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公开(公告)号：CN106715750B
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201580051441.7
申请日：2015-04-10
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: C23C14/34 , H01L21/363 , H05H1/46
Abstract: 本发明涉及一种成膜方法及溅镀装置，不设置靶材的移动机构，而抑制在成膜的开始时及结束时形成不均质的膜。此溅镀装置是向设置于导入气体(10)的真空容器(2)内的天线(20)供给高频电力(PR)来产生感应耦合型的等离子体(22)，利用所述等离子体(22)与靶材偏置电压(VT)，对靶材(30)进行溅镀而在基板(12)上进行成膜。在成膜的开始时，向天线(20)供给高频电力(PR)来产生等离子体(22)后，对靶材(30)施加靶材偏置电压(VT)而开始溅镀，在成膜的结束时，停止施加至靶材(30)的靶材偏置电压(VT)而停止溅镀后，停止供给至天线(20)的高频电力(PR)而使等离子体(22)消失。
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公开(公告)号：CN107533878A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680021478.X
申请日：2016-04-07
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H01B3/20 , C10M101/02 , C10M105/06 , C10M105/34 , H01B3/22 , C10N30/00 , C10N40/16
Abstract: 一种用于充油电气设备的电绝缘油基础油，其含有下述通式(I)所示的脂肪酸酯(A)：R1‑COO‑R2…(I)式(I)中，R1是碳原子数5～17的直链状或碳原子数5～17的支链状烃基，R2是碳原子数6～10的芳烷基。上述式(I)中，优选R1是碳原子数5～17的支链状烃基。
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公开(公告)号：CN107251657A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201680009474.X
申请日：2016-02-01
Applicant: 日新电机株式会社
Inventor： 高桥英治
IPC: H05H1/46 , C23C16/509 , H01L21/205 , H01L21/3065 , H01L21/31
Abstract: 本发明提供一种即便在延长高频天线的情况下也能够效率优良地产生感应耦合型等离子体的等离子体处理装置。所述等离子体处理装置包括高频天线(18)，所述高频天线(18)配置于被真空排气且导入了气体(8)的真空容器(2)内。所述等离子体处理装置进而包括：副天线(20)，在真空容器(2)内沿着高频天线(18)配置且其两端部附近隔着绝缘物(22)由真空容器(2)支持，且以电性浮动状态放置；以及绝缘罩体(24)，将位于真空容器(2)内的部分的两天线(18)、天线(20)统一覆盖。
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公开(公告)号：CN104425114B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201410314479.6
申请日：2014-07-03
Applicant: 日新电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种附带切断装置的气体绝缘仪表用变压器，能够谋求兼顾切断装置的操作轴的动作的协调性、与充分地支撑轴本身及设置在轴前端部的部件。本发明为如下构造：将切断装置(13)的进行连接、切断动作的操作轴(41)插通于固定在容器(11)的支撑管(42)而得以支撑，利用操作轴(41)与支撑管(42)将动作与支撑的功能分离。
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公开(公告)号：CN104054203B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201280067242.1
申请日：2012-05-01
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H01M8/18
CPC classification number: H01M8/20 , H01M4/604 , H01M8/188 , Y02E60/528
Abstract: 氧化还原液流型电池(1)主要具备充放电单元(2)、正极电解液储槽(3)及负极电解液储槽隔成正极侧单元(2a)与负极侧单元(2b)。在正极侧单元(2a)中收容着集电板(12)及正极(13)。自正极电解液储槽(3)经过供给管(3a)对正极(13)供给含有锰-聚乙烯亚胺络合物的水溶液。由此可以提供一种具备充分的耐久性而得以广泛地普遍实用的蓄电池。(4)。充放电单元(2)是通过隔膜(11)而将内部分
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公开(公告)号：CN105009343A
公开(公告)日：2015-10-28
申请号：CN201380073931.8
申请日：2013-03-21
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H01M8/18
CPC classification number: H01M8/188 , H01M8/20 , H01M2300/0025 , Y02E60/528
Abstract: 蓄电池具备负极电解液32，其含有锌的氧化还原系物质与下述通式(1)所表示的胺。通式(1)中n为0～4的任一整数，R1、R2、R3及R4独立地为氢原子、甲基或乙基。
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公开(公告)号：CN104914358A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510111603.3
申请日：2015-03-13
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: G01R31/12
Abstract: 本发明提供一种局部放电监视装置及系统，其可将从电容器供给到产生局部放电的电气机器的充电电流的频率选定得较高而提高局部放电的监视精度，并且能够应用到既有的受电配电设备中且量产性也高。所述局部放电监视装置(20)中，将内置着电容器(24)的绝缘子(22)收容于收容着作为监视对象的电气机器(10)的金属制容器(6)内，将电容器连接于电压母线(12)与接地母线(14)，所述电容器对产生了局部放电的电气机器供给伴随所述局部放电的充电电流(i0)。在电容器的接地线(26)上设置着对流经所述接地线的充电电流进行检测的电流检测器(28)。还包括对由电流检测器检测到的充电电流的值进行检测的信号处理装置(30)。
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公开(公告)号：CN103098187B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201080069030.8
申请日：2010-12-08
Applicant: 日新电机株式会社
IPC: H01L21/318 , H01L21/336 , H01L29/786
CPC classification number: H01L21/0214 , C23C16/30 , C23C16/308 , H01L21/02274 , H01L29/4908 , H01L29/786 , H01L29/78606 , H01L29/7869
Abstract: 本发明提供一种氮氧化硅膜及其形成方法、半导体器件以及薄膜晶体管，即提供不含氢及游离氟，从而膜特性良好的绝缘性膜。本发明的氮氧化硅膜包含硅、氮、氧及氟而成，氮N、氧O及氟F的合计(N+O+F)相对于硅Si的元素比率(N+O+F)/Si处于1.93～1.48的范围内，且该膜中的硅的元素比率处于0.34～0.41、氮的元素比率处于0.10～0.22、氧的元素比率处于0.14～0.38及氟的元素比率处于0.17～0.24的范围内。该膜可使用例如四氟化硅气体、氮气及氧气来作为原料气体28，利用通过感应耦合而生成等离子40的感应耦合型等离子化学气相沉积法，而形成在基板20上。
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公开(公告)号：CN104425114A
公开(公告)日：2015-03-18
申请号：CN201410314479.6
申请日：2014-07-03
Applicant: 日新电机株式会社
Abstract: 本发明提供一种附带切断装置的气体绝缘仪表用变压器，能够谋求兼顾切断装置的操作轴的动作的协调性、与充分地支撑轴本身及设置在轴前端部的部件。本发明为如下构造：将切断装置(13)的进行连接、切断动作的操作轴(41)插通于固定在容器(11)的支撑管(42)而得以支撑，利用操作轴(41)与支撑管(42)将动作与支撑的功能分离。
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公开(公告)号：CN101417331B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN200810173003.X
申请日：2008-10-23
Abstract: 本发明涉及一种压铸模具1a及其制造方法。所述压铸模具1a包括：模具基材2a；在模具基材2a的表面的至少一部分上形成的第1层3a，其由单层或多层的含有选自IVa族元素、Va族元素及VIa族元素中的任意一种以上元素的金属或者合金构成，并且其显微维氏硬度为1000Hv以下、厚度为1～30μm；在第1层3a上形成的第2层4a，其由单层或多层的含有选自IVa族元素、Va族元素及VIa族元素中的任意一种以上元素的碳化物、氮化物或者碳氮化物构成；以及，在第2层4a上形成的第3层5a，其由单层或多层的含有选自IVa族元素、Va族元素及VIa族元素中的任意一种以上元素的氧化物构成。本发明的压铸模具兼具耐熔损性、耐烧结性以及耐热裂性。
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