基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置

    公开(公告)号:CN101520320B

    公开(公告)日:2010-07-28

    申请号:CN200910071665.0

    申请日:2009-03-30

    Abstract: 基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置属于光学检测技术领域;在隔振基座上安装有球形气浮台和龙门支架,直线气浮导轨固定在龙门支架中央部位处,直线气浮导轨下端配置有光学波面干涉仪;球形气浮台由球形气浮轴、气浮轴基座、旋转电机、步进电机、环形导轨、第一导轨副、第二导轨副、支撑机构组成;球形气浮轴的台面上固定一环形导轨,环形导轨上对称配置第一导轨副和第二导轨副,第一导轨副与固定在气浮轴基座上的旋转电机刚性连接,第二导轨副通过轴承与固定在气浮轴基座上的支撑机构运动连接,步进电机固定在第二导轨副上,并与环形导轨运动连接;该装置机构简单,运动精度要求较低,并抑制了环境震动和被测件形变对测量结果的影响。

    基于Nipkow盘的衍射多光谱成像装置及方法

    公开(公告)号:CN101581604A

    公开(公告)日:2009-11-18

    申请号:CN200910071681.X

    申请日:2009-03-31

    Abstract: 基于Nipkow盘的衍射多光谱成像装置及方法属于成像光谱技术领域;该装置包括衍射透镜、由挡光板、Nipkow盘及微透镜阵列盘组成的层析及成像系统、探测器、相对位置固定机构、第一及第二旋转驱动机构、直线驱动器;相对位置固定机构解锁,第一及第二旋转驱动机构能够分别驱动挡光板与微透镜阵列盘及Nipkow盘旋转;相对位置固定机构锁紧,第一驱动机构驱动层析及成像系统扫描入射光像方焦平面直接获得某单一波长入射光的二维图像及光谱信息;直线驱动器驱动层析及成像系统沿衍射透镜光轴扫描即可获得被探测光谱范围内所有波长入射光的图像及光谱信息;本发明具有低杂散光、高光谱分辨率、高空间分辨率的特点。

    基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置

    公开(公告)号:CN101520320A

    公开(公告)日:2009-09-02

    申请号:CN200910071665.0

    申请日:2009-03-30

    Abstract: 基于球形气浮轴的非球面子孔径拼接测量装置属于光学检测技术领域;在隔振基座上安装有球形气浮台和龙门支架,直线气浮导轨固定在龙门支架中央部位处,直线气浮导轨下端配置有光学波面干涉仪;球形气浮台由球形气浮轴、气浮轴基座、旋转电机、步进电机、环形导轨、第一导轨副、第二导轨副、支撑机构组成;球形气浮轴的台面上固定一环形导轨,环形导轨上对称配置第一导轨副和第二导轨副,第一导轨副与固定在气浮轴基座上的旋转电机刚性连接,第二导轨副通过轴承与固定在气浮轴基座上的支撑机构运动连接,步进电机固定在第二导轨副上,并与环形导轨运动连接;该装置机构简单,运动精度要求较低,并抑制了环境震动和被测件形变对测量结果的影响。

    长焦深超分辨二次共焦测量装置

    公开(公告)号:CN101469972A

    公开(公告)日:2009-07-01

    申请号:CN200810212341.X

    申请日:2008-09-08

    Abstract: 本发明公开了一种长焦深超分辨二次共焦测量装置,其包括设置于同一光路上的激光器、准直扩束镜组、偏振分光镜和四分之一波片、超分辨滤波器、可调光阑,以及分光镜,还包括一个数据处理装置,其能够从所述点探测器获得并记录微驱动装置带动探测聚焦物镜处于不同位置时探测器探测到的光信号;并能够根据四步移相法将所述探测器的多个光信号分别转化为多个相位值。本发明针通过光瞳滤波对测量光斑横向衍射模式进行压缩的同时,使其轴向衍射模式得到扩展,从而在不牺牲轴向分辨力的情况下,提高横向分辨力、扩展轴向量程范围。

    一种融合样本定位质量分数与分类置信度分数的高准确度单阶段目标检测方法

    公开(公告)号:CN118332406A

    公开(公告)日:2024-07-12

    申请号:CN202410505020.8

    申请日:2024-04-25

    Abstract: 本发明公开了一种融合样本定位质量分数与分类置信度分数的高准确度单阶段目标检测方法。单阶段检测模型同时对每个特征点进行分类和回归定位,且分类和回归两个任务相互独立,互相之间缺乏感知,导致出现假阳性检测结果(高分类置信度分数,低定位准确度),这显著影响了单阶段检测模型的应用。为了解决这一问题,本发明设计了基于特征的可学习定位质量分支(LQE),通过增加分类‑回归定位的相互感知抑制假阳性检测,并将该LQE分支与传统的分类分支融合,使其能够同时辅助模型训练与推理检测。通过指数因子动态地调控LQE分支在融合分数(ranking_score)中的占比,进一步优化LQE分支及定位质量分数的调控作用。最后采用基于样本IoU的二值交叉熵损失函数监督LQE分支的训练,提升LQE分支的训练效率。由于LQE分支的轻量级特性,仅包含一层激活层,因此对检测速度没有影响。

    面向金属管材表面裂纹缺陷的视觉检测系统

    公开(公告)号:CN116977319A

    公开(公告)日:2023-10-31

    申请号:CN202311015647.7

    申请日:2023-08-14

    Abstract: 本发明公开了一种面向金属管材表面裂纹缺陷的视觉检测系统,以解决金属管材表面质量监控中存在的过曝光因素降低图像质量、难以实现高精度裂纹检测、难以实现实时检测的技术难题,属于金属材料缺陷检测领域。本发明包括多照明融合的图像采集系统、金属管材裂纹缺陷语义分割模型。上述两者依次通过环形光与同轴光相结合、在Unet基线网络模型中引入双注意力与边界修正模块,实现了金属管材表面裂纹区域的获取与识别,从而解决了上述关键技术问题。实践证明,本系统能够实现对金属管材表面裂纹的高质量采集,并具有较高的检测精度与推理速度,满足了制造业对金属管材表面质量监控的迫切需求。

    一种多偏振态入射显微拉曼光谱应力检测方法及装置

    公开(公告)号:CN116678866A

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202310624320.3

    申请日:2023-05-30

    Abstract: 本发明涉及一种用于硅材料和砷化镓材料半导体器件微尺度三轴主应力检测的多偏振态入射显微拉曼光谱应力检测方法及装置,属于光学显微测量技术领域;本发明利用高数值孔径(NA)物镜下径向偏振光入射结合检偏器实现纵向光学(LO)声子和横向光学(TO)声子的同时激发与获取,利用高NA物镜下角向偏振光入射结合检偏器实现LO声子的独立激发与获取。以角向偏振光入射下独立激发的LO峰作为先验信号,实现径向偏振光入射激发的TO峰和LO峰的有效分离,进而消除传统拉曼光谱应力检测方法中TO峰难以激发或难以与LO峰分离引入的原理误差,实现微尺度三轴主应力精确测量;本发明有效提升了复杂应力情况下硅材料和砷化镓材料半导体器件的应力检测精度。

    基于数据驱动的金属表面缺陷语义分割网络与训练方法

    公开(公告)号:CN116152498A

    公开(公告)日:2023-05-23

    申请号:CN202310174129.3

    申请日:2023-02-28

    Abstract: 本发明公开了一种基于数据驱动的金属表面缺陷语义分割网络与训练方法,以解决金属表面质量监控中存在的缺陷像素数量与分布不均衡、低对比度、边界轮廓难以精确拟合的技术难题,属于图像处理领域。本发明包括基于U2Net的双注意力多尺度残差聚合网络、缺陷类别权重计算方法、缺陷迁移拓扑方法、双边界关注的损失计算方法。以上网络与训练方法依次通过聚合图像的多尺度信息并施加注意力、改变类别的权重因子、将缺陷像素区域拓扑到无缺陷图像中、对地面真值边界与预测结果边界施加双重关注来解决上述技术问题。实践证明,本方法提高了金属表面缺陷数据集密集分类的精度,满足了制造业对金属表面质量监控的迫切需求。

    一种基于双波段探测的双轴光谱线共焦传感器

    公开(公告)号:CN115307569A

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202210627768.6

    申请日:2022-06-06

    Abstract: 本发明设计了一种基于双波段探测的双轴光谱线共焦传感器,属于三维面型测量技术领域。本发明包括:光源组件,用于提供系统测量所需的光辐射;照明组件,用于将照明光整形并使不同波长均匀聚焦在测量面上不同轴向位置;探测组件,用于收集反射光并提供与照明组件共轭的光路,滤除离焦波长;光谱解调组件,用于分离两个照明波段并分别记录两个波段包含被测样品表面轮廓信息的能量谱。本发明结合线性渐变滤光片和分波段探测技术,解决了色散系统与光谱解调系统结构复杂和光谱解调系统光谱范围与光谱分辨率矛盾的问题,实现了大量程、高轴向分辨力的光谱线共焦传感。

    三维点光谱共焦传感方法与系统
    70.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115143882A

    公开(公告)日:2022-10-04

    申请号:CN202210624626.4

    申请日:2022-06-02

    Abstract: 本发明公开了一种三维点光谱共焦传感方法与系统,装置由白光LED光源、色散镜头组件、信号探测装置和光谱解调装置组成,各部分通过光纤耦合器进行连接。本发明通过衍射透镜配合非球面透镜组成色散镜头,配合宽谱段白光LED光源可生成大范围的轴向色散,同时简化色散镜头结构;横向和轴向探测分别由信号探测装置和光谱解调装置完成,避免由于解调光路像差导致的横向分辨率降低;光谱解调装置采用线性渐变滤光片将不同波长展开,可直接成像在探测器上,减小了系统的体积,降低了装调的难度;测量数据通过算法处理对样品表面进行重构。本发明可通过对样品的二维扫描获得高精度三维形貌信息,系统结构紧凑,且探测器采用光电倍增管和线阵相机,具有高测量速度。

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