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公开(公告)号：CN1891358A
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200610100040.9
申请日：2006-06-27
Applicant: 岛田理化工业株式会社 , 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明涉及一种基板清洗装置及基板清洗方法，能将进行机械切割或研磨处理等后附着在玻璃基板的端面等处的异物有效地除去。在将液体和气体供给到喷嘴、并通过上述喷嘴将混合了上述液体和上述气体的流体喷射到基板上来清洗上述基板的基板清洗装置中，具有对向喷嘴供给的液体进行加热而控制上述液体的温度的液体加热机构，将上述喷嘴入口处的上述液体的温度控制在40～100℃。
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