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发明公开
物理量检测元件、物理量检测装置以及电子设备无效

公开(公告)号：CN102954792A

公开(公告)日：2013-03-06

申请号：CN201210279602.6

申请日：2012-08-07

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 市川史生 , 奥村洋一 , 菊池尊行

IPC: G01C19/5642

CPC classification number: G01C19/5607

Abstract: 本发明提供一种物理量检测元件、物理量检测装置以及电子设备，其能检测绕X轴、Y轴以及Z轴各个轴的旋转，从而能够用一个振荡电路激励振动。物理量检测元件（1）的特征在于，具备：基部(2)；从基部(2)沿X轴相互向相反方向分别延伸的第一连结部(3a)及第二连结部(3b)；从第一连结部(3a)或第二连结部(3b)沿Y轴相互向相反方向分别延伸的一对第一驱动振动臂(4a)及第二驱动振动臂(4b)、一对第三驱动振动臂(4c)及第四驱动振动臂(4d)；从第一连结部(3a)倾斜延伸的第一驱动检测振动臂(5a)及第二驱动检测振动臂(5b)；从第二连结部(3b)倾斜延伸的第三驱动检测振动臂(5c)及第四驱动检测振动臂(5d)；从基部(2)沿Y轴相互向相反方向分别延伸的第一检测振动臂(6a)及第二检测振动臂(6b)。

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