-
公开(公告)号：CN1239321A
公开(公告)日：1999-12-22
申请号：CN98126555.3
申请日：1998-12-25
Applicant: 三星电子株式会社
CPC classification number: G01R31/307 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供用于半导体器件的接触故障检测系统和方法及制造半导体器件的方法。通过将使用扫描电子显微镜检测的电子信号数字化，可以检测接触，以识别例如未开口接触孔的故障。接触故障检测是通过将从包括至少一个接触孔的单元区域检测的电子信号值与表示对应于正常接触的电子信号的值相比较进行的。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1159074A
公开(公告)日：1997-09-10
申请号：CN96112929.8
申请日：1996-09-16
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J2237/057
Abstract: 一种离子注入机和一种对正离子和负离子均适用的离子注入方法。该离子注入机具有：离子分离器；质量分析器，用于按照预定方向偏转由离子分离器导入的离子，而无论离子的带电状态如何；以及极性转换器，用于按照离子的带电状态来改变质量分析器中磁场的通量方向。因此，不用更换离子注入机，就能在晶片中形成浅杂质层和深杂质层，使得仅用一台离子注入机就能注入BF+和B+或P+，结果，半导体器件的产量可以被提高。
-
公开(公告)号：CN1213469C
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN98126555.3
申请日：1998-12-25
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/66 , G01R31/28 , G01R31/307
CPC classification number: G01R31/307 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供用于半导体器件的接触故障检测系统和方法及制造半导体器件的方法。通过将使用扫描电子显微镜检测的电子信号数字化，可以检测接触，以识别例如未开口接触孔的故障。接触故障检测是通过将从包括至少一个接触孔的单元区域检测的电子信号值与表示对应于正常接触的电子信号的值相比较进行的。
-
公开(公告)号：CN1189921C
公开(公告)日：2005-02-16
申请号：CN96112929.8
申请日：1996-09-16
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: H01L21/265
CPC classification number: H01J37/3171 , H01J2237/057
Abstract: 一种离子注入机和一种对正离子和负离子均适用的离子注入方法。该离子注入机具有：离子分离器；质量分析器，用于按照预定方向偏转由离子分离器导入的离子，而无论离子的带电状态如何；以及极性转换器，用于按照离子的带电状态来改变质量分析器中磁场的通量方向。因此，不用更换离子注入机，就能在晶片中形成浅杂质层和深杂质层，使得仅用一台离子注入机就能注入BF+和B+或P+，结果，半导体器件的产量可以被提高。
-
公开(公告)号：CN1075209C
公开(公告)日：2001-11-21
申请号：CN95102906.1
申请日：1995-01-28
Applicant: 三星电子株式会社
IPC: G03F7/16 , B05C11/10 , H01L21/312
Abstract: 一种用于供给光致抗蚀剂的系统，包括：一个用于保存光致抗蚀剂的存储容器；一个用于从存储容器中接收光致抗蚀剂的层叠过滤器，它具有一个适于从中排放光致抗蚀剂的排放管；和一个回流管，它连接在层叠过滤器的排放管与存储容器之间，用于使从层叠过滤器中排出的光致抗蚀剂回流至存储容器中。
-
-
-
-
-
Search Results
6
records
(took 0.024 seconds)
