本发明提供一种延长ALD设备中混气盒寿命的装置、方法及系统。该装置包括：进气管路和分流管路；进气管路包括第一流量计、混气盒和第一阀门；分流管路的第一端与第一流量计的第一端连接，分流管路的第二端与第一阀门的第一端连接；分流管路用于保证第一阀门的第一端的压力大于外界压力；第一流量计的第二端通过混气盒与第一阀门的第一端连接。本发明能够在工艺腔体进行维护前，通过分流管路，将ALD设备管路内残留的气体吹出后，及时关闭第一阀门。这样能够较少混气盒内的气体残留，还能保证第一阀门第一端的压力大于外界压力，防止在进行维护时，由于工艺腔室内与混气盒内的压差，导致工艺腔室压缩空气中的水或者氧气与混气盒内残存的三甲基铝反应。