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公开(公告)号：CN104934499A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201510114614.7
申请日：2015-03-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G01V8/12 , B24B37/042 , B24B49/12 , C03C15/00 , C03C17/09 , C03C17/245 , C03C23/007 , C03C23/0075 , C03C2204/08 , C03C2217/252 , C03C2217/258 , C03C2217/28 , C03C2218/152 , C23C16/0227 , C23C16/402 , H01L31/18 , H01L22/12
Abstract: 本发明提供了用于加工和检测合成石英玻璃衬底的方法。具体地，通过研磨、蚀刻、镜面抛光、和清洁步骤来加工具有前表面和后表面的合成石英玻璃衬底，由此将该衬底的前表面抛光成镜面状表面。使用pH为4－7的氢氟酸溶液进行蚀刻步骤。
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公开(公告)号：CN103809371A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201310533747.9
申请日：2013-11-01
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 矩形基板在其具有拓扑图案后用作模具。该基板具有A侧和B侧的相对表面，该A侧表面具有拓扑图案。该A侧表面包括具有至多350nm的平坦度的1～50毫米×1～50毫米的中心矩形区域。使用该形成模具用基板防止在形成模具用基板上形成团的步骤与转印步骤之间发生图案错排或图案错误。能够转印微小尺寸和复杂的图案。
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公开(公告)号：CN102179731A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201010609290.1
申请日：2010-12-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: B24B1/00 , B24B37/00 , B24B37/04 , C03C15/00 , C03C15/02 , C09G1/02 , G03F1/14 , H01L21/027 , B08B3/08
CPC classification number: C03C15/02 , C03C19/00 , C03C23/0075 , C09G1/02 , C09K3/1463
Abstract: 本发明提供了一种合成石英玻璃衬底的制备方法。本发明还提供了一种合成石英玻璃衬底，其通过如下步骤制备：(1)使用抛光浆料抛光合成石英玻璃衬底，该浆料包含胶体颗粒、带有与胶体颗粒相同类型电荷的离子有机化合物、和水，及(2)将抛光的衬底浸入酸或碱溶液用以将衬底表面刻蚀到0.001-1nm的深度。本方法制备了合成石英玻璃衬底同时抑制了其尺寸通过高敏感度缺陷检测工具可检测的缺陷的形成，且提供了具有令人满意的表面粗糙度的衬底。
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公开(公告)号：CN102096311A
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN201010582088.4
申请日：2010-12-10
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F1/14 , H01L21/027
CPC classification number: G03F1/60 , G03F1/14 , Y10T428/24488
Abstract: 提供了一种形成光掩模的玻璃基板，其具有方形主表面，其中在该主表面上限定两个条带区域，使得每一区域跨展在侧边内2mm至10mm之间并且不包括从该侧边的相对的端部向内延伸2mm的端部部分，对两个条带区域中的每一个计算最小二乘平面，两个条带区域的最小二乘平面的法线之间包括的角度在10秒内，并且两个条带区域之间高度差为直至0.5μm。
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公开(公告)号：CN110752188B
公开(公告)日：2025-01-21
申请号：CN201910663690.1
申请日：2019-07-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: H10H20/85
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃空腔件、合成石英玻璃空腔盖、光学装置封装体和制造方法。具体地，将合成石英玻璃空腔件(1)连接至其上安装有光学装置(7)的基材(6)，使得该装置可容纳在空腔件中。由与装置(7)相对的顶表面(2a)和侧表面(3a)构成的内表面限定空腔件(1)。顶表面(2a)是镜面表面并且侧表面(3a)是粗糙表面。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118377069A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202410073216.4
申请日：2024-01-18
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 用于光学元件的窗材料，其包括：合成石英玻璃基板，该基板具有平板形状并具有透过光的主表面，该主表面的至少一个是粗糙表面；和在合成石英玻璃基板的至少一个主表面上形成的防反射膜，该主表面是粗糙表面。本发明的用于光学元件的窗材料容易成型加工，在宽的波长区域中经历小的经时变化并在长的时间段中稳定，并具有分布光的高的总透光率。
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公开(公告)号：CN108873599B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN201810428812.4
申请日：2018-05-08
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种大尺寸合成石英玻璃衬底、评价方法、和制造方法。该大尺寸合成石英玻璃衬底具有至少1,000mm的对角线长度。假设在衬底表面上限定有效范围，并且将有效范围划分为多个评价区域，使得所述评价区域彼此部分重叠，每个评价区域中的平坦度为至多3μm。从具有高平坦度和在衬底表面内的最小局部梯度的石英玻璃衬底制备大尺寸光掩模。
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公开(公告)号：CN116282854A
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN202211641730.0
申请日：2022-12-20
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C03B20/00 , C03B23/203
Abstract: 本发明提供了用于在微流路装置中使用的合成石英玻璃基板、合成石英玻璃微流路装置及其制造方法，在制造微流路装置时可将通过光学接触的接合应用于该微流路装置，并且其在接合界面中具有高黏着性，并且不会导致例如未结合和基板的破损的缺陷以及气泡夹在接合界面处的缺陷。用于在微流路装置中使用的合成石英玻璃基板，其中在0.4mm‑1或更大且100mm‑1或更小的空间频率下的循环平均功率谱密度的最大值为5.0×1015nm4或更小，所述最大值通过使用白色干涉仪测量所述合成石英玻璃基板的表面上6.0mm×6.0mm的任何给定区域而获得。
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公开(公告)号：CN110066101B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN201910060528.0
申请日：2019-01-23
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及一种合成石英玻璃基板及其制造方法。具体涉及一种具有可控的氢分子浓度的合成石英玻璃基板，其通过如下步骤来制备：(a)将合成石英玻璃锭热成形为玻璃块，(b)将玻璃块切成玻璃板，(c)在500℃至1,250℃下对玻璃板进行15小时至60小时的退火，(d)在300℃至450℃、于氢气气氛中对玻璃板进行20小时至40小时的氢掺杂处理，以及(e)在200℃至400℃下对玻璃板进行5小时至10小时的脱氢处理。
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