公开(公告)号：CN104914358B

公开(公告)日：2019-05-28

申请号：CN201510111603.3

申请日：2015-03-13

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 角田孝典 ,  吉村隆志 ,  大木秀人

IPC: G01R31/12

Abstract: 本发明提供一种局部放电监视装置及系统，其可将从电容器供给到产生局部放电的电气机器的充电电流的频率选定得较高而提高局部放电的监视精度，并且能够应用到既有的受电配电设备中且量产性也高。所述局部放电监视装置(20)中，将内置着电容器(24)的绝缘子(22)收容于收容着作为监视对象的电气机器(10)的金属制容器(6)内，将电容器连接于电压母线(12)与接地母线(14)，所述电容器对产生了局部放电的电气机器供给伴随所述局部放电的充电电流(i0)。在电容器的接地线(26)上设置着对流经所述接地线的充电电流进行检测的电流检测器(28)。还包括对由电流检测器检测到的充电电流的值进行检测的信号处理装置(30)。

公开(公告)号：CN102647847A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201210127627.4

申请日：2012-04-26

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 角田孝典 ,  松原克夫 ,  安东靖典 ,  辻藏行

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/505 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/321 ,  H01J37/3211

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，其是电感耦合型装置，可减小天线的有效电感系数，将等离子体电位抑制得较低，并且，可通过该天线来控制其长度方向上的等离子体密度分布。该等离子体处理装置中，由相互接近而配置在沿着竖立在基板(2)表面的垂线(3)的方向即上下方向(Z)上且使高频电流(IR)相互逆向地流动的返回导体(31、32)，构成平面形状平直的天线(30)。且，使返回导体(31、32)间的上下方向(Z)的间隔(D)在天线(30)的长度方向(X)上进行变化。

公开(公告)号：CN104914358A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510111603.3

申请日：2015-03-13

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 角田孝典 ,  吉村隆志 ,  大木秀人

IPC: G01R31/12

Abstract: 本发明提供一种局部放电监视装置及系统，其可将从电容器供给到产生局部放电的电气机器的充电电流的频率选定得较高而提高局部放电的监视精度，并且能够应用到既有的受电配电设备中且量产性也高。所述局部放电监视装置(20)中，将内置着电容器(24)的绝缘子(22)收容于收容着作为监视对象的电气机器(10)的金属制容器(6)内，将电容器连接于电压母线(12)与接地母线(14)，所述电容器对产生了局部放电的电气机器供给伴随所述局部放电的充电电流(i0)。在电容器的接地线(26)上设置着对流经所述接地线的充电电流进行检测的电流检测器(28)。还包括对由电流检测器检测到的充电电流的值进行检测的信号处理装置(30)。

公开(公告)号：CN102647847B

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201210127627.4

申请日：2012-04-26

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 角田孝典 ,  松原克夫 ,  安东靖典 ,  辻藏行

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/505 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/321 ,  H01J37/3211

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，其是电感耦合型装置，可减小天线的有效电感系数，将等离子体电位抑制得较低，并且，可通过该天线来控制其长度方向上的等离子体密度分布。该等离子体处理装置中，由相互接近而配置在沿着竖立在基板(2)表面的垂线(3)的方向即上下方向(Z)上且使高频电流(IR)相互逆向地流动的返回导体(31、32)，构成平面形状平直的天线(30)。且，使返回导体(31、32)间的上下方向(Z)的间隔(D)在天线(30)的长度方向(X)上进行变化。

公开(公告)号：CN113474859B

公开(公告)日：2024-08-02

申请号：CN201980092886.8

申请日：2019-02-25

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 角田孝典 ,  澁谷大辅 ,  大木秀人

IPC: H01F38/24

Abstract: 电压变换器包括：接地线，其一端接地；电容器，形成于接地线的另一端与输电线之间；检测部，在通过输电线供给交流电力时，使用线圈绝缘地检测在接地线流动的电流；以及积分部，对由检测部检测出的信号进行积分，积分部的积分结果用于生成输电线的电压的测定值。由此，可实现高电压侧与测定机器的绝缘，且可改善测定电压的直线性及频率特性。

公开(公告)号：CN113474859A

公开(公告)日：2021-10-01

申请号：CN201980092886.8

申请日：2019-02-25

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 角田孝典 ,  澁谷大辅 ,  大木秀人

IPC: H01F38/24

Abstract: 电压变换器包括：接地线，其一端接地；电容器，形成于接地线的另一端与输电线之间；检测部，在通过输电线供给交流电力时，使用线圈绝缘地检测在接地线流动的电流；以及积分部，对由检测部检测出的信号进行积分，积分部的积分结果用于生成输电线的电压的测定值。由此，可实现高电压侧与测定机器的绝缘，且可改善测定电压的直线性及频率特性。

公开(公告)号：CN102326457B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN200980157431.6

申请日：2009-05-19

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 加藤健治 ,  松原克夫 ,  角田孝典

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/509 ,  C23C16/24 ,  C23C16/28 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种等离子装置。天线(1～4)以其一端贯穿反应容器(10)的盖(12)并与平板构件(31)相连接、另一端贯穿反应容器(10)的盖(12)并与平板构件(32)相连接的方式配置在反应容器(10)的内部。平板构件(31、32)以相互大致平行的方式配置在反应容器(10)的外部。匹配器(60)与平板构件(31)相连接，高频电源(70)与匹配器(60)相连接。平板构件(32)的与连接有匹配器(60)的平板构件(31)的一端位于相同侧的一端与接地电位(GND)相连接。

公开(公告)号：CN102326457A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200980157431.6

申请日：2009-05-19

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 加藤健治 ,  松原克夫 ,  角田孝典

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/509 ,  C23C16/24 ,  C23C16/28 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种等离子装置。天线(1～4)以其一端贯穿反应容器(10)的盖(12)并与平板构件(31)相连接、另一端贯穿反应容器(10)的盖(12)并与平板构件(32)相连接的方式配置在反应容器(10)的内部。平板构件(31、32)以相互大致平行的方式配置在反应容器(10)的外部。匹配器(60)与平板构件(31)相连接，高频电源(70)与匹配器(60)相连接。平板构件(32)的与连接有匹配器(60)的平板构件(31)的一端位于相同侧的一端与接地电位(GND)相连接。