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公开(公告)号：CN101687306A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200780053509.0
申请日：2007-06-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
CPC classification number: B24B27/0633 , B23D57/0023 , B23D57/0061 , B28D5/045
Abstract: 本发明所提供的多线锯可防止在坯料切断开始时由金属丝的浮起产生的金属丝在导辊槽内的位移。把金属丝(11)缠绕在多个金属丝导辊(14a、14b、41)上，在坯料(32)的输送方向确定金属丝(11)的位置，在该状态下，在金属丝导辊(14a、14b、41)附近配设与金属丝(11)接触而限制金属丝浮起的由回转体构成的金属丝浮起限制部件(42)。
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公开(公告)号：CN1780901A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200480011473.6
申请日：2004-10-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C10M173/02 , B24B57/02 , B28D5/00 , H01L21/304 , C10N30/06 , C10N40/22
CPC classification number: C09K3/1463 , B28D5/007 , Y02P70/179 , Y10T83/04
Abstract: 在本发明的硅锭切割用浆液中，碱性物质的含量相对于浆液的液体成分的整体质量至少为3.5质量％；含有相对于浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5～5.0的有机胺，并且浆液的pH值在12以上。另外，本发明的硅锭切割方法中，在65℃～95℃下使用上述硅锭切割用浆液。其结果是，降低了硅锭切割加工时的切割阻力，能够有效地得到高品质的晶圆。
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公开(公告)号：CN101687306B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200780053509.0
申请日：2007-06-27
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
CPC classification number: B24B27/0633 , B23D57/0023 , B23D57/0061 , B28D5/045
Abstract: 本发明所提供的多线锯可防止在坯料切断开始时由金属丝的浮起产生的金属丝在导辊槽内的位移。把金属丝(11)缠绕在多个金属丝导辊(14a、14b、41)上，在坯料(32)的输送方向确定金属丝(11)的位置，在该状态下，在金属丝导辊(14a、14b、41)附近配设与金属丝(11)接触而限制金属丝浮起的由回转体构成的金属丝浮起限制部件(42)。
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公开(公告)号：CN101360592B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN200680051648.5
申请日：2006-10-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B28D5/04
CPC classification number: B28D5/007 , B28D5/045 , C09K3/1463 , Y02P70/179
Abstract: 本发明提供一种硅锭切割用浆料及使用该浆料的硅锭切割方法，作为含有碱金属氢氧化物等碱性物质及磨粒、水的硅锭切削用浆料，使用作为相对所述浆料中除磨粒外的全部成分的质量的比例含有碱性物质2质量％～6质量％，含有甘油25质量％～55质量％的浆料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101360592A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200680051648.5
申请日：2006-10-20
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B28D5/04
CPC classification number: B28D5/007 , B28D5/045 , C09K3/1463 , Y02P70/179
Abstract: 本发明提供一种硅锭切割用浆料及使用该浆料的硅锭切割方法，作为含有碱金属氢氧化物等碱性物质及磨粒、水的硅锭切削用浆料，使用作为相对所述浆料中除磨粒外的全部成分的质量的比例含有碱性物质2质量％～6质量％，含有甘油25质量％～55质量％的浆料。
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公开(公告)号：CN108137288A
公开(公告)日：2018-06-08
申请号：CN201680058433.X
申请日：2016-10-03
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B66B23/12
CPC classification number: B66B23/12 , B66B23/024
Abstract: 获得一种乘客输送机的梯级及乘客输送机的梯级的组装方法，能够使结构简单，并且能够实现通过套筒将梯级主体安装于梯级轴的作业负担的减轻。在乘客输送机的梯级中，套筒具有筒状的套筒主体、爪、以及连接套筒主体和爪的连接部，该套筒主体能够沿着梯级轴的轴线相对于主轴部滑动，该爪勾挂于在主轴部和突出轴部的边界处形成的阶梯部。连接部具有能够向使爪从阶梯部脱离的方向弹性变形的臂部。在梯级主体固定有形成有凹部的安装部。凹部嵌合于套筒主体的外周面。凹部的敞开部比套筒主体的外径小。
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公开(公告)号：CN100503166C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200480011416.8
申请日：2004-10-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 与该发明相关的钢线锯是一面向被加工物与钢线的切割界面供给含有碱或混酸的料浆，一面切割上述被加工物的多钢线锯，具有：带加热机构的储藏罐，该储藏罐用于储藏加热上述料浆；保温管，该保温管在从上述带加热机构的储藏罐直到上述钢线即将进入上述被加工物前的位置，一面将由泵送出的上述料浆维持在规定的温度，一面运送；恒温槽，该恒温槽将固定在载物台上的上述被加工物附近的温度维持在上述规定的温度；钢线加热机构，该钢线加热机构将上述钢线加热到上述规定的温度。其结果为，可以降低硅块切割加工时的切割阻力，同时可减小其厚度不均，可以以高效率·低成本获得高品质的晶片。
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公开(公告)号：CN1780717A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200480011416.8
申请日：2004-10-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 与该发明相关的钢线锯是一面向被加工物与钢线的切割界面供给含有碱或混酸的料浆，一面切割上述被加工物的多钢线锯，具有：带加热机构的储藏罐，该储藏罐用于储藏加热上述料浆；保温管，该保温管在从上述带加热机构的储藏罐直到上述钢线即将进入上述被加工物前的位置，一面将由泵送出的上述料浆维持在规定的温度，一面运送；恒温槽，该恒温槽将固定在载物台上的上述被加工物附近的温度维持在上述规定的温度；钢线加热机构，该钢线加热机构将上述钢线加热到上述规定的温度。其结果为，可以降低硅块切割加工时的切割阻力，同时可减小其厚度不均，可以以高效率·低成本获得高品质的晶片。
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