公开(公告)号：CN102077359A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200880129990.1

申请日：2008-06-26

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 滨笃郎 ,  森川浩昭

IPC分类号： H01L31/04

CPC分类号： H01L31/1804 ,  H01L31/02167 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/0504 ,  H01L31/068 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： 在第1导电类型的半导体基板的一面侧形成第2导电类型的杂质扩散层及反射防止膜，在反射防止膜上涂敷包含玻璃的第1电极材料，在半导体基板的另一面侧形成钝化膜，在钝化膜的至少一部分形成达到半导体基板的另一面侧的多个开口部，以掩埋多个开口部且不与邻接的开口部的第2电极材料接触的方式涂敷包含第1导电类型的杂质元素的第1电极材料，以与所涂敷的所有第2电极材料接触的方式在钝化膜上涂敷第3电极材料，在第1电极材料及第3电极材料的涂敷后以规定的温度加热半导体基板，从而同时形成贯通反射防止膜而与杂质扩散层电连接的第1电极、在半导体基板的另一面侧使第1导电类型的杂质比半导体基板的其他区域高浓度地扩散了的高浓度区域及与高浓度区域电连接的第2电极和第3电极。

公开(公告)号：CN101913209A

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN201010255701.1

申请日：2005-05-11

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 森川浩昭 ,  唐木田昇市 ,  河嵜贵文

IPC分类号： B28D5/04 ,  C09K3/14

摘要： 本发明提供一种硅片的制造方法，所述硅片的制造方法具有使用硅锭切割用浆液由硅锭切出具有预定的表面粗糙度的硅块的步骤、以及由所述硅块切出分别具有预定的厚度的硅片的步骤，所述硅锭切割用浆液含有磨粒和碱性物质，所述浆液含有相对于所述浆液的液体成分中的水分的质量比为0.5以上、5.0以下的有机胺，所述浆液的pH值为12以上，且在65℃以上、95℃以下的温度下使用所述浆液，所述预定的表面粗糙度被设定成基板损坏改善率为80％以上的区域的上限值以下。

公开(公告)号：CN106409923A

公开(公告)日：2017-02-15

申请号：CN201610982274.4

申请日：2012-08-09

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 米泽雅人 ,  西村邦彦 ,  太田成人 ,  森川浩昭

IPC分类号： H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  H01L31/028 ,  H01L31/0224

CPC分类号： H01L31/02168 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/028 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/18

摘要： 本发明提供一种太阳能电池的制造方法，包括：第一工序，对半导体基板的一面侧的一部分涂敷含有杂质元素的浆料；第二工序，在处理室内对半导体基板实施不含有杂质元素的气体的环境下的第一热处理，使杂质元素从浆料扩散到所述浆料的下部区域而在所述浆料的下部区域形成以第一浓度扩散了杂质元素的第一杂质扩散层；第三工序，在处理室中保持半导体基板的状态下，在处理室内，接着第一热处理以与第一热处理不同的杂质元素的扩散条件对半导体基板实施含有杂质元素的含掺杂物气体的环境下的第二热处理，使杂质元素从含掺杂物气体扩散到未涂敷浆料的露出区域，从而在露出区域形成以低于第一浓度的第二浓度扩散了杂质元素的第二杂质扩散层。

公开(公告)号：CN101783370A

公开(公告)日：2010-07-21

申请号：CN200910004883.2

申请日：2009-01-21

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 森川浩昭 ,  伊藤直树 ,  冈庭香 ,  矢岛伦明 ,  铃木孝幸

IPC分类号： H01L31/042 ,  H01L23/36

CPC分类号： Y02E10/50

摘要： 本发明提供一种太阳能电池模块，所述太阳能电池模块可以具有充分的散热性，且具有轻量、成本低廉的散热装置。所述太阳能电池模块具有：透光性盖板；具有非受光面和与所述透光性盖板的背面对置的受光面的太阳能电池单元；以及具有与所述太阳能电池单元的非受光面对置的背面的散热板；其中，作为所述散热板，使用由包含石墨的材料制成、且实施了作为散热鳍片的凹凸加工而成的散热板。

公开(公告)号：CN101088167A

公开(公告)日：2007-12-12

申请号：CN200580017453.4

申请日：2005-11-28

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 西田隆彦 ,  中谷光德 ,  森川浩昭 ,  唐木田升市

IPC分类号： H01L31/0224

CPC分类号： H01L31/022425 ,  H01L31/0504 ,  Y02E10/50

摘要： 通过具备光电变换层、在上述光电变换层的一个面一侧设置的第一电极、在上述光电变换层的另一个面一侧设置的第二电极以及在上述光电变换层的另一个面一侧在上述光电变换层的面内方向上其外缘部与上述第二电极交叠、同时将其角部作成圆角部、设置成大致四角形状并用于从上述第二电极取出输出的第三电极，得到有效地防止了与上述第二电极交叠地设置的上述第三电极的剥离的太阳能电池单元。

公开(公告)号：CN110168743A

公开(公告)日：2019-08-23

申请号：CN201780078929.8

申请日：2017-01-16

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 森川浩昭 ,  叶影秀德 ,  长谷川裕树

IPC分类号： H01L31/05 ,  H01L31/18

摘要： 太阳能电池模块制造方法包括：焊剂涂敷工序，将焊剂涂敷在具有第一面和与第一面相向的第二面的太阳能电池单元中的设在第一面上的第一面连接电极和设在第二面上的第二面连接电极；及层叠工序，将表面由无铅焊锡包覆的第一极耳线、第二面朝上的太阳能电池单元和表面由无铅焊锡包覆的第二极耳线层叠在热板上。另外，太阳能电池模块制造方法包括：按压工序，由按压装置从上部按压第二极耳线；预备加热工序，由热板将太阳能电池单元预备加热到既定的预备加热温度；及加热工序，由灯加热器的红外线从第二面侧将太阳能电池单元加热到既定的加热温度。

公开(公告)号：CN107924956A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201580082173.5

申请日：2015-10-21

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 森川浩昭 ,  西野裕久 ,  中泽幸子 ,  浜笃郎 ,  细川雄一朗

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/18

摘要： 太阳能电池的制造方法包括：将具有包含第1浓度的杂质且具有第1电阻值的第1部位(61)和杂质的浓度是高于第1浓度的第2浓度且具有小于第1电阻值的第2电阻值的第2部位(62)的扩散层(6)形成于半导体基板(1)的受光面侧的步骤；将针对第1部位(61)的反射率大于针对第2部位(62)的反射率的检测光(70)照射到扩散层(6)的步骤；以及基于被扩散层(6)的各部位反射的检测光(70)的反射率的差异，检测扩散层(6)中的与第1反射率对应的第1部位(61)和与小于第1反射率的第2反射率对应的第2部位(62)的步骤。

公开(公告)号：CN105247686A

公开(公告)日：2016-01-13

申请号：CN201380076925.8

申请日：2013-05-28

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 森川浩昭

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/0236

CPC分类号： H01L31/022433 ,  H01L31/0201 ,  H01L31/02168 ,  H01L31/022425 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/0508 ,  H01L31/068 ,  H01L31/1804 ,  Y02E10/50

摘要： 一种太阳能电池单元，具备：第1导电类型的半导体基板，在作为受光面侧的一面侧具有扩散了第2导电类型的杂质元素的杂质扩散层；受光面侧电极，由栅电极和与所述栅电极导通且比所述栅电极更宽幅的汇流电极构成，该受光面侧电极在所述一面侧形成而与所述杂质扩散层电连接；以及背面侧电极，在所述半导体基板的与所述一面侧相反的一侧的背面中形成而与所述杂质扩散层电连接，其中，所述受光面侧电极具备第1金属电极层，该第1金属电极层是与所述半导体基板的一面侧直接接合了的金属膏电极层；第2金属电极层，由与所述第1金属电极层不同并且具有与所述第1金属电极层大致等同的电阻率的金属材料构成，是覆盖在所述第1金属电极层上而形成了的镀覆电极层，所述栅电极的剖面积是300μm2以上，所述栅电极的电极宽度是60μm以下。

公开(公告)号：CN101783370B

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN200910004883.2

申请日：2009-01-21

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 森川浩昭 ,  伊藤直树 ,  冈庭香 ,  矢岛伦明 ,  铃木孝幸

IPC分类号： H01L31/042 ,  H01L23/36

CPC分类号： Y02E10/50

摘要： 本发明提供一种太阳能电池模块，所述太阳能电池模块可以具有充分的散热性，且具有轻量、成本低廉的散热装置。所述太阳能电池模块具有：透光性盖板；具有非受光面和与所述透光性盖板的背面对置的受光面的太阳能电池单元；以及具有与所述太阳能电池单元的非受光面对置的背面的散热板；其中，作为所述散热板，使用由包含石墨的材料制成、且实施了作为散热鳍片的凹凸加工而成的散热板。

公开(公告)号：CN102077358A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200880130064.6

申请日：2008-07-03

申请人： 三菱电机株式会社

发明人： 水口一男 ,  森川浩昭

IPC分类号： H01L31/0224 ,  H01L31/068

CPC分类号： H01L31/068 ,  H01L31/022425 ,  Y02E10/547

摘要： 提供一种即使在高速焙烧条件下形成表面电极也可以使电极的宽度与未在高速焙烧条件下制作的以往的情况相同的光电动势装置。具备：p型硅基板(101)、在p型硅基板(101)的光的入射面侧形成的n型扩散层(102)、在n型扩散层(102)上形成的表面电极(110)、在p型硅基板(101)的与光的入射面对置的背面形成的p+层(103)、以及在p+层(103)上的规定的位置形成的背面电极(120)，表面电极(110)具有：在n型扩散层(102)上形成的第1电极层(111)；以及在第1电极层(111)上形成且电阻率比第1电极层(111)小的1层以上的第2电极层(112)。