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公开(公告)号:CN102954792A
公开(公告)日:2013-03-06
申请号:CN201210279602.6
申请日:2012-08-07
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G01C19/5642
CPC classification number: G01C19/5607
Abstract: 本发明提供一种物理量检测元件、物理量检测装置以及电子设备,其能检测绕X轴、Y轴以及Z轴各个轴的旋转,从而能够用一个振荡电路激励振动。物理量检测元件(1)的特征在于,具备:基部(2);从基部(2)沿X轴相互向相反方向分别延伸的第一连结部(3a)及第二连结部(3b);从第一连结部(3a)或第二连结部(3b)沿Y轴相互向相反方向分别延伸的一对第一驱动振动臂(4a)及第二驱动振动臂(4b)、一对第三驱动振动臂(4c)及第四驱动振动臂(4d);从第一连结部(3a)倾斜延伸的第一驱动检测振动臂(5a)及第二驱动检测振动臂(5b);从第二连结部(3b)倾斜延伸的第三驱动检测振动臂(5c)及第四驱动检测振动臂(5d);从基部(2)沿Y轴相互向相反方向分别延伸的第一检测振动臂(6a)及第二检测振动臂(6b)。
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公开(公告)号:CN102650521A
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN201210043924.0
申请日:2012-02-24
IPC: G01C19/5776
CPC classification number: G01C19/56 , G01C19/5776 , H03H9/2468
Abstract: 本发明提供一种检测电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,能够实现比以往低的噪声。同步检波电路(326)(同步检波部)对包含振子(100)的检测信号(32、34)的信号(放大器324的输出信号)进行同步检波。开关电容滤波器(SCF)电路(330)对由同步检波电路(326)进行同步检波后的信号(可变增益放大器328的输出信号)进行滤波处理。输出缓冲器(332)对由SCF电路(330)进行滤波处理后的信号进行缓冲并输出到外部。SCF电路(330)的增益大于1。
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公开(公告)号:CN102650520A
公开(公告)日:2012-08-29
申请号:CN201210042908.X
申请日:2012-02-23
IPC: G01C19/567
CPC classification number: G01C19/574 , G01C19/5726
Abstract: 本发明提供驱动电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,既能缩短振子进行稳定振荡所需的时间,又能维持稳定振荡。比较器(驱动信号生成部)根据由I/V转换电路(电流电压转换部)将经由第1信号线输入的振子的振荡电流转换为电压的信号生成驱动信号,经由第2信号线提供给振子。振荡检测电路(振荡检测部)检测振子开始振荡后振荡电流是否达到了预定值。启动振荡电路(启动振荡部)辅助振子的振荡动作,直到振荡电流达到预定值为止。开关在振荡电流达到预定值之前将电容器从第2信号线断开,当振荡电流达到预定值之后将电容器连接到第2信号线。
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公开(公告)号:CN102130661A
公开(公告)日:2011-07-20
申请号:CN201110006591.X
申请日:2011-01-13
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H03H3/02
CPC classification number: H03H9/1014 , H03H3/02 , Y10T29/42
Abstract: 本发明提供压电器件的制造方法,在通过对金属片照射激光而堵塞形成于封装体的盖的贯通孔时,能防止激光进入腔室。本发明所涉及的压电器件(100)的制造方法包括:在金属板(10)形成凹陷部(22)并在凹陷部的内表面形成贯通孔(24),从而形成盖(20)的工序;以使凹陷部朝封装基座(30)侧突出的方式将盖(20)固定于收纳压电振动片(60)的封装基座的工序;将金属片(90)配置于凹陷部的工序;经由贯通孔(24)对腔室(32)进行减压的工序;以及对金属片(90)照射激光(L1)使金属片熔融,来堵塞贯通孔(24)的工序,在形成盖(20)的工序中,朝向与金属板(10)的厚度方向正交的方向形成贯通孔(24)。
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公开(公告)号:CN1746623A
公开(公告)日:2006-03-15
申请号:CN200510104015.3
申请日:2005-09-09
CPC classification number: G01C19/5628 , G01C19/5621
Abstract: 提供了一种用于支撑振动器1的结构。该结构包括基板12以及固定在基板12并与振动器1相连的连接线14A、14B。振动器1用连接线支撑,使得振动器1不直接接触基板12。“fd”和“fw”满足以下公式(1)。“fd”表示振动器的驱动振动模式的谐振频率,而“fw”表示在室温下连接线的振动模式的特征频率。(fd/2)×1.05≤fw,或者,(fd/2)×0.95 ……(1)
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