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公开(公告)号:CN101355056A
公开(公告)日:2009-01-28
申请号:CN200810134043.3
申请日:2008-07-22
CPC classification number: H01L27/1288 , H01L27/1214
Abstract: 本发明涉及制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物。公开了一种制造具有高的感光度、耐热性、抗冲击性的薄膜晶体管基板的方法以及为其所用的感光组合物,该方法包括在绝缘基板上形成数据线路,通过涂布感光组合物而在数据线路上形成有机绝缘膜,该感光组合物包含三元共聚物,其中该三元共聚物得自以下单体:不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物,不饱和的含有环氧基团的化合物、以及烯属化合物。
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公开(公告)号:CN101355056B
公开(公告)日:2014-02-26
申请号:CN200810134043.3
申请日:2008-07-22
CPC classification number: H01L27/1288 , H01L27/1214
Abstract: 本发明涉及制造薄膜晶体管基板的方法和用在该基板中的感光组合物。公开了一种制造具有高的感光度、耐热性、抗冲击性的薄膜晶体管基板的方法以及为其所用的感光组合物,该方法包括在绝缘基板上形成数据线路,通过涂布感光组合物而在数据线路上形成有机绝缘膜,该感光组合物包含三元共聚物,其中该三元共聚物得自以下单体:不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、或其混合物,不饱和的含有环氧基团的化合物、以及烯属化合物。
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公开(公告)号:CN101236356B
公开(公告)日:2012-11-21
申请号:CN200710006730.2
申请日:2007-02-02
Applicant: 三星电子株式会社 , 东进半导体化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0392 , G03F7/0045 , Y10S430/106 , Y10S430/114 , Y10S430/118
Abstract: 能够形成高清晰度图案的无需额外的加热处理的光致抗蚀剂组合物,其包含包括至少一种式1单元的10-70重量份的碱-可溶苯酚类聚合物、0.5-10重量份的光-酸产生剂、包括至少一种式2单元的5-50重量份的溶解抑制剂和10-90重量份的溶剂,其中上述组分的量是基于总共100重量份的碱-可溶苯酚类聚合物、光-酸产生剂、溶解抑制剂和溶剂,和其中式1和式2具有以下结构:[式1]其中R为甲基,[式2]其中R1、R2和R3相同或不同,并为氢或叔丁基乙烯醚保护基。
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公开(公告)号:CN101295135A
公开(公告)日:2008-10-29
申请号:CN200810127707.3
申请日:2008-04-14
CPC classification number: G03F7/0382 , H01L21/312 , H01L27/1214 , H01L27/1288
Abstract: 本发明涉及光刻胶组合物和使用其制造薄膜晶体管基底的方法。在一实例中,光刻胶组合物包括约1到约70重量份的含有由右面化学式1代表的重复单元的第一粘合剂树脂、约1到约70重量份的含有由右面化学式2代表的重复单元的第二粘合剂树脂、约0.5到约10重量份的光致产酸剂、约1到约20重量份的交联剂和约10到约200重量份的溶剂,在式中R1和R2独立地代表具有1到5个碳原子的烷基,n和m独立地代表自然数。该光刻胶组合物可改善光刻胶图案的耐热性和粘附能力。
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公开(公告)号:CN1916717A
公开(公告)日:2007-02-21
申请号:CN200610099216.3
申请日:2006-07-21
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G02F1/1333 , G02F1/1337 , G02F1/136
Abstract: 液晶显示器(LCD)及其制造方法。LCD包括:第一显示面板,包括形成在第一绝缘基板上的第一场产生电极;第二显示面板,与第一显示面板相对,并且包括形成在第二绝缘基板上的第二场产生电极;液晶层,形成在第一显示面板和第二显示面板之间;以及有机层,形成在第二场产生电极上,并且包括位于第一显示面板和第二显示面板之间用于允许第一显示面板和第二显示面板保持其间恒定间隙的盒间隙保持单元,以及具有用于使液晶层预倾斜的倾斜表面的液晶定向引导单元,液晶定向引导单元和盒间隙保持单元具有不小于2μm的顶端高度差。
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公开(公告)号:CN101281369B
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN200810091113.1
申请日:2008-04-02
CPC classification number: G03F7/038 , Y10S430/121 , Y10S430/123 , Y10S430/128
Abstract: 本发明涉及光刻胶组合物及使用其形成光刻胶图案的方法,该光刻胶组合物包括约0.5-约20重量份的光致产酸剂、约10-约70重量份的含有羟基的酚醛清漆树脂、约1-约40重量份的交联剂、以及约10-约150重量份的溶剂,其中该交联剂包括烷氧基甲基三聚氰胺化合物。
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公开(公告)号:CN1800981B
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200510137394.6
申请日:2005-12-23
CPC classification number: H01L21/0212 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/0226 , G03F7/0757 , H01L21/02126 , H01L21/02282 , H01L21/2855 , H01L21/3121 , H01L27/124 , H01L27/1248 , H01L27/14632
Abstract: 一种光敏树脂组合物,包括碱溶性树脂、醌二叠氮、表面活性剂和溶剂。该表面活性剂包括:具有结构的有机氟化合物、具有结构的第一硅树脂化合物、和具有结构的第二硅树脂化合物。该树脂组合物可用在显示面板中。
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公开(公告)号:CN101561632A
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200910134442.4
申请日:2009-04-14
Applicant: 三星电子株式会社 , AZ电子材料(日本)株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/008 , H01L21/336 , H01L21/027 , H01L21/84
CPC classification number: G03F7/0236 , G03F7/0007
Abstract: 本发明公开了一种光刻胶树脂组合物、用于形成图案的方法、以及使用该光刻胶树脂组合物制造显示面板的方法。该光刻胶树脂组合物包括碱溶性树脂、光刻胶化合物和溶剂,其中碱溶性树脂包括由上面化学式1表示的第一聚合物树脂,其中,R1、R2、R3、R4、R5和R6中的至少一个是羟基,至少两个是甲基且其余的任意基团是氢,而R7、R8、R9、R10和R11中的至少一个是羟基,至少两个是甲基且其余的任意基团是氢。
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公开(公告)号:CN1936705A
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN200610144771.3
申请日:2006-08-23
IPC: G03F7/004 , G03F7/20 , G03F7/26 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0382 , G03F7/105 , H01L21/32139 , H01L29/66765 , H01L29/78669 , Y10S430/106 , Y10S430/114
Abstract: 光致抗蚀剂组合物包含约10~70%重量的含有苯酚-基聚合物的粘合剂树脂、约0.5~10%重量的光-酸发生剂、约1~20%重量的交联剂、约0.1~5%重量的染料和约10~80%重量的溶剂。该光致抗蚀剂组合物可以应用于例如制备TFT基底的方法。
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