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公开(公告)号：CN101913209A
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN201010255701.1
申请日：2005-05-11
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种硅片的制造方法，所述硅片的制造方法具有使用硅锭切割用浆液由硅锭切出具有预定的表面粗糙度的硅块的步骤、以及由所述硅块切出分别具有预定的厚度的硅片的步骤，所述硅锭切割用浆液含有磨粒和碱性物质，所述浆液含有相对于所述浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5以上、5.0以下的有机胺，所述浆液的pH值为12以上，且在65℃以上、95℃以下的温度下使用所述浆液，所述预定的表面粗糙度被设定成基板损坏改善率为80％以上的区域的上限值以下。
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公开(公告)号：CN1487552A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03133168.8
申请日：2003-07-22
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 提供一种即使在选色电极的形状上产生扭曲时也能用简单的方法使选色电极控制在适当的姿势的选色电极支架安装定位装置，以及使用该安装定位装置的选色电极支架安装定位方法。选色电极支柱31～34用P1、P2、P3、P4四个支点支承选色电极1，但是，由于选色电极1的形状扭曲，因此在支点P4上选色电极1不与选色电极支柱34接触。如使选色电极可动支持部4在z方向上移动，那么选色电极1就以线段P1－P3为轴旋转，随即选色电极1将与支点P4接触。如选色电极可动支持部4停止，线段P1－P3就被保持在与线段P2－P4平行的位置上。换言之，选色电极1被控制在扭曲被平均化的姿势上。
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公开(公告)号：CN100503166C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200480011416.8
申请日：2004-10-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 与该发明相关的钢线锯是一面向被加工物与钢线的切割界面供给含有碱或混酸的料浆，一面切割上述被加工物的多钢线锯，具有：带加热机构的储藏罐，该储藏罐用于储藏加热上述料浆；保温管，该保温管在从上述带加热机构的储藏罐直到上述钢线即将进入上述被加工物前的位置，一面将由泵送出的上述料浆维持在规定的温度，一面运送；恒温槽，该恒温槽将固定在载物台上的上述被加工物附近的温度维持在上述规定的温度；钢线加热机构，该钢线加热机构将上述钢线加热到上述规定的温度。其结果为，可以降低硅块切割加工时的切割阻力，同时可减小其厚度不均，可以以高效率·低成本获得高品质的晶片。
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公开(公告)号：CN1780717A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200480011416.8
申请日：2004-10-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 与该发明相关的钢线锯是一面向被加工物与钢线的切割界面供给含有碱或混酸的料浆，一面切割上述被加工物的多钢线锯，具有：带加热机构的储藏罐，该储藏罐用于储藏加热上述料浆；保温管，该保温管在从上述带加热机构的储藏罐直到上述钢线即将进入上述被加工物前的位置，一面将由泵送出的上述料浆维持在规定的温度，一面运送；恒温槽，该恒温槽将固定在载物台上的上述被加工物附近的温度维持在上述规定的温度；钢线加热机构，该钢线加热机构将上述钢线加热到上述规定的温度。其结果为，可以降低硅块切割加工时的切割阻力，同时可减小其厚度不均，可以以高效率·低成本获得高品质的晶片。
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公开(公告)号：CN101913209B
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：CN201010255701.1
申请日：2005-05-11
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种硅片的制造方法，所述硅片的制造方法具有使用硅锭切割用浆液由硅锭切出具有预定的表面粗糙度的硅块的步骤、以及由所述硅块切出分别具有预定的厚度的硅片的步骤，所述硅锭切割用浆液含有磨粒和碱性物质，所述浆液含有相对于所述浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5以上、5.0以下的有机胺，所述浆液的pH值为12以上，且在65℃以上、95℃以下的温度下使用所述浆液，所述预定的表面粗糙度被设定成基板损坏改善率为80％以上的区域的上限值以下。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101132896A
公开(公告)日：2008-02-27
申请号：CN200580048866.9
申请日：2005-05-11
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种硅块及硅片的制造方法，其为了提供可以制造成在制造太阳能电池时基板损坏少、厚度薄的硅片的硅块，而使用含有磨粒和碱性物质的硅锭切割用浆液，切割硅锭来制造硅块，所述碱性物质的含量相对于所述浆液的液体成分整体的质量至少为3.5质量％；所述浆液含有相对于所述浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5以上、5.0以下的有机胺；所述浆液的pH值为12以上，且在65℃以上、95℃以下使用所述浆液。
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公开(公告)号：CN1487554A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03132815.6
申请日：2003-07-21
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 提供了一种选色电极测量装置及用该装置的选色电极测量方法，当安装在面板上的面板销的位置与设计值存在偏差时也可减小面板和选色电极间隔的偏差。在选色电极测量装置100中，测量选色电极基体面2的高度的选色电极高度测量单元6被配置到移动用激励器7、8上，并可在xy平面内移动。算出面板销14～17的位置坐标的重心与设计坐标的重心偏差(ΔX，ΔY，ΔZ)，通过移动用激励器7，8使选色电极高度测量单元6在xy平面内移动(ΔX，ΔY)后，测量选色电极基体面2的高度。
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公开(公告)号：CN102195372B
公开(公告)日：2014-04-02
申请号：CN201110051444.4
申请日：2011-03-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 用粘接剂将定子和壳体固定而制造旋转电机时，由于粘接剂的使用量多，所以制造成本高。为此，对于制造成本低的旋转电机及其制造方法的要求日益增加。本发明提供的旋转电机具有：定子，在定子铁芯上设置着线圈；壳体，用于保持定子；以及粘接层，设在定子的壳体固定面与壳体的定子安装面之间，粘接定子的壳体固定面和定子安装面；该粘接层含有粒体和结合材料。
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公开(公告)号：CN102195372A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110051444.4
申请日：2011-03-04
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 用粘接剂将定子和壳体固定而制造旋转电机时，由于粘接剂的使用量多，所以制造成本高。为此，对于制造成本低的旋转电机及其制造方法的要求日益增加。本发明提供的旋转电机具有：定子，在定子铁芯上设置着线圈；壳体，用于保持定子；以及粘接层，设在定子的壳体固定面与壳体的定子安装面之间，粘接定子的壳体固定面和定子安装面；该粘接层含有粒体和结合材料。
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公开(公告)号：CN1477668A
公开(公告)日：2004-02-25
申请号：CN03107994.6
申请日：2003-03-28
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01J9/14
Abstract: 提供一种可以消除周边除去后发生的电极主体的外周端部突出的阴极射线管的制造装置及制造方法。所述阴极射线管的制造装置具有将分色电极固定到规定位置上的定位、固定机构，以及除去电极主体的周边之后，将分色电极的电极主体的外周端部向框架上推压的压弯装置。压弯装置具有辊，支承机构，使支承机构沿相对于电极主体接近或远离的方向移动的第一移动机构，使支承机构向框架的长度方向移动的第二移动机构。用第一移动机构将辊推压到电极主体的外周端部上，用第二移动机构使推压到电极主体的外周端部上的辊沿框架的边的方向移动。
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