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公开(公告)号：CN107868934B
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN201710863820.7
申请日：2017-09-22
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 本申请提供了一种制造分体式掩模的方法，所述方法包括：在第一方向上拉伸掩模构件的相对端部以将掩模构件固定至固定部分；在所固定的掩模构件上形成具有多个第一开口的第一图案部分，使得第一图案部分朝向第一图案部分的中部在第一方向上具有较长的长度；以及切割掩模构件的相对端部以使掩模构件从固定部分分离。
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公开(公告)号：CN110965019A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910916668.3
申请日：2019-09-26
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/34 , C23C14/06 , C23C14/08 , C23C14/10 , C23C14/12 , H01L51/00 , H01L51/56
摘要： 提供掩模组件和使用掩模组件制造显示装置的装置。所述掩模组件包括：掩模框架；在所述掩模框架上并包括多个开口的掩模片；在所述掩模框架上并遮挡所述掩模片的所述多个开口中的一些开口的至少两个第一遮挡片；以及在所述掩模框架上并遮挡所述掩模片的所述多个开口中的一些开口的至少两个第二遮挡片，所述至少两个第一遮挡片和所述至少两个第二遮挡片通过遮挡所述掩模片的所述多个开口中的一些开口限定包括所述掩模片的所述多个开口中的一些开口的至少一个沉积区域，并且所述至少一个沉积区域中的每个沉积区域被分成第一沉积区域和第二沉积区域。
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公开(公告)号：CN109428012A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201811023809.0
申请日：2018-09-04
申请人： 三星显示有限公司
发明人： 全志姸
IPC分类号： H01L51/56
摘要： 本发明公开了用于制造显示装置的设备。本发明的用于制造显示装置的设备包括腔室、掩模组件、源部、磁体部、激光照射部和激光感测器，其中，掩模组件布置在所述腔室内部，源部布置成与所述掩模组件相对并且向所述掩模组件喷射沉积物质以使沉积物质沉积到显示衬底上，磁体部布置在所述腔室内部并且向所述掩模组件施加电磁力以使所述掩模组件紧贴到所述显示衬底侧，激光照射部布置在所述腔室内部并且向所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部照射激光，激光感测器布置在所述腔室内部并且感测由所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部反射的激光，并且所述磁体部基于由所述激光感测部感测到的结果来调整施加至所述掩模组件的电磁力。
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公开(公告)号：CN107868934A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201710863820.7
申请日：2017-09-22
申请人： 三星显示有限公司
CPC分类号： H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , H01L21/00 , H01L21/67 , H01L51/0002 , H01L51/001 , H01L51/0014 , H01L51/56
摘要： 本申请提供了一种制造分体式掩模的方法，所述方法包括：在第一方向上拉伸掩模构件的相对端部以将掩模构件固定至固定部分；在所固定的掩模构件上形成具有多个第一开口的第一图案部分，使得第一图案部分朝向第一图案部分的中部在第一方向上具有较长的长度；以及切割掩模构件的相对端部以使掩模构件从固定部分分离。
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公开(公告)号：CN118613128A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410213333.6
申请日：2024-02-27
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 提供了掩模、掩模组件和制造显示装置的方法。掩模包括多个沉积图案部和布置在多个沉积图案部之间的肋部。在多个沉积图案部中的每一个中限定有多个开口，掩模具有在第一方向上的宽度和在与第一方向相交的第二方向上的长度，多个开口之中的每一个开口的与第一方向平行的侧面具有第一锥角，并且第一锥角为约54度或更小。
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公开(公告)号：CN109428012B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201811023809.0
申请日：2018-09-04
申请人： 三星显示有限公司
发明人： 全志姸
摘要： 本发明公开了用于制造显示装置的设备。本发明的用于制造显示装置的设备包括腔室、掩模组件、源部、磁体部、激光照射部和激光感测部，其中，掩模组件布置在所述腔室内部，源部布置成与所述掩模组件相对并且向所述掩模组件喷射沉积物质以使沉积物质沉积到显示衬底上，磁体部布置在所述腔室内部并且向所述掩模组件施加电磁力以使所述掩模组件紧贴到所述显示衬底侧，激光照射部布置在所述腔室内部并且向所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部照射激光，激光感测部布置在所述腔室内部并且感测由所述显示衬底、所述掩模组件和所述磁体部反射的激光，并且所述磁体部基于由所述激光感测部感测到的结果来调整施加至所述掩模组件的电磁力。
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公开(公告)号：CN116113289A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211385112.4
申请日：2022-11-07
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 本发明公开一种显示装置的制造装置和显示装置的制造方法。一实施例涉及的显示装置的制造装置包括：掩模，被配置成与基板相向；以及沉积源，被配置成与所述掩模相向，所述掩模包括：框体，包括在第一方向上延伸的多个第一框体以及在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸的多个第二框体；多个开口部，通过所述多个第一框体和所述多个第二框体来划定；以及多个激光标记，位于所述多个第一框体和所述多个第二框体之中的至少一个中，是照射激光而产生的。
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公开(公告)号：CN113937239A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202110788980.6
申请日：2021-07-13
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 本发明提供了一种显示装置。该显示装置包括：基板；绝缘层，位于基板上并且包括第一开口；多个第一电极，位于绝缘层上，不与第一开口重叠并且彼此间隔开；中间层，位于多个第一电极上并且包括位于多个第一电极中的每一个上而不与第一开口重叠的发射层；第二电极，位于中间层上；封装层，位于第二电极上；以及偏振层，位于所述封装层上并且包括与第一开口重叠的第二开口。
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