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公开(公告)号：CN111647851B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202010541310.X
申请日：2020-06-15
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度和高韧性Zr‑B‑N纳米复合涂层及其制备方法，属于纳米复合涂层制备技术领域。所述Zr‑B‑N纳米复合涂层包括非晶BN相和ZrB2晶相，其中ZrB2相沿(001)晶面择优生长。采用脉冲直流磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr‑B‑N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力，镀膜前先通入Ar气，利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后通入N2和H2的混合气体，沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶电源，将ZrB2靶连接到脉冲直流磁控溅射阴极，并在Ar、N2和H2的混合气氛中沉积Zr‑B‑N涂层。本发明涉及的Zr‑B‑N纳米复合涂层制备重复性好，并且容易工业化生产；制备出的Zr‑B‑N涂层具有较高的硬度和弹性模量，良好的耐磨性能，且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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公开(公告)号：CN111500990B
公开(公告)日：2022-05-24
申请号：CN202010484581.6
申请日：2020-06-01
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种Zr‑Ti‑B‑N纳米复合涂层及其制备方法，属于复合涂层及其制备技术领域。该复合涂层包括非晶BN相、ZrN晶相、TiN晶相、ZrB2晶相和Ti2N晶相，其中ZrB2相沿(001)晶面、Ti2N相沿(110)晶面择优生长。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在基体上沉积Zr‑Ti‑B‑N纳米复合涂层，TiB2靶和ZrB2靶分别连接到高功率脉冲磁控溅射阴极和脉冲直流磁控溅射阴极，在Ar、N2和H2的混合气氛中沉积Zr‑Ti‑B‑N涂层。本发明的纳米复合涂层具有较高的硬度和弹性模量，良好的耐磨性能，且涂层组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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公开(公告)号：CN111500990A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010484581.6
申请日：2020-06-01
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种Zr-Ti-B-N纳米复合涂层及其制备方法，属于复合涂层及其制备技术领域。该复合涂层包括非晶BN相、ZrN晶相、TiN晶相、ZrB2晶相和Ti2N晶相，其中ZrB2相沿(001)晶面、Ti2N相沿(110)晶面择优生长。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在基体上沉积Zr-Ti-B-N纳米复合涂层，TiB2靶和ZrB2靶分别连接到高功率脉冲磁控溅射阴极和脉冲直流磁控溅射阴极，在Ar、N2和H2的混合气氛中沉积Zr-Ti-B-N涂层。本发明的纳米复合涂层具有较高的硬度和弹性模量，良好的耐磨性能，且涂层组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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公开(公告)号：CN110607499A
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201910897038.6
申请日：2019-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法，属于薄膜及其制备技术领域。所述AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是由Mo元素掺杂进AlCrSiN薄膜中形成，Mo元素的掺杂量为0.3～6.3at.％，该薄膜采用高功率脉冲磁控溅射技术和脉冲直流磁控镀膜技术在基体上制备而成。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减磨特性，可以显著降低刀-屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。
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公开(公告)号：CN109778130A
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201910052656.0
申请日：2019-01-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS2纳米复合薄膜及其制备方法，属于薄膜技术领域。采用高功率脉冲与脉冲直流复合磁控镀膜技术在刀具基体上制备了AlCrN/MoS2纳米复合薄膜，沉积过程中，调整偏压至-50～-150V，然后通入N2和Ar的混合气体；工作气压保持在0.5～1.0Pa，AlCr靶功率保持为0.5～1.0kW，MoS2靶功率为0.05～0.3kW，沉积后获得所述AlCrN/MoS2纳米复合薄膜。所制备的AlCrN/MoS2复合薄膜具有优良的润滑性能，可以显著降低基体材料的磨损，具有较好的化学稳定性且剥层易转移等特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112501553B
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202010999545.3
申请日：2020-09-22
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法，属于薄膜及其制备技术领域。所述AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是将Mo元素掺杂进AlCrSiN薄膜中制备而成，Mo元素的掺杂量为0.3～6.3at.％，该薄膜采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上制备而成。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减摩特性，可以显著降低刀‑屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。
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公开(公告)号：CN111471973B
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202010541142.4
申请日：2020-06-15
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种还原性气氛中制备Zr‑B‑N纳米复合涂层的制备工艺，属于纳米复合涂层制备技术领域。采用脉冲直流磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr‑B‑N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力，镀膜前先通入Ar气，利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后通入N2和H2的混合气体，沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶，将ZrB2靶连接到脉冲直流磁控溅射阴极，并在Ar、N2和H2的混合气氛中起辉，开始沉积Zr‑B‑N涂层。本发明涉及的Zr‑B‑N纳米复合涂层制备重复性好，并且容易工业化生产；制备出的Zr‑B‑N涂层具有较高的硬度和弹性模量，良好的耐磨性能，且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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公开(公告)号：CN111471973A
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN202010541142.4
申请日：2020-06-15
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种还原性气氛中制备Zr-B-N纳米复合涂层的制备工艺，属于纳米复合涂层制备技术领域。采用脉冲直流磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr-B-N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力，镀膜前先通入Ar气，利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后通入N2和H2的混合气体，沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶，将ZrB2靶连接到脉冲直流磁控溅射阴极，并在Ar、N2和H2的混合气氛中起辉，开始沉积Zr-B-N涂层。本发明涉及的Zr-B-N纳米复合涂层制备重复性好，并且容易工业化生产；制备出的Zr-B-N涂层具有较高的硬度和弹性模量，良好的耐磨性能，且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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公开(公告)号：CN110453190A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201910897051.1
申请日：2019-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种AlCrSiN/Mo自润滑薄膜的复合磁控溅射制备方法，属于薄膜制备技术领域。该AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是采用高功率脉冲磁控溅射技术和脉冲直流磁控镀膜技术在基体上制备而成，制备过程为：降低偏压至-50～-150V，N2流量50～150sccm，Ar流量50～250sccm，N2和Ar总流量300sccm，沉积压强1.0～2.5Pa，CrMo靶溅射功率0.1～0.9kW，AlCrSi靶功率0.2～1.5kW。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减磨特性，可以显著降低刀-屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。
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公开(公告)号：CN111647859B
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202010485269.9
申请日：2020-06-01
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种还原性气氛中Zr‑Ti‑B‑N纳米复合涂层的制备工艺，属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在基体上沉积Zr‑Ti‑B‑N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力，镀膜前先通入Ar气，利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后通入N2+H2的混合气体，沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶，依次将TiB2靶和ZrB2靶连接到高功率脉冲磁控溅射阴极和脉冲直流磁控溅射阴极，并在Ar、N2和H2的混合气氛中起辉，开始沉积Zr‑Ti‑B‑N涂层。本发明制备的纳米复合涂层具有较高的硬度和弹性模量，良好的耐磨性能，且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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