半导体装置
    1.
    发明公开
    半导体装置 审中-实审

    公开(公告)号:CN117199131A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202310529488.6

    申请日:2023-05-11

    Abstract: 一种半导体装置包括:底部衬底;设置在底部衬底上的第一层间绝缘层;设置在第一层间绝缘层内的电力轨;有源图案,其在第一水平方向上延伸并且设置在第一层间绝缘层上;栅电极,其在与第一水平方向不同的第二水平方向上延伸,并且设置在有源图案上;栅极切割件,其在第一水平方向上延伸并且设置在电力轨上,其中,栅极切割件分离栅电极;以及电力轨穿通件,其设置在栅极切割件内,其中,电力轨穿通件与电力轨重叠。

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