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公开(公告)号：CN117723264A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311739424.5
申请日：2023-12-18
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
IPC: G01M10/00
Abstract: 本发明涉及微电子测试分析技术领域，具体公开了一种一种采用主被动结合控制的射流实验装置,该装置包括收缩喷嘴、柔性喷嘴、金属杆以及电机，柔性喷嘴与收缩喷嘴连通；柔性喷嘴的壁面的外周侧具有至少两个微射流孔位以及至少两个开槽，至少两个微射流孔位以及至少两个开槽在柔性喷嘴的外周侧等距且环形分布，且微射流孔位的数量及位置与开槽的数量及位置对应，微射流孔位用于连接高压气源。采用主被动结合控制的射流实验装置，利用电机控制金属杆，金属杆在被电机驱动进行运动时，将挤压或者拉伸柔性喷嘴实现不同的射流出口形状，保证了运动轨迹的精准度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114941998A
公开(公告)日：2022-08-26
申请号：CN202210624968.6
申请日：2022-06-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供了一种三维线光谱共焦传感方法与装置，包含：光源模块，色散透镜模块，分束器，强度探测模块，滤波模块，光谱探测模块。光源模块采用双光源输入，单个光源在相应的波段范围具有较高的光谱均匀性，增大了光谱范围，提升了光谱一致性。采用色散透镜模块对两个波段的照明光进行色散调制，双波段的叠加可以实现更大的轴向探测范围。强度探测模块采用狭缝和探测器，有效记录了物体焦点处的能量分布，获得对应的全强度图，实现更高准确率的横向二维测量。光谱探测模块采用双光谱解调探测系统，与双光源的波段范围对应，获得对应的光谱分布图，提升光谱分辨率和轴向分辨力。结合强度探测的全强度图和光谱探测的光谱图，通过线扫描的方式，获得更高的横向分辨力和轴向分辨力的三维测量。因此，本发明提出的一种三维线光谱共焦传感方法与装置，在线扫描快速检测的基础上，可以实现更大的轴向探测范围，更高的横向分辨力以及更高的轴向分辨力的三维测量。
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公开(公告)号：CN111880300A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010647988.6
申请日：2020-07-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 激光共聚焦线扫描测量显微装置常用于生物成像、工业检测，具有快速便捷、简单易实现的特点。本发明针对共焦线扫描显微镜成像质量低、光利用率低等问题，进行改进。以往线扫描共焦显微采用狭缝照明与狭缝探测，在光源后面加入狭缝产生线型光，将线型光成像到物体上照明物体的线型区域，同过对线型区域物点的同时探测，实现线探测。而探测光信号同样采用狭缝进行光滤波，对离焦光进行抑制。光通过两个狭缝后，光强削减了很多，因而实际探测中，对光源强度和探测器灵敏度有较高要求。为此，在本发明中利用虚拟狭缝和柱面镜同时代替了两个物理狭缝的功能。柱面镜和狭缝的引入能降低对器件要求，同时简化装置，使装置小型化成为可能，扩大运用范围。
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公开(公告)号：CN115307569A
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210627768.6
申请日：2022-06-06
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明设计了一种基于双波段探测的双轴光谱线共焦传感器，属于三维面型测量技术领域。本发明包括：光源组件，用于提供系统测量所需的光辐射；照明组件，用于将照明光整形并使不同波长均匀聚焦在测量面上不同轴向位置；探测组件，用于收集反射光并提供与照明组件共轭的光路，滤除离焦波长；光谱解调组件，用于分离两个照明波段并分别记录两个波段包含被测样品表面轮廓信息的能量谱。本发明结合线性渐变滤光片和分波段探测技术，解决了色散系统与光谱解调系统结构复杂和光谱解调系统光谱范围与光谱分辨率矛盾的问题，实现了大量程、高轴向分辨力的光谱线共焦传感。
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公开(公告)号：CN115143882A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210624626.4
申请日：2022-06-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种三维点光谱共焦传感方法与系统，装置由白光LED光源、色散镜头组件、信号探测装置和光谱解调装置组成，各部分通过光纤耦合器进行连接。本发明通过衍射透镜配合非球面透镜组成色散镜头，配合宽谱段白光LED光源可生成大范围的轴向色散，同时简化色散镜头结构；横向和轴向探测分别由信号探测装置和光谱解调装置完成，避免由于解调光路像差导致的横向分辨率降低；光谱解调装置采用线性渐变滤光片将不同波长展开，可直接成像在探测器上，减小了系统的体积，降低了装调的难度；测量数据通过算法处理对样品表面进行重构。本发明可通过对样品的二维扫描获得高精度三维形貌信息，系统结构紧凑，且探测器采用光电倍增管和线阵相机，具有高测量速度。
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公开(公告)号：CN219865511U
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202320525148.1
申请日：2023-03-13
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)
Abstract: 本实用新型提供了一种用于风场生成的风扇阵列装置，解决了风场形式单一，无法满足复杂的风场测试需求的问题；该装置包括固定框架、风生成单元和控制单元，固定框架上设置有呈矩阵式排列的固定空间，所有风生成单元均固定于对应固定空间内；风生成单元包括单元框架和两个以上风扇，单元框架位于风扇的侧部，并固定于固定框架上，风扇在单元框架上呈矩阵式排列，同层的相邻风扇之间可拆卸连接，且同层的所有风扇通过一个或两个以上紧固件固定在单元框架上；当风扇设置有两层以上时，不同层的风扇之间间隙配合；控制单元与对应风扇电连接，用于单独控制对应风扇的转速。该装置能够实现复杂预设流场的生成，能满足不同应用场景的使用需求。
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