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公开(公告)号：CN101076452A
公开(公告)日：2007-11-21
申请号：CN200580014018.6
申请日：2005-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B41C1/14 , B41M3/006 , H01L31/022425 , H05K3/1225 , Y02E10/50 , Y10T428/24777
Abstract: 本发明的目的在于得到由用网板印刷法涂敷电极的印刷掩模形成的印刷图案的边缘部的平均膜厚与中央部的平均膜厚的差小于等于5μm的印刷掩模。在将在掩模框5中伸张地设置的网眼2的与在印刷对象上形成的电极图案对应的区域定为开口区域4、将在除此以外的区域中埋入树脂定为掩模部3的印刷掩模1中，掩模部3具有在网眼2的与印刷对象对置的一侧从网眼2突出而形成的突出部3a，突出部3a的厚度是在用印刷掩模形成了电极图案时电极图案的端部与除此以外的部分的平均膜厚的差为小于等于5μm的厚度。
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公开(公告)号：CN100503166C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200480011416.8
申请日：2004-10-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 与该发明相关的钢线锯是一面向被加工物与钢线的切割界面供给含有碱或混酸的料浆，一面切割上述被加工物的多钢线锯，具有：带加热机构的储藏罐，该储藏罐用于储藏加热上述料浆；保温管，该保温管在从上述带加热机构的储藏罐直到上述钢线即将进入上述被加工物前的位置，一面将由泵送出的上述料浆维持在规定的温度，一面运送；恒温槽，该恒温槽将固定在载物台上的上述被加工物附近的温度维持在上述规定的温度；钢线加热机构，该钢线加热机构将上述钢线加热到上述规定的温度。其结果为，可以降低硅块切割加工时的切割阻力，同时可减小其厚度不均，可以以高效率·低成本获得高品质的晶片。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1780717A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200480011416.8
申请日：2004-10-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 与该发明相关的钢线锯是一面向被加工物与钢线的切割界面供给含有碱或混酸的料浆，一面切割上述被加工物的多钢线锯，具有：带加热机构的储藏罐，该储藏罐用于储藏加热上述料浆；保温管，该保温管在从上述带加热机构的储藏罐直到上述钢线即将进入上述被加工物前的位置，一面将由泵送出的上述料浆维持在规定的温度，一面运送；恒温槽，该恒温槽将固定在载物台上的上述被加工物附近的温度维持在上述规定的温度；钢线加热机构，该钢线加热机构将上述钢线加热到上述规定的温度。其结果为，可以降低硅块切割加工时的切割阻力，同时可减小其厚度不均，可以以高效率·低成本获得高品质的晶片。
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公开(公告)号：CN101076452B
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN200580014018.6
申请日：2005-11-28
Applicant: 三菱电机株式会社
CPC classification number: B41C1/14 , B41M3/006 , H01L31/022425 , H05K3/1225 , Y02E10/50 , Y10T428/24777
Abstract: 本发明的目的在于得到由用网板印刷法涂敷电极的印刷掩模形成的印刷图案的边缘部的平均膜厚与中央部的平均膜厚的差小于等于5μm的印刷掩模。在将在掩模框5中伸张地设置的网眼2的与在印刷对象上形成的电极图案对应的区域定为开口区域4、将在除此以外的区域中埋入树脂定为掩模部3的印刷掩模1中，掩模部3具有在网眼2的与印刷对象对置的一侧从网眼2突出而形成的突出部3a，突出部3a的厚度是在用印刷掩模形成了电极图案时电极图案的端部与除此以外的部分的平均膜厚的差为小于等于5μm的厚度。
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公开(公告)号：CN100521246C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200680023755.7
申请日：2006-06-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: H01L31/022425 , H01L31/0224 , H01L31/022433 , H01L31/0508 , Y02E10/50
Abstract: 本发明的目的在于不增大电极的电阻，得到机械强度大的太阳能电池单元，本发明的太阳能电池单元(10)具备硅基板(3)、从硅基板(3)的背面集电的作为第1电极的铝电极(1)、从铝电极(1)取出输出的作为第2电极的银电极(2)，铝电极(1)形成在硅基板(3)的背面上，具有开口部(1a)以及从开口部(1a)在硅基板(3)内面内的与主应力的方向平行的方向上凹陷的切口部(1b)，银电极(2)形成为覆盖铝电极(1)的至少开口部(1a)和切口部(1b)。
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公开(公告)号：CN101213672A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200680023755.7
申请日：2006-06-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: H01L31/0224 , H01L31/068
CPC classification number: H01L31/022425 , H01L31/0224 , H01L31/022433 , H01L31/0508 , Y02E10/50
Abstract: 本发明的目的在于不增大电极的电阻，得到机械强度大的太阳能电池单元，本发明的太阳能电池单元(10)具备硅基板(3)、从硅基板(3)的背面集电的作为第1电极的铝电极(1)、从铝电极(1)取出输出的作为第2电极的银电极(2)，铝电极(1)形成在硅基板(3)的背面上，具有开口部(1a)以及从开口部(1a)在硅基板(3)内面内的与主应力的方向平行的方向上凹陷的切口部(1b)，银电极(2)形成为覆盖铝电极(1)的至少开口部(1a)和切口部(1b)。
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公开(公告)号：CN1780901A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200480011473.6
申请日：2004-10-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C10M173/02 , B24B57/02 , B28D5/00 , H01L21/304 , C10N30/06 , C10N40/22
CPC classification number: C09K3/1463 , B28D5/007 , Y02P70/179 , Y10T83/04
Abstract: 在本发明的硅锭切割用浆液中，碱性物质的含量相对于浆液的液体成分的整体质量至少为3.5质量％；含有相对于浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5～5.0的有机胺，并且浆液的pH值在12以上。另外，本发明的硅锭切割方法中，在65℃～95℃下使用上述硅锭切割用浆液。其结果是，降低了硅锭切割加工时的切割阻力，能够有效地得到高品质的晶圆。
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