公开(公告)号：CN102647847B

公开(公告)日：2013-07-10

申请号：CN201210127627.4

申请日：2012-04-26

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 角田孝典 ,  松原克夫 ,  安东靖典 ,  辻藏行

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/505 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/321 ,  H01J37/3211

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，其是电感耦合型装置，可减小天线的有效电感系数，将等离子体电位抑制得较低，并且，可通过该天线来控制其长度方向上的等离子体密度分布。该等离子体处理装置中，由相互接近而配置在沿着竖立在基板(2)表面的垂线(3)的方向即上下方向(Z)上且使高频电流(IR)相互逆向地流动的返回导体(31、32)，构成平面形状平直的天线(30)。且，使返回导体(31、32)间的上下方向(Z)的间隔(D)在天线(30)的长度方向(X)上进行变化。

公开(公告)号：CN102647847A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN201210127627.4

申请日：2012-04-26

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 角田孝典 ,  松原克夫 ,  安东靖典 ,  辻藏行

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/505 ,  H01J37/32

CPC classification number: H01J37/321 ,  H01J37/3211

Abstract: 本发明提供一种等离子体处理装置，其是电感耦合型装置，可减小天线的有效电感系数，将等离子体电位抑制得较低，并且，可通过该天线来控制其长度方向上的等离子体密度分布。该等离子体处理装置中，由相互接近而配置在沿着竖立在基板(2)表面的垂线(3)的方向即上下方向(Z)上且使高频电流(IR)相互逆向地流动的返回导体(31、32)，构成平面形状平直的天线(30)。且，使返回导体(31、32)间的上下方向(Z)的间隔(D)在天线(30)的长度方向(X)上进行变化。

公开(公告)号：CN102326457B

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：CN200980157431.6

申请日：2009-05-19

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 加藤健治 ,  松原克夫 ,  角田孝典

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/509 ,  C23C16/24 ,  C23C16/28 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种等离子装置。天线(1～4)以其一端贯穿反应容器(10)的盖(12)并与平板构件(31)相连接、另一端贯穿反应容器(10)的盖(12)并与平板构件(32)相连接的方式配置在反应容器(10)的内部。平板构件(31、32)以相互大致平行的方式配置在反应容器(10)的外部。匹配器(60)与平板构件(31)相连接，高频电源(70)与匹配器(60)相连接。平板构件(32)的与连接有匹配器(60)的平板构件(31)的一端位于相同侧的一端与接地电位(GND)相连接。

公开(公告)号：CN102326457A

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200980157431.6

申请日：2009-05-19

Applicant: 日新电机株式会社

Inventor： 加藤健治 ,  松原克夫 ,  角田孝典

IPC: H05H1/46 ,  C23C16/509 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C23C16/509 ,  C23C16/24 ,  C23C16/28 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3211 ,  H05H1/46

Abstract: 本发明提供一种等离子装置。天线(1～4)以其一端贯穿反应容器(10)的盖(12)并与平板构件(31)相连接、另一端贯穿反应容器(10)的盖(12)并与平板构件(32)相连接的方式配置在反应容器(10)的内部。平板构件(31、32)以相互大致平行的方式配置在反应容器(10)的外部。匹配器(60)与平板构件(31)相连接，高频电源(70)与匹配器(60)相连接。平板构件(32)的与连接有匹配器(60)的平板构件(31)的一端位于相同侧的一端与接地电位(GND)相连接。