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公开(公告)号:CN101287336A
公开(公告)日:2008-10-15
申请号:CN200710152949.3
申请日:2007-09-25
Applicant: 岛田理化工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够防止搬运中产生粉尘,并可利用简易的搬运机构而稳定地进行大型玻璃基板的搬运的倾斜型的基板搬运装置。本基板搬运装置包括:第1旋转轴(10),其具有多个支持搬运滚子,该支持搬运滚子以规定的角度倾斜设置着,并与玻璃基板(60)的下面相接,以用来进行搬运驱动;第2旋转轴,其具有定位搬运滚子,该定位搬运滚子与倾斜的第1旋转轴(10)的两侧对向设置着,并与玻璃基板(60)的端面相接而定位且进行搬运驱动;以及第3旋转轴,其具有基板面按压搬运滚子,该基板面按压搬运滚子与倾斜的第1旋转轴(10)的两侧对向设置着,并与第1旋转轴(10)两端的支持搬运滚子对向且与玻璃基板(60)的上面相接,以进行搬运驱动。