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公开(公告)号：CN101285167A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810018369.X
申请日：2008-06-03
Applicant: 西安工业大学
IPC: C23C14/24 , H01L21/3065 , C23F4/00 , H01J37/08
Abstract: 本发明涉及一种能输出单一离子能量的离子束发射源，以克服现有技术存在的引出离子并非具有单一能量，对薄膜质量影响较大，难以实现离子束辅助的重复性的问题。其技术方案是：包括气体放电室、聚焦磁场产生单元、离子能量选择器和扩束磁场产生单元，气体放电室中包括阳极、阴极和引出栅极板；所述离子能量选择器包括相对设置的上磁极板、下磁极板以及相对设置的第一电极板和第二电极板构成的选择筒，上磁极板、第一电极板、下磁极板和第二电极板之间夹设有极板绝缘件，选择筒两端的入口盖板和出口盖板中部均设置有能带限制通孔。现有技术相比，本发明的优点是：1.能够产生、引出单一能量的离子；2.离子能量可调；3.制造工艺简单。
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公开(公告)号：CN119000016A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202411056663.5
申请日：2024-08-02
Applicant: 西安工业大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及激光应用技术领域，具体涉及一种激光损伤阈值测量系统工作光斑调整装置及方法。装置包括激光器光源出射光路上依次设置的能量无极衰减装置、艾里斑装置、共轭测量装置、第二衰减片和第二光束质量分析仪；所述的激光器输出激光脉冲；所述能量无极衰减装置由第一偏振分束立方、二分之一波片以及第二偏振分束立方组成；所述艾里斑装置由可控光阑和平凸聚焦透镜组成，可控光阑与平凸透镜行成夫琅禾费衍射；所述共轭测量装置由平面分光镜、楔形分光镜、光束质量分析仪、能量计以及第一衰减片组成。本发明提供的能量无极衰减装置可实现稳定的连续衰减；艾里斑装置可在焦平面产生艾里斑，其光强分布确定，焦平面光斑直径可控；共轭测量装置，可实现实时监控和测量；本装置及方法可实现激光器能量无极衰减，测量过程自动控制、自动测量、自动判别，效率高。
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公开(公告)号：CN116818285A
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310801959.4
申请日：2023-06-30
Applicant: 西安工业大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明涉及空气等离子体闪光持续时间的确定方法及装置，该方法包括：建立计算激光诱导薄膜表面空气等离子体闪光持续时间tc的模型，通过测量空气等离子体爆轰波在薄膜表面上产生的压强，获得激光诱导薄膜表面空气等离子体闪光持续时间tc；本发明装置包括气压计、刀口式光斑分析仪和操作控制台，以及沿光路依次设置的激光器、衰减器、聚焦系统、分束器和样片台，薄膜固定在样片台上，在薄膜的表面边缘布设压力传感器。本发明方法和装置可以准确地确定空气等离子体闪光持续时间，对激光诱导薄膜击穿过程中的空气等离子体闪光研究，具有重要意义。
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公开(公告)号：CN116481769A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202310441258.4
申请日：2023-04-23
Applicant: 西安工业大学
IPC: G01M11/00
Abstract: 本发明提供了一种球面元件激光损伤阈值测试方法及其装置。解决了对球面元件激光损伤阈值无法测量的技术问题。本发明将球面元件放置在该机构中通过上述的复合运动，首先是元件的平移运动，作用是让球面元件球心和机构的运动轴心重合，再通过俯仰机构和旋转机构进行后续俯仰和旋转运动；使激光能垂直入射到球面元件的表面进行辐照。从而在球面元件表面完成足够数量的损伤点，最终通过计算得到球面元件的激光损伤阈值。本发明装置结构科学合理,结合球面元件面型特点，使激光可垂直入射到球面元件表面，通过俯仰机构和旋转机构控制球面元件完成球面元件激光损伤阈值的测试，为球面元件抗激光损伤能力的提高奠定了技术基础。
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公开(公告)号：CN116419554A
公开(公告)日：2023-07-11
申请号：CN202310321240.0
申请日：2023-03-29
Applicant: 西安工业大学
IPC: H05K9/00
Abstract: 本发明公开了一种石墨烯精准叠加结构及其制备方法和应用，该结构由金属箔网栅层和石墨烯叠加层组成，其具有高透光性和强电磁屏蔽性能，能够多次吸收和反射电磁波，有效地提高传统金属结构的电磁屏蔽性能。该结构的制备方法利用激光束刻蚀工艺，在石墨烯叠加层/金属箔表面精准地形成预设的刻蚀结构，得到与设计相符的石墨烯叠加结构。该方法严格控制每一层石墨烯的叠加工艺，根据表征结果消除缺陷，协同调控刻蚀结构，将金属图形化和石墨烯连续覆盖有机结合，操作简单，可控性强。该结构在高透光性兼备强电磁屏蔽的应用领域有广阔的前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111474182B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN202010338387.7
申请日：2020-04-26
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明涉及一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置，其克服了现有技术中判别薄膜是否发生损伤，常常会造成“误判”现象，适用于激光损伤阈值测量中各类光学元件及镀膜元件表面损伤的在线判别，具有快速、准确的特点。本发明采用的技术方案如下：包括用于安装薄膜测试样品的二维工作台，二维工作台两侧分别设置有入射光路和反射光路，入射光路一侧依次设置有光源、滤光片、平行光管和起偏器，反射光路一侧依次设置有波片、检偏器和光电接收器，高能激光器的激光发射端正对薄膜测试样品表面，在高能激光器的激光脉冲输出方向依次设置有衰减器和会聚透镜，其中二维工作台、波片、检偏器、高能激光器、接收器和衰减器均连接至工业控制计算机。
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公开(公告)号：CN113203705A
公开(公告)日：2021-08-03
申请号：CN202110365971.6
申请日：2021-04-06
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明为一种可实现光路快速调节测试的双折射式纹影系统及方法，其克服了现有技术中存在无法实现纹影装置快速且精确测试的问题，不仅解决了纹影系统的装置调节问题，并且可以直接使用点光源进行纹影实验测试。本发明包括依次设置的十字线光源，“十”字形标定光线与前置可变光阑适配模块，凸透镜一，凹球面镜一，凹球面镜二，凸透镜二，刀口装置和高速摄像相机；凹球面镜一与凹球面镜二之间设置测试对象。“十”字形标定光线与前置可变光阑适配模块包括前置可变光阑，十字线光源发出的“十”字形光线通过前置可变光阑得到“十”字形标定光线；“十”字形标定光线穿过前置可变光阑得到用于纹影实验的点光源。
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公开(公告)号：CN110221368B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910469617.0
申请日：2019-05-31
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明涉及一种单元素多层红外高反膜及其制备方法，该膜结构由基底和石墨靶材镀制的多层DLC膜构成，膜系的基本结构为：S/(HL)xH/A，其中S为Si基底，H为高折射率的DLC膜，L为低折射率的DLC膜，x为H和L重复镀制的周期数，A为空气。本发明单元素多层红外高反膜有效提高了机械性能、化学稳定性能高、适用范围广；同时，本发明的制备方法简单，易实现，满足大规模工业化生产的要求。
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公开(公告)号：CN109440029B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201811517390.4
申请日：2018-12-12
Applicant: 西安工业大学
Abstract: 本发明涉及一种极薄铜网的制备方法，该方法的主要思路是利用金属铜箔上表面旋涂PMMA保护，下表面旋涂光刻胶显影后，对铜箔进行化学腐蚀得到不同网格结构的极薄铜网。该方法工艺流程简单易操作，可制备不同铜网网格结构；同时制备的铜网厚度小于25um，线宽小于100um，铜网晶型可为多晶或单晶；铜网厚度均匀，解决现有线编织铜网铜线交织区厚度不均匀的问题。与此同时，本发明制成的保持了金属铜的基本属性，其延展性，导热性和导电性高，具有较高的稳定性和抗拉性。
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公开(公告)号：CN110418563A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910665103.2
申请日：2019-07-23
Applicant: 西安工业大学
IPC: H05K9/00
Abstract: 本发明公开了一种应用于电磁屏蔽的几何拓扑结构，为了解决现有红外透过率一定时，屏蔽效能低的问题。提出了该结构的红外透过率模型，推导出了理论公式。该结构是十字形结构和圆环形结构相结合，主要由多个相同拓扑单元结构阵列组成的频率选择表面，可提高传统十字形结构屏蔽效能。当电磁波垂直入射于本发明所提出的拓扑结构时，对于1GHz到18GHz频段的电磁波会有较高的屏蔽特性，同时红外透过率高于90％。
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