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公开(公告)号：CN118007059A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202410126219.X
申请日：2024-01-30
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度和自润滑性能的AlCrVTiSiN高熵合金涂层及其制备工艺，属于涂层技术领域。采用电弧离子镀膜技术在基体上沉积高熵合金涂层。制备AlCrVTiSiN高熵合金涂层时：本底真空度为3.0×10‑3Pa，沉积压强为2.8‑3.0Pa，脉冲偏压‑100～‑110V，频率45‑50KHz，脉宽6‑8μs；沉积温度为430‑470℃，AlCrSi靶电流95‑100A，AlTiSi靶电流80‑85A，V靶电流75‑95A，通入Ar和N2；本发明通过工艺设计及优化V元素含量，制备出兼具高硬度、自润滑能力的高熵合金涂层。
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公开(公告)号：CN118814121A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410850851.9
申请日：2024-06-28
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种具有高硬度和高韧性的Zr‑B‑C涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积涂层。制备Zr‑B‑C涂层中：本底压强抽至3×10‑3Pa以下，沉积温度370‑450℃，直流ZrB2靶功率1.2‑1.8kW，通入Ar和C2H2，C2H2流量为3‑18sccm；本发明通过工艺设计及优化C元素含量，制备出兼具高硬度和高韧性的Zr‑B‑C涂层。
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公开(公告)号：CN118441248A
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202410191226.8
申请日：2024-02-21
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种高抗氧化性、高耐磨性的Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。本发明采用高功率脉冲磁控溅射和电弧离子镀复合镀膜技术在基体上沉积Ti‑Al‑V‑C纳米复合涂层；沉积该纳米复合涂层时：靶材选取金属AlTi靶和V靶，本底真空度为6×10‑3Pa以上，控制偏压为‑100～‑200V，沉积压强为0.5～0.8Pa，AlTi靶连接高功率脉冲磁控溅射电源，AlTi靶溅射功率0.4～2.0kW，V靶连接电弧离子镀电源，V靶电流为85～100A。本发明通过优化涂层中的Al、Ti、V元素含量，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高抗氧化能力的涂层。
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公开(公告)号：CN119243096A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202410850936.7
申请日：2024-06-28
Applicant: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
Abstract: 本发明公开了一种兼具高硬度、高韧性的Zr‑B‑C涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。采用脉冲直流磁控溅射技术沉积所述Zr‑B‑C涂层，涂层组成为：C为28.5‑41.9at.％，B为14.7‑28.2at.％，Zr为20.9‑39.1at.％，O为3.1‑6.5at.％；沉积Zr‑B‑C涂层时采用ZrB2靶，并在Ar和C2H2混合气氛中进行，沉积温度370‑450℃，ZrB2靶功率为1.2‑1.8kW；通入Ar流量为100‑120sccm，C2H2流量为3‑18sccm。本发明通过工艺设计及优化C元素含量，制备出兼具高硬度和高韧性的Zr‑B‑C涂层。
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