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公开(公告)号:CN118441248A
公开(公告)日:2024-08-06
申请号:CN202410191226.8
申请日:2024-02-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高抗氧化性、高耐磨性的Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层及其制备方法,属于涂层技术领域。本发明采用高功率脉冲磁控溅射和电弧离子镀复合镀膜技术在基体上沉积Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层;沉积该纳米复合涂层时:靶材选取金属AlTi靶和V靶,本底真空度为6×10‑3Pa以上,控制偏压为‑100~‑200V,沉积压强为0.5~0.8Pa,AlTi靶连接高功率脉冲磁控溅射电源,AlTi靶溅射功率0.4~2.0kW,V靶连接电弧离子镀电源,V靶电流为85~100A。本发明通过优化涂层中的Al、Ti、V元素含量,制备出兼具高硬度、高耐磨性及高抗氧化能力的涂层。
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公开(公告)号:CN118086840A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202410191130.1
申请日:2024-02-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度和低摩擦系数的VC纳米复合涂层,属于涂层技术领域。该纳米复合涂层中C含量为13.49‑38.68at.%,余量为V元素;其为包含fcc‑VC晶相和金属V的纳米复合结构,VC相沿(111)晶面择优生长。采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积VC纳米复合涂层,沉积时开启V靶并通入Ar和C2H2,通入Ar的流量为120~150sccm,通入C2H2流量为5~30sccm,气体总流量130~180sccm。本发明通过优化VC涂层中的C含量,使所制备涂层中包含fcc‑VC晶相和金属V的纳米复合结构,且VC相沿(111)晶面择优生长,从而获得兼具高硬度、低摩擦系数的涂层。
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公开(公告)号:CN118007058A
公开(公告)日:2024-05-10
申请号:CN202410126070.5
申请日:2024-01-30
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有自润滑性能的AlCrVTiSiN高熵合金涂层的制备工艺,属于涂层技术领域。采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积高熵合金涂层。制备AlCrVTiSiN高熵合金涂层时:本底真空度为3.0×10‑3Pa,沉积压强为2.8‑3.0Pa,脉冲偏压‑100~‑110V,频率45‑50KHz,脉宽6‑8μs;沉积温度为430‑470℃,AlCrSi靶电流95‑100A,AlTiSi靶电流80‑85A,V靶电流75‑95A,通入Ar和N2;本发明通过工艺设计及优化V元素含量,制备出兼具高硬度、自润滑能力的高熵合金涂层。
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公开(公告)号:CN117845165A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202410191241.2
申请日:2024-02-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高抗氧化性和高耐磨性的Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层,属于涂层技术领域。该Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层中,C元素含量为10.02‑12.40at.%,V元素含量为73.73‑83.52at.%,Ti元素含量为4.89‑10.99at.%,Al元素含量为1.56‑3.36at.%;其为包含VC相、AlCV2相以及V4C3相的纳米复合结构,VC相沿(111)晶面择优生长,AlCV2晶相沿(200)晶面择优生长,V4C3相晶相沿(220)晶面择优生长。本发明通过优化涂层中的Al、Ti、V元素含量,制备出兼具高硬度、高耐磨性及高抗氧化能力的涂层。
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公开(公告)号:CN117265476A
公开(公告)日:2023-12-22
申请号:CN202311084478.2
申请日:2023-08-28
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种可高温服役的长寿命AlCrN/NiCrAlYSi复合涂层及其制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀膜技术在镍基高温合金基体上制备AlCrN扩散阻挡层,以此来实现在高温环境下对合金基体的保护作用。选用不同靶材成分的AlCr合金靶,对基材表面分别进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后通入N2,开始沉积AlCrN扩散阻挡涂层,通过控制靶材成分和工艺参数获得了性能优异的扩散阻挡层。本发明工艺简单,重复性好;制备出的AlCrN扩散阻挡涂层对基体与NiCrAlYSi涂层之间的元素扩散起到了良好的阻挡作用,且涂层具有优异的高温热稳定性以及耐腐蚀性能,涂层组织结构致密,与基体结合良好。
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公开(公告)号:CN115505886B
公开(公告)日:2023-10-24
申请号:CN202211170761.2
申请日:2022-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) , 恩盛德(天津)精密工具股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层及其制备方法,属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层交替叠加而成,涂层调制周期为55~175nm,周期数≥10;所述AlCrSiN调制层和AlCrMoSiN调制层的调制比为1:1~9:1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成,通过优化调制周期和调制比,制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。
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公开(公告)号:CN112410728B
公开(公告)日:2023-05-02
申请号:CN202011474101.4
申请日:2020-12-14
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高Cr含量CrB2‑Cr涂层的制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrB2‑Cr纳米复合涂层。为了更好的控制涂层中Cr元素的含量,靶材同时选用CrB2靶和两个金属Cr靶,对基材表面分别进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后沉积金属Cr过渡层,最后同时开启Cr靶和CrB2靶,沉积CrB2‑Cr涂层,镀膜过程始终在氩气气氛内进行。本发明工艺简单,重复性好;制备出的CrB2‑Cr涂层中Cr元素含量显著增加,涂层具有较高的硬度和熔点、优异的高温热稳定性以及耐腐蚀性能,其韧性也得到了一定改善,而且涂层组织结构致密,与基体间的结合力强。
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公开(公告)号:CN112501553B
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202010999545.3
申请日:2020-09-22
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法,属于薄膜及其制备技术领域。所述AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是将Mo元素掺杂进AlCrSiN薄膜中制备而成,Mo元素的掺杂量为0.3~6.3at.%,该薄膜采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上制备而成。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好,具备优良的减摩特性,可以显著降低刀‑屑间的摩擦,具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。
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公开(公告)号:CN115404438A
公开(公告)日:2022-11-29
申请号:CN202211164051.9
申请日:2022-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) , 天津亚盛工业技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度与高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备工艺,属于涂层技术领域。该工艺采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流复合溅射技术沉积纳米多层复合涂层,沉积时本底真空6×10‑3Pa以上,沉积压强0.6~1.6Pa,通入Ar和N2;制备AlCrSiN调制层时,AlCrSi靶功率1.0~1.2kw,偏压为‑120~‑150V;制备AlCrMoSiN调制层时,同时开启AlCrSi靶和CrMo靶,AlCrSi靶功率1.0~1.2kW,CrMo靶功率0.3~0.4kW;本发明通过工艺设计及优化调制周期和调制比,制备出兼具高硬度、高耐磨性能力的纳米复合涂层。
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公开(公告)号:CN111471973B
公开(公告)日:2022-07-19
申请号:CN202010541142.4
申请日:2020-06-15
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种还原性气氛中制备Zr‑B‑N纳米复合涂层的制备工艺,属于纳米复合涂层制备技术领域。采用脉冲直流磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr‑B‑N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力,镀膜前先通入Ar气,利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗,然后通入N2和H2的混合气体,沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶,将ZrB2靶连接到脉冲直流磁控溅射阴极,并在Ar、N2和H2的混合气氛中起辉,开始沉积Zr‑B‑N涂层。本发明涉及的Zr‑B‑N纳米复合涂层制备重复性好,并且容易工业化生产;制备出的Zr‑B‑N涂层具有较高的硬度和弹性模量,良好的耐磨性能,且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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