-
公开(公告)号:CN117199131A
公开(公告)日:2023-12-08
申请号:CN202310529488.6
申请日:2023-05-11
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L29/78 , H01L29/423 , H01L29/06
Abstract: 一种半导体装置包括:底部衬底;设置在底部衬底上的第一层间绝缘层;设置在第一层间绝缘层内的电力轨;有源图案,其在第一水平方向上延伸并且设置在第一层间绝缘层上;栅电极,其在与第一水平方向不同的第二水平方向上延伸,并且设置在有源图案上;栅极切割件,其在第一水平方向上延伸并且设置在电力轨上,其中,栅极切割件分离栅电极;以及电力轨穿通件,其设置在栅极切割件内,其中,电力轨穿通件与电力轨重叠。