位搬运滚子与倾斜的第1旋转轴(10)的两侧对向设置着，并与玻璃基板(60)的端面相接而定位且进行搬运驱动；以及第3旋转轴，其具有基板面按压搬运滚子，该基板面按压搬运滚子与倾斜的第1旋转轴(10)的两侧对向设置着，并与第1旋转轴(10)两端的支持搬运滚子对向且与玻璃基板(60)的上面相接，以进行搬运驱动。
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公开(公告)号：CN1891358A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610100040.9
申请日：2006-06-27
Applicant: 岛田理化工业株式会社 , 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板清洗装置及基板清洗方法，能将进行机械切割或研磨处理等后附着在玻璃基板的端面等处的异物有效地除去。在将液体和气体供给到喷嘴、并通过上述喷嘴将混合了上述液体和上述气体的流体喷射到基板上来清洗上述基板的基板清洗装置中，具有对向喷嘴供给的液体进行加热而控制上述液体的温度的液体加热机构，将上述喷嘴入口处的上述液体的温度控制在40～100℃。
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公开(公告)号：CN1640197A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：CN03804815.9
申请日：2003-02-27
Applicant: 岛田理化工业株式会社
CPC classification number: H05B6/38 , C21D1/10 , C21D9/08 , Y02P10/253
Abstract: 为提供一种加热效率高、能够对被加热物上所形成的孔等筒形形状部位的内径一侧高效率进行加热的内径表面感应加热线圈，在对零部件上所形成的筒形形状部位上作为位于以轴向为中心的内径一侧的表面的内径表面进行感应加热的内径表面感应加热线圈中，具有由绝缘体形成的中空的壳体(12)，以及由配设在所说壳体(12)的内部的薄片状导体构成、其上外加高频电流的加热部件(14)。
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公开(公告)号：CN1956609A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：CN200610149995.3
申请日：2006-10-25
Applicant: 岛田理化工业株式会社
Inventor： 岛津繁之
IPC: H05B6/40
CPC classification number: Y02P10/253
Abstract: 本发明的目的是提供一种感应加热装置，可有效地利用加热线圈的漏泄磁束，缓和金属板的两末端的温度上升和两末端的内侧部分的温度下降，以进行均匀的加热。该感应加热装置包括感应加热电源1、磁芯3上所安装的次级线圈2、利用初级线圈所产生的初级磁束而产生次级磁束的次级线圈5，以对金属板4的部分的温度上升或温度下降进行抑制。
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