热式流量计
    66.
    发明授权

    公开(公告)号:CN108444559B

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN201810245607.4

    申请日:2013-05-15

    Abstract: 本发明提供一种热式流量计,能够提高设置于热式流量计的温度检测器的测量精度,该热式流量计的特征在于,包括:用于使在主通路流动的被测量气体(30)流动的副通路;和具有测量在上述副通路流动的被测量气体(30)的流量的流量测量电路和检测上述被测量气体的温度的温度检测部(452)的电路封装(400),并且,上述电路封装(400)在其内部具有以包覆上述流量测量电路的方式由树脂模塑而成形的电路封装主体和由树脂模塑而成形的突出部(424),在上述突出部(424)的前端部设置上述温度检测部(452),上述突出部的至少上述前端部从上述壳体(302)向外突出。

    流量传感器及其制造方法
    68.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104854431B

    公开(公告)日:2018-04-17

    申请号:CN201380064443.0

    申请日:2013-11-18

    CPC classification number: G01F15/16 B81C1/00333 G01F1/6845 G01F1/692

    Abstract: 在使半导体芯片的露出部分变小的情况下,抑制在半导体芯片容易产生裂纹的情况。由于将树脂(MR)注入第二空间的压力,在弹性体薄膜(LAF)与半导体芯片(CHP1)接触的接触部分(SEL)产生间隙,与树脂(MR)成分不同的树脂(MR2)渗入该间隙。其结果是,在从树脂(MR)露出半导体芯片(CHP1)的区域中,除了流量检测部(FDU)以及其附近区域以外区域的形成树脂(MR2)。由此,能够使从树脂(MR)以及树脂(MR2)露出的半导体芯片(CHP1)的区域变小。

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