延长ALD设备中混气盒寿命的装置、方法及系统

    公开(公告)号:CN119020754A

    公开(公告)日:2024-11-26

    申请号:CN202411135242.1

    申请日:2024-08-19

    Abstract: 本发明提供一种延长ALD设备中混气盒寿命的装置、方法及系统。该装置包括:进气管路和分流管路;进气管路包括第一流量计、混气盒和第一阀门;分流管路的第一端与第一流量计的第一端连接,分流管路的第二端与第一阀门的第一端连接;分流管路用于保证第一阀门的第一端的压力大于外界压力;第一流量计的第二端通过混气盒与第一阀门的第一端连接。本发明能够在工艺腔体进行维护前,通过分流管路,将ALD设备管路内残留的气体吹出后,及时关闭第一阀门。这样能够较少混气盒内的气体残留,还能保证第一阀门第一端的压力大于外界压力,防止在进行维护时,由于工艺腔室内与混气盒内的压差,导致工艺腔室压缩空气中的水或者氧气与混气盒内残存的三甲基铝反应。

    图形化掩膜板、掺杂方法及太阳能电池制作方法

    公开(公告)号:CN116454163A

    公开(公告)日:2023-07-18

    申请号:CN202310343522.0

    申请日:2023-04-03

    Abstract: 本发明提供了一种图形化掩膜板、掺杂方法及太阳能电池制作方法,属于太阳能电池技术领域,其中图形化掩膜板包括边框,边框内具有并排设置的非遮挡区和遮挡区,遮挡区内具有多个间隔设置的条形板,条形板的一端与边框连接,条形板的另一端朝向非遮挡区;相邻条形板之间的间隙连接非遮挡区,相邻条形板之间的间隙数量与印刷栅线电极的根数一致。本发明提供的图形化掩膜板,位于非遮挡区范围内的硅片可以实现多接受一次全掺杂,提高全掺杂的覆盖率,进而提高了转化效率;使得磷离子在二次注入到硅片表面的同时硅片表面完成选择性掺杂,最终实现一次性高激活率选择性掺杂过程,进而提升了电池效率。

    太阳能电池片印刷线在线称重方法

    公开(公告)号:CN116295746A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310136859.4

    申请日:2023-02-20

    Abstract: 本发明提供了一种太阳能电池片印刷线在线称重方法,属于太阳能电池片制作技术领域,所述在线称重方法包括如下步骤:在电池片进入第一印刷位前,第一取片装置将电池片放入第一称重装置得到电池片第一次印刷前的干重;电池片经第一印刷位第一次印刷后,第二取片装置将电池片放入电池片传输线上,经电池片传输线输送,第一取片装置将电池片放入第一称重装置得到电池片第一次印刷后的湿重;依次类推,电池片在一个印刷位前后均采用同一个称重装置获得干重和湿重,测量后分别放回原取片位置;当其中一个称重装置发生异常时,通过传输线采用相邻称重装置进行测试;称重装置独立于取片装置和传输线外,避免因为较差造成测量误差。

    一种减少硅胶残胶的操作方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN116273733A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310309214.6

    申请日:2023-03-27

    Abstract: 本发明提供了一种减少硅胶残胶的操作方法,属于光伏组件技术领域,包括在料筒底部安装随形挤压结构,并将盛放膜袋放置于料筒内,且支撑于随形挤压结构上;将填料活塞涂胶泵安装于料筒内,且压盘作用于硅胶上,并将硅胶从盛放膜袋中泵出;当压盘向下移动至料筒的底部而无法继续下移时,随形挤压结构发生变形且产生向上的作用力,随形挤压结构推动盛放膜袋的底部向上顶起,盛放膜袋内的硅胶进入到压盘的凹槽中;填料活塞涂胶泵将压盘凹槽中的硅胶泵出。本发明提供的减少硅胶残胶的操作方法,在随形挤压结构发生形变的作用下将盛放膜袋底部的硅胶进入到压盘凹面内,从而通过填料活塞涂胶泵中的活塞而被顺利地排出,减少了硅胶的浪费。

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