物理量检测元件、物理量检测装置以及电子设备

    公开(公告)号:CN102954792A

    公开(公告)日:2013-03-06

    申请号:CN201210279602.6

    申请日:2012-08-07

    CPC classification number: G01C19/5607

    Abstract: 本发明提供一种物理量检测元件、物理量检测装置以及电子设备,其能检测绕X轴、Y轴以及Z轴各个轴的旋转,从而能够用一个振荡电路激励振动。物理量检测元件(1)的特征在于,具备:基部(2);从基部(2)沿X轴相互向相反方向分别延伸的第一连结部(3a)及第二连结部(3b);从第一连结部(3a)或第二连结部(3b)沿Y轴相互向相反方向分别延伸的一对第一驱动振动臂(4a)及第二驱动振动臂(4b)、一对第三驱动振动臂(4c)及第四驱动振动臂(4d);从第一连结部(3a)倾斜延伸的第一驱动检测振动臂(5a)及第二驱动检测振动臂(5b);从第二连结部(3b)倾斜延伸的第三驱动检测振动臂(5c)及第四驱动检测振动臂(5d);从基部(2)沿Y轴相互向相反方向分别延伸的第一检测振动臂(6a)及第二检测振动臂(6b)。

    驱动电路、物理量检测装置、角速度检测装置

    公开(公告)号:CN102650520A

    公开(公告)日:2012-08-29

    申请号:CN201210042908.X

    申请日:2012-02-23

    CPC classification number: G01C19/574 G01C19/5726

    Abstract: 本发明提供驱动电路、物理量检测装置、角速度检测装置、集成电路装置以及电子设备,既能缩短振子进行稳定振荡所需的时间,又能维持稳定振荡。比较器(驱动信号生成部)根据由I/V转换电路(电流电压转换部)将经由第1信号线输入的振子的振荡电流转换为电压的信号生成驱动信号,经由第2信号线提供给振子。振荡检测电路(振荡检测部)检测振子开始振荡后振荡电流是否达到了预定值。启动振荡电路(启动振荡部)辅助振子的振荡动作,直到振荡电流达到预定值为止。开关在振荡电流达到预定值之前将电容器从第2信号线断开,当振荡电流达到预定值之后将电容器连接到第2信号线。

    压电器件的制造方法
    74.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102130661A

    公开(公告)日:2011-07-20

    申请号:CN201110006591.X

    申请日:2011-01-13

    CPC classification number: H03H9/1014 H03H3/02 Y10T29/42

    Abstract: 本发明提供压电器件的制造方法,在通过对金属片照射激光而堵塞形成于封装体的盖的贯通孔时,能防止激光进入腔室。本发明所涉及的压电器件(100)的制造方法包括:在金属板(10)形成凹陷部(22)并在凹陷部的内表面形成贯通孔(24),从而形成盖(20)的工序;以使凹陷部朝封装基座(30)侧突出的方式将盖(20)固定于收纳压电振动片(60)的封装基座的工序;将金属片(90)配置于凹陷部的工序;经由贯通孔(24)对腔室(32)进行减压的工序;以及对金属片(90)照射激光(L1)使金属片熔融,来堵塞贯通孔(24)的工序,在形成盖(20)的工序中,朝向与金属板(10)的厚度方向正交的方向形成贯通孔(24)。

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