一种具有表面电荷区结构的功率器件

    公开(公告)号:CN108550628B

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN201810399461.9

    申请日:2018-04-28

    Abstract: 本发明提供一种具有表面电荷区结构的功率器件,包括由下至上依次设置的P衬底I(1)、浮空等位层(4)、P衬底II(2)和漂移区(5);所述漂移区(5)上设置有N+漏区、漏电极(10)、栅电极(12)、源电极(11)、N+接触区、P阱(7)以及P+源区;所述漂移区(5)的顶部且位于漂移区内设置有一系列横向且等距离分布的N+电荷区(6)而形成表面电荷区。本发明由于在漂移区表面设置一系列等间距的N+电荷区表面电荷区结构,表面电荷区产生界面电荷,增强了电荷区内电场,提高了器件横向耐压;界面电荷同时增强埋层纵向电场和纵向耐压,降低了漏极附近电场,防止器件表面过早击穿;由于采用等间距N+的表面电荷区结构,工艺简单可行,工艺容差较好,与常规CMOS工艺兼容。

    可见光到近红外双波段内嵌椭圆谐振腔传感器

    公开(公告)号:CN113483792A

    公开(公告)日:2021-10-08

    申请号:CN202110752013.4

    申请日:2021-07-03

    Abstract: 本发明公开了可见光到近红外双波段内嵌椭圆谐振腔传感器,该传感器由输入输出的波导,矩形腔和椭圆环形谐振腔组成,其中波导的宽度为w,矩形谐振腔与输入输出波导之间的耦合距离为g,矩形谐振腔的宽度和高度分别为q和h,矩形谐振腔和椭圆环形谐振腔的耦合距离为g1,椭圆环形谐振器的外椭圆长轴长度和短轴长度为A1,B1,内部椭圆长轴长度和短轴长度为a1,b1。光波在波导中传输时,通过矩形腔与椭圆环形谐振腔的耦合,产生Fano共振,改变结构中的几何参数和介质的折射率后,使Fano共振谱线偏移。本发明可以实现从可见光到近红外波段的双通道调控,并且可以获得较高的灵敏度和品质因数(FOM),计算的灵敏度和品质因数最高为1075nm/RIU和91914。该发明提供的结构易与其他光子器件集成,研究结果可以为这种结构的未来应用提供指导。

    基于石墨烯包覆的双芯D型光子晶体光纤SPR传感器

    公开(公告)号:CN110596051A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910820887.1

    申请日:2019-09-01

    Abstract: 本发明提供了一种石墨烯包覆的双芯D型光子晶体光纤SPR折射率传感器。所述光纤SPR传感器包括一具有平面壁和曲面侧壁的折射率引导型光子晶体光纤,所述折射率引导型光子晶体光纤留有左右相互对称的两个纤芯,横截面呈D形,在所述平面壁上具有传感层。本发明在D形光子晶体光纤表面,左右纤芯所对应的传感层分别为石墨烯包覆的金/银纳米柱。利用金/银纳米柱表面产生的等离子体共振对周围的介质环境十分敏感的特性,可以将金属表面临近物质的折射率的微小变化转换成可测量的吸收峰的位移,设计实现高灵敏度的光子晶体光纤SPR传感器。本发明的优点是:双芯结构的设计拓宽了该折射率传感器的检测范围。石墨烯包覆金/银纳米柱的设计既能明显提高传感器的灵敏度,又能有效防止银纳米柱的腐蚀及氧化。该传感器设计新颖,结构简单,体积小,检测范围宽,抗腐蚀能力强,灵敏度高,是一种实用的折射率传感器。

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