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公开(公告)号:CN118497665A
公开(公告)日:2024-08-16
申请号:CN202410191090.0
申请日:2024-02-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高硬度、低摩擦系数的VC纳米复合涂层及其制备方法,属于涂层技术领域。本发明采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积VC纳米复合涂层,其中:靶材选取金属V靶,沉积VC纳米复合涂层时,开启V靶并通入Ar和C2H2,通入Ar的流量为120~150sccm,通入C2H2流量为5~30sccm,气体总流量130~180sccm。本发明通过优化VC涂层中的C含量,使所制备涂层中包含fcc‑VC晶相和金属V的纳米复合结构,且VC相沿(111)晶面择优生长,从而获得兼具高硬度、低摩擦系数的涂层。
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公开(公告)号:CN118441248A
公开(公告)日:2024-08-06
申请号:CN202410191226.8
申请日:2024-02-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高抗氧化性、高耐磨性的Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层及其制备方法,属于涂层技术领域。本发明采用高功率脉冲磁控溅射和电弧离子镀复合镀膜技术在基体上沉积Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层;沉积该纳米复合涂层时:靶材选取金属AlTi靶和V靶,本底真空度为6×10‑3Pa以上,控制偏压为‑100~‑200V,沉积压强为0.5~0.8Pa,AlTi靶连接高功率脉冲磁控溅射电源,AlTi靶溅射功率0.4~2.0kW,V靶连接电弧离子镀电源,V靶电流为85~100A。本发明通过优化涂层中的Al、Ti、V元素含量,制备出兼具高硬度、高耐磨性及高抗氧化能力的涂层。
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公开(公告)号:CN118086840A
公开(公告)日:2024-05-28
申请号:CN202410191130.1
申请日:2024-02-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度和低摩擦系数的VC纳米复合涂层,属于涂层技术领域。该纳米复合涂层中C含量为13.49‑38.68at.%,余量为V元素;其为包含fcc‑VC晶相和金属V的纳米复合结构,VC相沿(111)晶面择优生长。采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积VC纳米复合涂层,沉积时开启V靶并通入Ar和C2H2,通入Ar的流量为120~150sccm,通入C2H2流量为5~30sccm,气体总流量130~180sccm。本发明通过优化VC涂层中的C含量,使所制备涂层中包含fcc‑VC晶相和金属V的纳米复合结构,且VC相沿(111)晶面择优生长,从而获得兼具高硬度、低摩擦系数的涂层。
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公开(公告)号:CN117845165A
公开(公告)日:2024-04-09
申请号:CN202410191241.2
申请日:2024-02-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高抗氧化性和高耐磨性的Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层,属于涂层技术领域。该Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层中,C元素含量为10.02‑12.40at.%,V元素含量为73.73‑83.52at.%,Ti元素含量为4.89‑10.99at.%,Al元素含量为1.56‑3.36at.%;其为包含VC相、AlCV2相以及V4C3相的纳米复合结构,VC相沿(111)晶面择优生长,AlCV2晶相沿(200)晶面择优生长,V4C3相晶相沿(220)晶面择优生长。本发明通过优化涂层中的Al、Ti、V元素含量,制备出兼具高硬度、高耐磨性及高抗氧化能力的涂层。
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公开(公告)号:CN115404438A
公开(公告)日:2022-11-29
申请号:CN202211164051.9
申请日:2022-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) , 天津亚盛工业技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度与高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备工艺,属于涂层技术领域。该工艺采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流复合溅射技术沉积纳米多层复合涂层,沉积时本底真空6×10‑3Pa以上,沉积压强0.6~1.6Pa,通入Ar和N2;制备AlCrSiN调制层时,AlCrSi靶功率1.0~1.2kw,偏压为‑120~‑150V;制备AlCrMoSiN调制层时,同时开启AlCrSi靶和CrMo靶,AlCrSi靶功率1.0~1.2kW,CrMo靶功率0.3~0.4kW;本发明通过工艺设计及优化调制周期和调制比,制备出兼具高硬度、高耐磨性能力的纳米复合涂层。
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公开(公告)号:CN115404438B
公开(公告)日:2024-02-06
申请号:CN202211164051.9
申请日:2022-09-23
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) , 天津亚盛工业技术有限公司
Abstract: 本发明公开了一种高硬度与高耐磨性的AlCrSiN/AlCrMoSiN纳米多层复合涂层的制备工艺,属于涂层技术领域。该工艺采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流复合溅射技术沉积纳米多层复合涂层,沉积时本底真空6×10‑3Pa以上,沉积压强0.6~1.6Pa,通入Ar和N2;制备AlCrSiN调制层时,AlCrSi靶功率1.0~1.2kw,偏压为‑120~‑150V;制备AlCrMoSiN调制层时,同时开启AlCrSi靶和CrMo靶,AlCrSi靶功率1.0~1.2kW,CrMo靶功率0.3~0.4kW;本发明通过工艺设计及优化调制周期和调制比,制备出兼具高硬度、高耐磨性能力的纳米复合涂层。
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