涂布装置及涂布方法
    61.
    发明授权

    公开(公告)号:CN114260140B

    公开(公告)日:2024-06-28

    申请号:CN202111150275.X

    申请日:2021-09-29

    Inventor: 西尾勤

    Abstract: 在使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动且从涂布用喷嘴的前端部处的狭缝状排出口(12)向被涂布体的表面涂布涂布液(P)的涂布装置中,使设置有呈规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)以能在狭缝状排出口的上方旋转的方式设置于对涂布液进行收容的涂布液收容部(11)内,并且,设置沿着狭缝状排出口的长度方向分离成多个排出部(12a)的分隔构件(13),使涂布液供给体(14)旋转,使涂布液经过与涂布液收容凹部对应的位置处的排出部而涂布至被涂布体的表面。

    基板加工设备
    62.
    发明公开
    基板加工设备 审中-公开

    公开(公告)号:CN118237223A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202311773531.X

    申请日:2023-12-21

    Abstract: 本发明涉及一种基板加工设备,该基板加工设备包括基板支承部,该基板支承部支承基板;流体供应部,该流体供应部布置在所述基板支承部的上方并配置为朝向所述基板供应引发剂和单体;以及激光产生部,该激光产生部配置为在与供应所述引发剂和所述单体的方向相交并且与基板的表面平行的方向上照射激光,其中,引发剂和单体通过激光聚合并沉积在基板上。

    一种晶圆抛光用吸附膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN118219171A

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410287367.X

    申请日:2024-03-13

    Abstract: 本发明提供了一种晶圆抛光用吸附膜及其制备方法,所述晶圆抛光用吸附膜包括由下至上依次设置的膜本体、粘结层和聚对二甲苯层。所述制备方法包括:采用化学气相沉积法在预处理后的膜本体上依次沉积粘结层和聚对二甲苯层,得到所述晶圆抛光用吸附膜。通过在膜本体和聚对二甲苯层之间设置粘结层,不仅明显改善了聚对二甲苯层分布均匀性,还使得聚对二甲苯层与膜本体表面的结合力大幅提升,减缓聚对二甲苯层脱落,延长了吸附膜的使用寿命。

    一种彩色亚环境辐射冷却薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN118186339A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410136679.0

    申请日:2024-01-31

    Abstract: 本发明涉及辐射冷却技术领域,公开了一种彩色亚环境辐射冷却薄膜及其制备方法,此辐射冷却薄膜包括,多层膜结构,其包括交替层叠的金属层和非金属层,金属层选自Al、Au、Ag、Ti中的一种;非金属层选自Al2O3、SiO2、ZnS、TiO2、WO3、Si3N4中的一种;聚合物发射器,设置于多层膜结构的表面;本发明中,通过对基于Fabry‑Perot共振的多层膜结构的优化设计,将单峰的减法色系扩大到加法色系,色域面积提高180%;同时以RGB色值和太阳光反射率为目标函数,实现对色彩精确控制;聚合物发射器固化在多层膜结构的表面,提供高红外发射率,同时对共振结构起到封装保护的作用。其表面的柱状光栅结构减小了与空气之间的阻抗失配,进一步提高了红外发射率,弥补了冷却功率损失。

    一种聚酰亚胺薄膜及其制备方法
    66.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118179875A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202211598702.5

    申请日:2022-12-12

    Inventor: 李黎

    Abstract: 本发明提供一种聚酰亚胺薄膜及其制备方法,该聚酰亚胺薄膜的制备方法包括以下步骤:提供一衬底,并将衬底固定于旋涂机器的转动平台上;以第一转速转动衬底并于衬底上表面喷涂粘附剂,在转动第一预设时间后,以第二转速转动第二预设时间,以得到粘附层;以第三转速转动衬底,于转动的粘附层的上表面喷涂聚酰亚胺,并在转动第三预设时间后,以第四转速转动第四预设时间,在转动第四预设时间后,以第五转速转动第五预设时间;在预设温度下,以第一预设温度对衬底进行烘烤;将烘烤后衬底置于炉管中,并以第二预设温度对衬底进行退火,以得到聚酰亚胺薄膜。本发明通过改进形成聚酰亚胺薄膜的工艺,提升了聚酰亚胺薄膜的质量,缩短了制备时间。

    一种钛酸铋钠基铁电薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN118164754A

    公开(公告)日:2024-06-11

    申请号:CN202410296057.4

    申请日:2024-03-14

    Applicant: 湘潭大学

    Abstract: 本发明公开了一种钛酸铋钠‑钛酸锶‑锰酸铋铁电薄膜的制备方法,铁电薄膜的化学组成为(1‑x)Bi0.35Na0.35Sr0.3O3‑xBiMnO3,摩尔分量x=0‑0.10,制备方法为:①将硝酸铋、乙酸钠、乙酸锶和乙酸锰加入去离子水和乙酸溶剂中,在40‑90℃下搅拌5‑40min,得溶液A;②将钛酸四丁酯加入乙酰丙酮和乙二醇甲醚溶剂中,搅拌5‑40min,得溶液B;③将溶液A与溶液B混合搅拌5‑40min后得混合液C;④用旋涂法将混合液C涂覆在Pt/Ti/SiO2/Si基片上,高温处理后得钛酸铋钠基无铅铁电薄膜;该铁电薄膜表面平整光滑,具有典型的钙钛矿结构、很高的极化强度以及优异的压电性能,尤其大幅提高了剩余极化强度Pr。

    生产具有氟化聚合物涂层的物体的方法

    公开(公告)号:CN118106195A

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202311540102.8

    申请日:2023-11-17

    Abstract: 本发明涉及生产具有氟化聚合物涂层的物体的方法。本发明涉及生产具有氟化聚合物涂层的物体的方法,所述氟化聚合物涂层不含全氟化酸和多氟化酸及其盐,其中所述方法包括通过氟化前体单体的等离子体聚合的方式而在所述物体上沉积氟化聚合物涂层的步骤DF和将所述物体暴露于抑制气体的步骤IG,所述抑制气体抑制在沉积的氟化涂层中或沉积的氟化涂层上形成全氟化酸和多氟化酸及其盐。由此,步骤IG在步骤DF之后进行,并且从步骤的DF开始直到步骤IG的结束,所述物体在基本上无氧的气氛中处理。

    一种检测亚硝胺的光电双模态化学传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118090622A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410135292.3

    申请日:2024-01-31

    Applicant: 同济大学

    Inventor: 黄佳 李立 徐洋

    Abstract: 本发明提供了一种检测亚硝胺的光电双模态化学传感器及其制备方法,检测亚硝胺的光电双模态化学传感器包括基底、传感层以及偏振片,制备方法为:将反应性液晶单体、非反应性的液晶分子、离子液体以及光引发剂共混形成均相溶液,对设置有叉指电极的基底表面先后进行氧等离子体处理,然后将均相溶液在处理后的基底上进行旋涂,再用紫外光对旋涂后的均相溶液进行固化,最后在基底上下两侧分别装上偏振片。该化学传感器可以同时输出光学和电学两种信号,通过液晶相态的转变来输出光学信号,通过离子液体电导率的变化来输出电学信号。该化学传感器可用于药物检测,对亚硝胺杂质有出色的传感性能,制备简单、成本低,具有广阔的应用前景。

    一种基材上制作涂覆层的装置及方法

    公开(公告)号:CN110756404B

    公开(公告)日:2024-05-14

    申请号:CN201911083721.2

    申请日:2019-11-07

    Abstract: 本发明公开了一种基材上制作涂覆层的装置及方法,基材上制作涂覆层的装置包括布粉机构、辊压机构和输送辊组,所述布粉机构和辊压机构沿输送辊组的运动方向依次设置在输送辊组上;所述布粉机构包括网框、高频振动驱动件和汇流板,所述高频振动驱动件驱动网框和汇流板高频振动,所述汇流板设置在网框下方,并且将网框漏下的粉料散布在输送辊组输送的基材上;所述辊压机构包括至少两个相对设置的压辊,所述压辊相对设置在输送辊组输送的基材两侧。另外还公开一种利用前述装置的在基材上制作涂覆层的方法。本发明用于在基材上制作涂覆层。

Patent Agency Ranking