公开(公告)号：CN104808439B

公开(公告)日：2019-12-31

申请号：CN201510036077.9

申请日：2015-01-23

Applicant: 三星显示有限公司 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 朴成均 ,  朴廷敏 ,  李政洙 ,  金智贤 ,  田俊 ,  曹基铉 ,  尹赫敏 ,  金珍善 ,  吕泰勋 ,  金柄郁

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  H01L21/77

Abstract: 本发明提供了光致抗蚀剂组合物及制造薄膜晶体管基板的方法。光致抗蚀剂组合物包含相对于约100重量份的丙烯酰基共聚物为约0.1重量份至约30重量份的光引发剂、约1重量份至50重量份的包括至少五个官能团的第一丙烯酸酯单体、约1重量份至50重量份的包括至多四个官能团的第二丙烯酸酯单体。

公开(公告)号：CN104808439A

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201510036077.9

申请日：2015-01-23

Applicant: 三星显示有限公司 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 朴成均 ,  朴廷敏 ,  李政洙 ,  金智贤 ,  田俊 ,  曹基铉 ,  尹赫敏 ,  金珍善 ,  吕泰勋 ,  金柄郁

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  H01L21/77

Abstract: 本发明提供了光致抗蚀剂组合物及制造薄膜晶体管基板的方法。光致抗蚀剂组合物包含相对于约100重量份的丙烯酰基共聚物为约0.1重量份至约30重量份的光引发剂、约1重量份至50重量份的包括至少五个官能团的第一丙烯酸酯单体、约1重量份至50重量份的包括至多四个官能团的第二丙烯酸酯单体。

公开(公告)号：CN107533293B

公开(公告)日：2021-06-22

申请号：CN201680023800.2

申请日：2016-05-02

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 朴廷敏 ,  李政洙 ,  金智贤 ,  朴埈弘 ,  金炳旭 ,  尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  金东明 ,  金珍善

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/085 ,  G03F7/039 ,  H01L51/50

Abstract: 根据本发明的一实施例的正型感光性树脂组合物包含a)下述化学式1所表示的共聚物、b‑1)肟系光产酸剂、b‑2)三嗪系光产酸剂、c)有机碱、及d)溶剂。下述化学式1中，下述R1为缩醛和缩酮中的任一种，下述x+y+z＝1。

公开(公告)号：CN101526738B8

公开(公告)日：2013-06-12

申请号：CN200910004485.0

申请日：2009-03-04

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 朴廷敏 ,  郑斗喜 ,  李羲国 ,  金柄郁 ,  金东敏

IPC: G03F7/012 ,  H01L21/84

Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，其包含：由苯酚化合物制备的酚醛清漆树脂、双叠氮化合物和有机溶剂，其中间甲酚占所述苯酚化合物重量的约70重量％～约85重量％。

公开(公告)号：CN101526738B

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN200910004485.0

申请日：2009-03-04

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 朴廷敏 ,  郑斗喜 ,  李义国 ,  金柄郁 ,  金东敏

IPC: G03F7/012 ,  H01L21/84

CPC classification number: G03F7/0236

Abstract: 本发明涉及一种光致抗蚀剂组合物，其包含：由苯酚化合物制备的酚醛清漆树脂、双叠氮化合物和有机溶剂，其中间甲酚占所述苯酚化合物重量的约70重量％～约85重量％。

公开(公告)号：CN109752923B

公开(公告)日：2025-01-17

申请号：CN201811325064.3

申请日：2018-11-08

Applicant: 三星显示有限公司 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 郑壤镐 ,  朴廷敏 ,  边镇洙 ,  全保建 ,  朴喆远 ,  郑炳和 ,  崔善华 ,  金东明 ,  金珍善 ,  吕泰勳 ,  尹赫敏 ,  李政镇

IPC: G03F7/033

Abstract: 根据本发明的一实施例的感光性树脂组成物相对于丙烯酸系共聚物100重量份而包括：0.1至20重量份的自由基光引发剂；0.1至10重量份的离子光引发剂；1至50重量份的多官能团丙烯酸酯低聚物；1至50重量份的具有烯键式不饱和键的多官能团单体；以及溶剂。

公开(公告)号：CN104793464B

公开(公告)日：2019-12-24

申请号：CN201410795461.2

申请日：2014-12-18

Applicant: 三星显示有限公司 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 李政洙 ,  朴廷敏 ,  朴成均 ,  田俊 ,  曹基铉 ,  金智贤 ,  金东敏 ,  金升起 ,  诸葛银

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明公开光刻胶组合物、形成图案的方法和制造薄膜晶体管衬底的方法，所述组合物包括溶剂、酚醛清漆树脂、重氮类光敏剂、由以下化学式1表示的丙烯酰基化合物，在化学式1中，R1为氢原子或甲基，R2为芳族基团或烷基，所述烷基具有1‑1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状，R3、R4和R5各自独立地为烷氧基，所述烷氧基具有1‑1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状，并且X、Y和Z各自独立地为1‑100的整数。

公开(公告)号：CN109752923A

公开(公告)日：2019-05-14

申请号：CN201811325064.3

申请日：2018-11-08

Applicant: 三星显示有限公司 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 郑壤镐 ,  朴廷敏 ,  边镇洙 ,  全保建 ,  朴喆远 ,  郑炳和 ,  崔善华 ,  金东明 ,  金珍善 ,  吕泰勳 ,  尹赫敏 ,  李政镇

IPC: G03F7/033

Abstract: 根据本发明的一实施例的感光性树脂组成物相对于丙烯酸系共聚物100重量份而包括：0.1至20重量份的自由基光引发剂；0.1至10重量份的离子光引发剂；1至50重量份的多官能团丙烯酸酯低聚物；1至50重量份的具有烯键式不饱和键的多官能团单体；以及溶剂。

公开(公告)号：CN107533293A

公开(公告)日：2018-01-02

申请号：CN201680023800.2

申请日：2016-05-02

Applicant: 株式会社东进世美肯

Inventor： 朴廷敏 ,  李政洙 ,  金智贤 ,  朴埈弘 ,  金炳旭 ,  尹赫敏 ,  吕泰勋 ,  金东明 ,  金珍善

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/085 ,  G03F7/039 ,  H01L51/50

CPC classification number: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/085 ,  H01L51/50

Abstract: 根据本发明的一实施例的正型感光性树脂组合物包含a)下述化学式1所表示的共聚物、b‑1)肟系光产酸剂、b‑2)三嗪系光产酸剂、c)有机碱、及d)溶剂。下述化学式1中，下述R1为缩醛和缩酮中的任一种，下述x+y+z＝1。

公开(公告)号：CN104793464A

公开(公告)日：2015-07-22

申请号：CN201410795461.2

申请日：2014-12-18

Applicant: 三星显示有限公司 ,  株式会社东进世美肯

Inventor： 李政洙 ,  朴廷敏 ,  朴成均 ,  田俊 ,  曹基铉 ,  金智贤 ,  金东敏 ,  金升起 ,  诸葛银

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  H01L21/336

Abstract: 本发明公开光刻胶组合物、形成图案的方法和制造薄膜晶体管衬底的方法，所述组合物包括溶剂、酚醛清漆树脂、重氮类光敏剂、由以下化学式1表示的丙烯酰基化合物，在化学式1中，R1为氢原子或甲基，R2为芳族基团或烷基，所述烷基具有1-1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状，R3、R4和R5各自独立地为烷氧基，所述烷氧基具有1-1,000个碳原子且具有直链形状或支化形状，并且X、Y和Z各自独立地为1-100的整数。