一种用于微机电器件的非线性弹性约束结构及约束方法

    公开(公告)号:CN112287488B

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202011228319.1

    申请日:2020-11-06

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件的非线性弹性约束结构及约束方法,包括如下部件:若干固定体和一梁长约束体;若干直梁,若干所述直梁的第一端分别与若干所述固定体一一对应连接,若干所述直梁的第二端分别与所述梁长约束体连接;当所述直梁与所述梁长约束体连接的端点发生位移时,所述梁长约束体和所述固定体约束所述直梁在长度方向发生变形。本发明的非线性弹性约束结构与线性弹性约束结构相比,在相同的外力冲击下,可以减小可动部分的位移,避免可动部分与保护挡块碰撞,或减小碰撞时的撞击力,更好地保护器件微结构。

    惯性导航数据的重构方法、装置、计算机设备和存储介质

    公开(公告)号:CN110986932B

    公开(公告)日:2022-01-14

    申请号:CN201911256667.7

    申请日:2019-12-10

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本申请涉及一种惯性导航数据的重构方法、装置、计算机设备和存储介质。该方法包括:将运载体在传统地理坐标系中第一纬度下的位置、速度和姿态信息,转换为运载体在横向地理坐标系中第一纬度下的位置、速度和姿态信息;根据运载体在横向地理坐标系中第一纬度下的位置、速度和姿态信息,确定运载体在横向地理坐标系中第二纬度下的位置、速度和姿态信息;第二纬度的纬度范围下限大于第一纬度的纬度范围上限;根据运载体在横向地理坐标系中第二纬度下的位置、速度和姿态信息、运载体坐标系到测量坐标系的方向余弦阵、以及地球坐标系相对于惯性坐标系的旋转角速度,确定运载体的惯性导航重构数据。该方法大大提高了输出的惯性导航重构数据的准确度。

    全球混合导航方法、装置、计算机设备和可读存储介质

    公开(公告)号:CN110986931B

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN201911255476.9

    申请日:2019-12-10

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本申请涉及一种全球混合导航方法、装置、计算机设备和可读存储介质。该方法包括:获取模式标志、运载体在地球坐标系中的位置、速度和姿态信息,以及运载体坐标系到测量坐标系的方向余弦阵;根据模式标志、运载体在地球坐标系中的位置、速度和姿态信息、以及运载体坐标系到测量坐标系的方向余弦阵,确定运载体在运行时的导航信息。该方法中运载体在地球坐标系中位姿、速度和姿态信息的积分过程在地球坐标系中进行,可持续稳定地提供精度一致的积分结果,提高得到的导航信息的准确率;且可以仅根据模式标志的不同选择输出导航信息所采用的的参考坐标系,避免了复杂的算法切换和参数传递,提高了导航过程的导航效率。

    用于转子悬浮控制系统中程序在线升级的方法和装置

    公开(公告)号:CN112988209A

    公开(公告)日:2021-06-18

    申请号:CN202110350946.0

    申请日:2021-03-31

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明提出一种用于转子悬浮控制系统中程序在线升级的方法和装置,其中,方法包括:将底层程序存储在FlashA存储空间;基于预先建立的程序环境调用Main函数,将DAC输出清零;在清零后,判断是否接收到上位机的升级指令;若接收到升级指令,则根据上位机发送的升级数据文件烧写至FlashE。由此,开发基于串口通信的在线升级技术,在无需硬件设置或设备拆解的情况下,通过底层程序烧写应用程序达到升级的目的,其中底层程序是指已经固化在DSP指定Flash空间中的程序,主要完成应用程序数据文件接收及烧写。

    高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置

    公开(公告)号:CN108844531B

    公开(公告)日:2021-02-26

    申请号:CN201810303836.7

    申请日:2018-04-03

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明公开了一种高Q值微机电陀螺的快速起振控制方法及装置,其中,方法包括以下步骤:通过自激振荡方式用预设幅值的驱动信号驱动高Q值微机电陀螺,使微机电陀螺的振动频率趋近于自然频率和微机电陀螺的幅值趋近于设定值,并获取自然频率估计值;当陀螺的振动状态达到预设条件时,将自然频率估计值作为初始频率,并通过锁相环方式驱动微机电陀螺,以使得微机电陀螺的振动频率锁定至自然频率和微机电陀螺的幅值稳定于设定值。该方法可以在仅了解高Q值微机电陀螺自然频率大致散布范围的情况下,使其快速起振并精确地锁定至自然频率稳幅工作,并且有效提高高Q值微机电陀螺驱动控制鲁棒性。

    一种新型跨导运算放大器电路

    公开(公告)号:CN107579713B

    公开(公告)日:2020-12-04

    申请号:CN201710908802.6

    申请日:2017-09-29

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明实施例公开了一种新型跨导运算放大器电路,该运算放大器包括相互连接的N型和P型互补输入的循环折叠跨导运算放大器电路以及数据驱动辅助充电支路单元;数据驱动辅助充电支路单元包括电流镜单元和比较控制单元;电流镜单元包括:电流源单元和开关单元;比较控制单元,用于检测N型和P型互补输入的循环折叠跨导运算放大器电路的正负输入端的输入差分信号,并当输入差分信号大于或等于比较控制单元的打开阈值时控制开关单元中相应的开关打开,以使电流源单元经过比较控制单元的输出端为负载充电。通过本发明实施例方案,提高了放大器对负载的响应速度并降低了功耗。

    一种低温度系数的单端口RC振荡器电路

    公开(公告)号:CN110266271B

    公开(公告)日:2020-12-01

    申请号:CN201910619459.2

    申请日:2019-07-10

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种低温度系数的单端口RC振荡器电路,其包括充放电回路、比较器、负电阻和反相器。本发明结合了由MOS管构成的比较器和负电阻,抵消了跨导受温度的影响;进一步采用由正、负温度系数电阻组成的复合电阻,计算最优电阻温度系数,降低电阻、阈值电压等因素受温度影响带来的频率变化。该振荡器电路并未采用额外结构做温度补偿,具有结构简单、芯片面积非常小、温度稳定性较好等优点,可广泛应用于集成电路中。

    一种类旋转变压器的倾角传感器

    公开(公告)号:CN109596099B

    公开(公告)日:2020-04-07

    申请号:CN201910025797.3

    申请日:2019-01-11

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种类旋转变压器的倾角传感器,包括敏感结构和壳体;所述敏感结构包括第一接受极板、发射极板和第二接受极板,所述第一接受极板、发射极板和第二接受极板顺序依次间隔堆叠形成类似三明治结构并放置于所述壳体内,所述第一接受极板、发射极板和第二接受极板大小相同且相邻两所述极板之间间距相同,所述第一接受极板、第二接受极板和壳体构成封闭圆柱空间;所述封闭圆柱空间内密封设置有电介质液体,在任意角度下,所述电介质液体液面与三块所述极板的中心重合。本发明提出变电极面积差动电容式倾角敏感器件结构,灵敏度高,动态范围宽,频率响应特性好,成本低廉,可以在测试领域中的倾角传感和测试仪器测量中广泛应用。

    一种基于参量激励的数字式速率积分陀螺控制方法和平台

    公开(公告)号:CN106767747B

    公开(公告)日:2019-09-27

    申请号:CN201611232804.X

    申请日:2016-12-28

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于参量激励的数字式速率积分陀螺控制方法和平台,其中,方法包括步骤:1)设置速率积分陀螺同向参考量和正交参考量的初始值,以及速率积分陀螺振动能量的预设值;2)采集速率积分陀螺X、Y轴运动输出电压数字量并进行检测部件误差校正;3)将校正后的X、Y轴运动输出电压数字量进行0°和90°相敏解调;4)计算各中间变量;5)计算相敏解调参考信号、参量激励驱动电压相位参考信号和驱动电压相位参考信号;6)计算X、Y轴参量激励驱动电压数字量;7)计算陀螺振动角度的正弦值和余弦值;8)计算X、Y轴驱动电压数字量;9)将相敏解调参考信号进行0°和90°相位变换后作为下一采样时刻的同向参考量和正交参考量,返回步骤2)。

    用于微机电器件应力检测的片上谐振梁结构及检测方法

    公开(公告)号:CN109738093A

    公开(公告)日:2019-05-10

    申请号:CN201910097689.7

    申请日:2019-01-31

    Applicant: 清华大学

    Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件应力检测的片上谐振梁结构及检测方法,其包括微机电器件和谐振梁;微机电器件包括由上向下依次设置的结构层、锚点层和基片层;谐振梁采用U型结构,其设置在结构层和基片层之间,U型结构的顶部和底部的两端通过3个锚点固定到基片层上;谐振梁的U型结构内部设置有一个检测电极,该检测电极的端部通过锚点与基片层固定连接;谐振梁的U型结构的外部上、下两侧各设置一个外部检测电极,两外部检测电极通过锚点与基片层固定连接;谐振梁与内、外部检测电极之间设置有电容,在谐振梁与检测电极之间施加电压产生静电力驱动谐振梁振动,通过检测电极与谐振梁之间电容量的变化检测谐振梁的振动。本发明可以广泛应用于微机电器件的应力检测领域。

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