半导体器件的电容的测定装置及测定夹具

    公开(公告)号:CN119375560A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202410972143.2

    申请日:2024-07-19

    Inventor: 平尾柾宜

    Abstract: 涉及半导体器件的电容的测定装置及测定夹具。使半导体器件的反馈电容的测定精度提高。在测定对象即半导体器件(100)的栅极端子和LCR仪表(30)的Lc端子(32)之间设置:第1配线(6A),其将变压器(10)的铁芯穿过1次,连接于半导体器件(100)的栅极端子和源极端子之间;以及第2配线(6B),其在变压器(10)的铁芯卷绕N圈,一端与Lc端子(32)连接,另一端接地。如果将施加于半导体器件(100)的漏极端子的AC信号的角频率设为ω,将第1配线(6A)的电感设为LS_6A,将第2配线(6B)的电感设为LS_6B,将半导体器件(100)的栅极‑源极间寄生电容设为CGS,则呈ωLS_6A

    输入电容测定电路及半导体装置的制造方法

    公开(公告)号:CN115704836A

    公开(公告)日:2023-02-17

    申请号:CN202210908518.X

    申请日:2022-07-29

    Abstract: 目的在于提供使半导体装置的输入电容的测定精度提高的输入电容测定电路。还涉及半导体装置的制造方法。输入电容测定电路具有变压器、第1电容器、第2电容器及第3电容器。变压器的初级配线的一端设置为能够与半导体装置的阳极连接。变压器的初级配线的另一端与第1电容器的一端连接。变压器的次级配线的一端设置为能够与半导体装置的阴极连接。变压器的次级配线的另一端与第2电容器的一端连接。第3电容器的一端设置为能够与半导体装置的阴极连接。第1电容器的另一端、第2电容器的另一端和第3电容器的另一端彼此电连接。

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