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公开(公告)号：CN107817029B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201711105994.3
申请日：2013-05-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明的目的是提高热式流量计的测量精度。电路封装体(401)的测量用流路面(430)和其背面的测量用流路面背面(431)位于副通路内，副通路构成为，被测量气体(30)分开流入电路封装体的测量用流路面(430)侧的流路(386)和其背面的测量用流路面背面(431)侧的流路(387)，电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面的形状在测量用流路面和测量用流路面背面不同。在电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面形成有基准线(700)，基准线的测量用流路面侧的端面(701a)和测量用流路面背面侧的端面(701b)形成为非对称。
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公开(公告)号：CN106716077B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201580052281.8
申请日：2015-07-24
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/68
Abstract: 本发明提供一种能够进行自我诊断的热式流量传感器。该热式流量传感器在具备设置了用于与外部电气导通的电极焊盘并检测流量的半导体元件的热式流量传感器中，所述电极焊盘至少设置两个以上，关于与所述电极焊盘相邻接的电极焊盘，排列成为在流量检测时使用的输出范围外的电位的电极焊盘。
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公开(公告)号：CN107817029A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201711105994.3
申请日：2013-05-29
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
Abstract: 本发明的目的是提高热式流量计的测量精度。电路封装体(401)的测量用流路面(430)和其背面的测量用流路面背面(431)位于副通路内，副通路构成为，被测量气体(30)分开流入电路封装体的测量用流路面(430)侧的流路(386)和其背面的测量用流路面背面(431)侧的流路(387)，电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面的形状在测量用流路面和测量用流路面背面不同。在电路封装体的用于分开被测量气体(30)的流入侧的端面形成有基准线(700)，基准线的测量用流路面侧的端面(701a)和测量用流路面背面侧的端面(701b)形成为非对称。
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公开(公告)号：CN107063368A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710142275.2
申请日：2012-06-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提高热式流量计的测量精度。本发明的热式流量计，通过第一树脂模塑工序对测量流量的电路封装(400)进行模塑，并且通过第二树脂模塑工序使具有入口槽(351)、正面侧副通路槽(332)、出口槽(353)等的壳体(302)树脂成形，并且同时在第二树脂模塑工序中用树脂包围通过第一树脂模塑工序制造的电路封装(400)的外周面，而将其固定在壳体(302)中。
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公开(公告)号：CN106959140A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710142630.6
申请日：2012-06-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01F1/6965 , G01F15/14
Abstract: 本发明的目的在于提高热式流量计的测量精度。本发明的热式流量计，通过第一树脂模塑工序对测量流量的电路封装(400)进行模塑，并且通过第二树脂模塑工序使具有入口槽(351)、正面侧副通路槽(332)、出口槽(353)等的壳体(302)树脂成形，并且同时在第二树脂模塑工序中用树脂包围通过第一树脂模塑工序制造的电路封装(400)的外周面，而将其固定在壳体(302)中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106840291A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201710138074.5
申请日：2013-06-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/692 , B81B7/0016 , B81C1/00825 , G01F1/684 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , G01P5/12 , H01L21/565 , H01L28/20 , H01L2224/05553 , H01L2224/45144 , H01L2224/48091 , H01L2224/48247 , H01L2224/49171 , H01L2924/10158 , H01L2924/181 , H01L2924/1815 , H01L2924/00012 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
Abstract: 本发明的目的在于在进行使半导体元件的一部分部分地露出的树脂封固的情况下，提高产品的可靠性。为了达成上述目的，本发明的热式空气流量传感器的特征在于，包括：半导体基板，其具有薄壁部、设置在上述薄壁部上的发热电阻体和设置在上述发热电阻体的上下游的测温电阻体；设置在上述半导体基板上的保护膜；和将上述半导体基板封固的树脂，上述树脂具有使包括上述薄壁部的区域部分地露出的露出部，上述保护膜设置成围绕上述发热电阻体，上述有机保护膜的外周端部比上述薄壁部靠外侧且位于上述露出部。
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公开(公告)号：CN104395709B
公开(公告)日：2017-04-12
申请号：CN201380034250.0
申请日：2013-06-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于在进行使半导体元件的一部分部分地露出的树脂封固的情况下，提高产品的可靠性。为了达成上述目的，本发明的热式空气流量传感器的特征在于，包括：半导体基板，其具有薄壁部、设置在上述薄壁部上的发热电阻体和设置在上述发热电阻体的上下游的测温电阻体；设置在上述半导体基板上的保护膜；和将上述半导体基板封固的树脂，上述树脂具有使包括上述薄壁部的区域部分地露出的露出部，上述保护膜设置成围绕上述发热电阻体，上述有机保护膜的外周端部比上述薄壁部靠外侧且位于上述露出部。
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公开(公告)号：CN104395708A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380034261.9
申请日：2013-06-10
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6845 , G01F5/00 , G01P5/12
Abstract: 本发明的目的是提供一种检测精度高的热式流量传感器。为了达成上述目的，本发明的热式流量传感器包括：流量检测元件，其包括对半导体基板进行加工而设置的隔膜、在所述隔膜上设置的发热电阻体、在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别设置的测温电阻体；支承部件，其经由粘接剂片接合保持所述流量检测元件，所述支承部件具有一端在设置于所述隔膜的背面侧的空洞部开口的连通孔，所述粘接剂片在所述支承部件的连通孔的开口区域形成有通气孔。
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公开(公告)号：CN104094088A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201380008004.8
申请日：2013-01-21
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/684
CPC classification number: G01F1/692 , F02D41/182 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , H01L2224/48137 , H01L2224/48247 , H01L2924/1815
Abstract: 为了提供热响应性好的流量测定装置，包括温度检测用的温度检测元件(2)和对上述温度检测元件进行支承固定的导电性的金属引线框架(3)，在上述金属引线框架中用于安装上述温度检测元件的金属引线框架的一部分，具有比其它的金属引线框架的板厚薄或者比其它的金属引线框架的宽度细的部分。
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公开(公告)号：CN107063368B
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201710142275.2
申请日：2012-06-15
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提高热式流量计的测量精度。本发明的热式流量计，通过第一树脂模塑工序对测量流量的电路封装(400)进行模塑，并且通过第二树脂模塑工序使具有入口槽(351)、正面侧副通路槽(332)、出口槽(353)等的壳体(302)树脂成形，并且同时在第二树脂模塑工序中用树脂包围通过第一树脂模塑工序制造的电路封装(400)的外周面，而将其固定在壳体(302)中。
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