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公开(公告)号：CN117723264A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311739424.5
申请日：2023-12-18
Applicant: 哈尔滨工业大学(深圳)(哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院)
IPC: G01M10/00
Abstract: 本发明涉及微电子测试分析技术领域，具体公开了一种一种采用主被动结合控制的射流实验装置,该装置包括收缩喷嘴、柔性喷嘴、金属杆以及电机，柔性喷嘴与收缩喷嘴连通；柔性喷嘴的壁面的外周侧具有至少两个微射流孔位以及至少两个开槽，至少两个微射流孔位以及至少两个开槽在柔性喷嘴的外周侧等距且环形分布，且微射流孔位的数量及位置与开槽的数量及位置对应，微射流孔位用于连接高压气源。采用主被动结合控制的射流实验装置，利用电机控制金属杆，金属杆在被电机驱动进行运动时，将挤压或者拉伸柔性喷嘴实现不同的射流出口形状，保证了运动轨迹的精准度。
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