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公开(公告)号：CN107953482B
公开(公告)日：2020-03-10
申请号：CN201710793222.7
申请日：2017-09-06
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B29B17/02
Abstract: 本发明涉及静电分选装置以及静电分选方法。静电分选装置(1)具备：带电装置(3)，使多种树脂片(2a、2b)摩擦带电；一对电极(7a、7b)，在该一对电极之间产生静电场；输送装置(5)，将树脂片(2a、2b)从铅垂上方引导至静电场；回收容器(10)，设置于静电场的铅垂下方，回收通过静电场而落下的树脂片(2a、2b)；以及测量传感器(6)，对静电场与回收容器(10)之间的测量空间中的树脂片(2a、2b)的落下量进行测量。
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公开(公告)号：CN102209441A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201010245746.0
申请日：2010-08-03
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明得到一种焊料接合部的品质管理方法，其无需追加检查就可以实时、非破坏性且高精度地进行品质检查。在向树脂基板上供给焊料以及局部热能而形成的接合部的品质管理方法中，具有下述工序：在接合中测量接合部的温度随时间的变化；根据测量数据求多个特征量；根据多个特征量求单一数值指标；以及比较数值指标与预先确定的阈值而判定接合部合格还是不合格，多个特征量包括：时间t1，其是接合部温度大于或等于满足(基板玻化温度-50℃)≤T1≤(基板玻化温度+250℃)这一条件的预先确定的温度T1的时间；以及时间t2，其是从利用热能开始加热时至接合部温度达到满足(基板玻化温度一50℃)≤T2≤(基板玻化温度+250℃)这一条件的预先确定的T2的时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107953482A
公开(公告)日：2018-04-24
申请号：CN201710793222.7
申请日：2017-09-06
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B29B17/02
Abstract: 本发明涉及静电分选装置以及静电分选方法。静电分选装置(1)具备：带电装置(3)，使多种树脂片(2a、2b)摩擦带电；一对电极(7a、7b)，在该一对电极之间产生静电场；输送装置(5)，将树脂片(2a、2b)从铅垂上方引导至静电场；回收容器(10)，设置于静电场的铅垂下方，回收通过静电场而落下的树脂片(2a、2b)；以及测量传感器(6)，对静电场与回收容器(10)之间的测量空间中的树脂片(2a、2b)的落下量进行测量。
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公开(公告)号：CN102209441B
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201010245746.0
申请日：2010-08-03
Applicant: 三菱电机株式会社
Abstract: 本发明得到一种焊料接合部的品质管理方法，其无需追加检查就可以实时、非破坏性且高精度地进行品质检查。在向树脂基板上供给焊料以及局部热能而形成的接合部的品质管理方法中，具有下述工序：在接合中测量接合部的温度随时间的变化；根据测量数据求多个特征量；根据多个特征量求单一数值指标；以及比较数值指标与预先确定的阈值而判定接合部合格还是不合格，多个特征量包括：时间t1，其是接合部温度大于或等于满足(基板玻化温度-50℃)≤T1≤(基板玻化温度+250℃)这一条件的预先确定的温度T1的时间；以及时间t2，其是从利用热能开始加热时至接合部温度达到满足(基板玻化温度一50℃)≤T2≤(基板玻化温度+250℃)这一条件的预先确定的T2的时间。
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公开(公告)号：CN1780901A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200480011473.6
申请日：2004-10-12
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: C10M173/02 , B24B57/02 , B28D5/00 , H01L21/304 , C10N30/06 , C10N40/22
CPC classification number: C09K3/1463 , B28D5/007 , Y02P70/179 , Y10T83/04
Abstract: 在本发明的硅锭切割用浆液中，碱性物质的含量相对于浆液的液体成分的整体质量至少为3.5质量％；含有相对于浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5～5.0的有机胺，并且浆液的pH值在12以上。另外，本发明的硅锭切割方法中，在65℃～95℃下使用上述硅锭切割用浆液。其结果是，降低了硅锭切割加工时的切割阻力，能够有效地得到高品质的晶圆。
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公开(公告)号：CN100503166C
公开(公告)日：2009-06-24
申请号：CN200480011416.8
申请日：2004-10-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 与该发明相关的钢线锯是一面向被加工物与钢线的切割界面供给含有碱或混酸的料浆，一面切割上述被加工物的多钢线锯，具有：带加热机构的储藏罐，该储藏罐用于储藏加热上述料浆；保温管，该保温管在从上述带加热机构的储藏罐直到上述钢线即将进入上述被加工物前的位置，一面将由泵送出的上述料浆维持在规定的温度，一面运送；恒温槽，该恒温槽将固定在载物台上的上述被加工物附近的温度维持在上述规定的温度；钢线加热机构，该钢线加热机构将上述钢线加热到上述规定的温度。其结果为，可以降低硅块切割加工时的切割阻力，同时可减小其厚度不均，可以以高效率·低成本获得高品质的晶片。
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公开(公告)号：CN1780717A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200480011416.8
申请日：2004-10-22
Applicant: 三菱电机株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 与该发明相关的钢线锯是一面向被加工物与钢线的切割界面供给含有碱或混酸的料浆，一面切割上述被加工物的多钢线锯，具有：带加热机构的储藏罐，该储藏罐用于储藏加热上述料浆；保温管，该保温管在从上述带加热机构的储藏罐直到上述钢线即将进入上述被加工物前的位置，一面将由泵送出的上述料浆维持在规定的温度，一面运送；恒温槽，该恒温槽将固定在载物台上的上述被加工物附近的温度维持在上述规定的温度；钢线加热机构，该钢线加热机构将上述钢线加热到上述规定的温度。其结果为，可以降低硅块切割加工时的切割阻力，同时可减小其厚度不均，可以以高效率·低成本获得高品质的晶片。
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