包括氮化物基半导体全方向反射器的发光装置

    公开(公告)号:CN103325904A

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN201310080154.1

    申请日:2013-03-13

    CPC classification number: H01L33/60 H01L33/10

    Abstract: 本发明公开了一种包括氮化物基半导体全方向反射器的发光装置。该发光装置包括氮化物基反射器和置于所述氮化物基反射器上的发光单元。所述氮化物基反射器包括交替层叠的未掺杂氮化物半导体层和重度掺杂氮化物半导体层。在所述重度掺杂氮化物半导体层的边缘处对其进行蚀刻,以在相邻的未掺杂氮化物半导体层之间形成空气层。

    包括氮化物基半导体全方向反射器的发光装置

    公开(公告)号:CN103325904B

    公开(公告)日:2017-06-16

    申请号:CN201310080154.1

    申请日:2013-03-13

    CPC classification number: H01L33/60 H01L33/10

    Abstract: 本申请公开了一种包括氮化物基半导体全方向反射器的发光装置。该发光装置包括氮化物基反射器和置于所述氮化物基反射器上的发光单元。所述氮化物基反射器包括交替层叠的未掺杂氮化物半导体层和重度掺杂氮化物半导体层。在所述重度掺杂氮化物半导体层的边缘处对其进行蚀刻,以在相邻的未掺杂氮化物半导体层之间形成空气层。

    Ⅲ族氮化物纳米棒发光装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN102403417B

    公开(公告)日:2015-02-25

    申请号:CN201110281232.5

    申请日:2011-09-14

    CPC classification number: H01L33/32 H01L33/08 H01L33/16 H01L33/24

    Abstract: 本发明公开了一种III族氮化物纳米棒发光装置及其制造方法。所述方法包括:准备基底;在基底上形成包括暴露部分基底的一个或多个开口的绝缘膜;通过向被开口暴露的基底提供III族源气体和氮(N)源气体在被开口暴露的基底上生长第一导电III族氮化物纳米棒晶种层;通过以脉冲模式提供III族源气体和杂质源气体并连续地提供N源气体在第一导电III族氮化物纳米棒晶种层上生长第一导电III族氮化物纳米棒;在每个第一导电III族氮化物纳米棒的表面上形成有源层;以及在有源层上形成第二导电氮化物半导体层。

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