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公开(公告)号:CN111647856B
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202010557957.1
申请日:2020-06-18
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层的制备工艺,属于复合涂层制备技术领域。该工艺采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层。靶材选取金属Cr靶、AlCrSi靶、AlTiSi靶。先沉积CrN过渡层,再通入氮气作为反应气体,制备AlCrTiSiN工作层。最后通入一定时间氧气,制备AlCrTiSiON表面氧化防护层。本发明涉及的多层复合涂层制备工艺简单,并且容易工业化生产。制备出的涂层具有良好的耐热性能,适用于高速切削,提高加工效率。
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公开(公告)号:CN112626456A
公开(公告)日:2021-04-09
申请号:CN202110008667.6
申请日:2021-01-05
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度和高韧性的ZrB2‑Ni涂层及其制备工艺,属于刀具涂层制备技术领域。该工艺是采用脉冲直流磁控溅射技术在基体材料上沉积ZrB2‑Ni涂层,沉积过程为:对基体表面进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后,先沉积Zr过渡层,再开启连接ZrB2靶和Ni靶的脉冲直流磁控溅射电源,沉积ZrB2‑Ni涂层,控制Ni靶溅射功率0.4kW,ZrB2靶溅射功率1.3‑2.5kW,涂层沉积时间根据涂层厚度要求确定。通过改变ZrB2靶溅射功率调控ZrB2‑Ni涂层中Ni含量,该工艺通过向ZrB2涂层内适量掺杂具有良好延展性的金属Ni,在一定程度上改善了涂层韧性,同时保持了较高的硬度、临界载荷和优异的耐磨性能。
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公开(公告)号:CN111647851A
公开(公告)日:2020-09-11
申请号:CN202010541310.X
申请日:2020-06-15
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度和高韧性Zr-B-N纳米复合涂层及其制备方法,属于纳米复合涂层制备技术领域。所述Zr-B-N纳米复合涂层包括非晶BN相和ZrB2晶相,其中ZrB2相沿(001)晶面择优生长。采用脉冲直流磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr-B-N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力,镀膜前先通入Ar气,利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗,然后通入N2和H2的混合气体,沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶电源,将ZrB2靶连接到脉冲直流磁控溅射阴极,并在Ar、N2和H2的混合气氛中沉积Zr-B-N涂层。本发明涉及的Zr-B-N纳米复合涂层制备重复性好,并且容易工业化生产;制备出的Zr-B-N涂层具有较高的硬度和弹性模量,良好的耐磨性能,且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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公开(公告)号:CN112410728B
公开(公告)日:2023-05-02
申请号:CN202011474101.4
申请日:2020-12-14
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高Cr含量CrB2‑Cr涂层的制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrB2‑Cr纳米复合涂层。为了更好的控制涂层中Cr元素的含量,靶材同时选用CrB2靶和两个金属Cr靶,对基材表面分别进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后沉积金属Cr过渡层,最后同时开启Cr靶和CrB2靶,沉积CrB2‑Cr涂层,镀膜过程始终在氩气气氛内进行。本发明工艺简单,重复性好;制备出的CrB2‑Cr涂层中Cr元素含量显著增加,涂层具有较高的硬度和熔点、优异的高温热稳定性以及耐腐蚀性能,其韧性也得到了一定改善,而且涂层组织结构致密,与基体间的结合力强。
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公开(公告)号:CN112391593B
公开(公告)日:2022-12-23
申请号:CN202011474390.8
申请日:2020-12-14
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高Cr含量、韧性好的CrB2‑Cr涂层及其制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrB2‑Cr纳米复合涂层。为了更好的控制涂层中Cr元素的含量,靶材同时选用CrB2靶和两个金属Cr靶,对基材表面分别进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后沉积金属Cr过渡层,最后同时开启Cr靶和CrB2靶,沉积CrB2‑Cr涂层,镀膜过程始终在氩气气氛内进行。本发明工艺简单,重复性好;制备出的CrB2‑Cr涂层中Cr元素含量显著增加,涂层具有较高的硬度和熔点、优异的高温热稳定性以及耐腐蚀性能,其韧性也得到了一定改善,而且涂层组织结构致密,与基体间的结合力强。
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公开(公告)号:CN111549322B
公开(公告)日:2022-08-05
申请号:CN202010558249.X
申请日:2020-06-18
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层及其制备工艺,属于复合涂层制备技术领域。所述AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层是由单层AlCrTiSiN及AlCrTiSiON叠加而成。该复合涂层采用电弧离子镀膜技术制备,具体制备时,靶材选取金属Cr靶、AlCrSi靶、AlTiSi靶,辉光放电清洗和离子轰击清洗后先沉积CrN过渡层,最后通入相应的反应气体,分别制备工作层和表面防护涂层。本发明涉及的多层复合涂层制备工艺简单,并且容易工业化生产。制备出的涂层具有良好的耐热性能,适用于高速切削,提高加工效率。
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公开(公告)号:CN111647851B
公开(公告)日:2022-07-19
申请号:CN202010541310.X
申请日:2020-06-15
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度和高韧性Zr‑B‑N纳米复合涂层及其制备方法,属于纳米复合涂层制备技术领域。所述Zr‑B‑N纳米复合涂层包括非晶BN相和ZrB2晶相,其中ZrB2相沿(001)晶面择优生长。采用脉冲直流磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr‑B‑N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力,镀膜前先通入Ar气,利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗,然后通入N2和H2的混合气体,沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶电源,将ZrB2靶连接到脉冲直流磁控溅射阴极,并在Ar、N2和H2的混合气氛中沉积Zr‑B‑N涂层。本发明涉及的Zr‑B‑N纳米复合涂层制备重复性好,并且容易工业化生产;制备出的Zr‑B‑N涂层具有较高的硬度和弹性模量,良好的耐磨性能,且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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公开(公告)号:CN112410728A
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:CN202011474101.4
申请日:2020-12-14
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高Cr含量CrB2‑Cr涂层的制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrB2‑Cr纳米复合涂层。为了更好的控制涂层中Cr元素的含量,靶材同时选用CrB2靶和两个金属Cr靶,对基材表面分别进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后沉积金属Cr过渡层,最后同时开启Cr靶和CrB2靶,沉积CrB2‑Cr涂层,镀膜过程始终在氩气气氛内进行。本发明工艺简单,重复性好;制备出的CrB2‑Cr涂层中Cr元素含量显著增加,涂层具有较高的硬度和熔点、优异的高温热稳定性以及耐腐蚀性能,其韧性也得到了一定改善,而且涂层组织结构致密,与基体间的结合力强。
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公开(公告)号:CN112391593A
公开(公告)日:2021-02-23
申请号:CN202011474390.8
申请日:2020-12-14
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高Cr含量、高弹性模量的CrB2‑Cr涂层及其制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrB2‑Cr纳米复合涂层。为了更好的控制涂层中Cr元素的含量,靶材同时选用CrB2靶和两个金属Cr靶,对基材表面分别进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后沉积金属Cr过渡层,最后同时开启Cr靶和CrB2靶,沉积CrB2‑Cr涂层,镀膜过程始终在氩气气氛内进行。本发明工艺简单,重复性好;制备出的CrB2‑Cr涂层中Cr元素含量显著增加,涂层具有较高的硬度和熔点、优异的高温热稳定性以及耐腐蚀性能,其韧性也得到了一定改善,而且涂层组织结构致密,与基体间的结合力强。
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公开(公告)号:CN117328019A
公开(公告)日:2024-01-02
申请号:CN202311084479.7
申请日:2023-08-28
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种可有效阻挡元素扩散的AlCrON涂层及其制备方法和应用,属于涂层制备技术领域。采用电弧离子镀技术在镍基高温合金基体上制备AlCrON扩散阻挡涂层,以此来实现在高温环境下对合金基体的保护作用。选用AlCr合金靶,对基材表面分别进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后通入O2与N2混合气体,开始沉积AlCrON扩散阻挡涂层,通过改变反应气氛中的O2、N2流量比例来获得性能更好的涂层。本发明工艺简单,重复性好;制备出的AlCrON扩散阻挡涂层对基体与NiCrAlYSi涂层之间的元素扩散现象起到了良好的阻挡作用,且涂层具有优异的高温热稳定性以及耐腐蚀性能,涂层组织结构致密,与基体间的结合良好。
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