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公开(公告)号:CN104040430A
公开(公告)日:2014-09-10
申请号:CN201280065652.2
申请日:2012-07-17
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03C1/61 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/0751 , G03F7/105
Abstract: 本发明公开了正性光敏树脂组合物,该正性光敏树脂组合物包含:(A)选自聚苯并噁唑前体、聚酰亚胺前体、以及它们的组合的碱溶性树脂;(B)光敏重氮醌化合物;(C)苯酚化合物;(D)有机染料以及(E)溶剂,其中,有机染料(D)包含至少一种具有590nm至700nm的吸收波长的红染料、至少一种具有550nm至590nm的吸收波长的黄染料、以及至少一种具有450nm至500nm的吸收波长的蓝染料。
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公开(公告)号:CN104024940A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201280065648.6
申请日:2012-11-29
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/11 , G03F1/38 , G03F7/004 , G03F7/26 , H01L21/027
CPC classification number: C07C39/21 , C07C39/225 , C08G65/38 , G03F1/00 , G03F7/094 , G03F7/20 , H01L21/02118 , H01L21/02282 , H01L21/0332 , H01L21/31144
Abstract: 本发明涉及一种由式1表示的用于硬掩模组合物的单体、包含该单体的硬掩模组合物、以及使用该硬掩模组合物形成图案的方法。
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公开(公告)号:CN104024939A
公开(公告)日:2014-09-03
申请号:CN201280063124.3
申请日:2012-05-17
Applicant: 第一毛织株式会社
Abstract: 本发明公开了用于彩色滤光片的光敏树脂组合物及使用其的彩色滤光片,该光敏树脂组合物包含:(A)含有选自由以下化学式1和2表示的化合物中的至少一种的方酸菁染料(squaraine dye)、(B)碱溶性树脂、(C)可光聚合单体、(D)光聚合引发剂、以及(E)溶剂。
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公开(公告)号:CN102566282B
公开(公告)日:2014-06-11
申请号:CN201110306768.8
申请日:2011-10-11
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/09 , H01L21/02 , H01L21/027
CPC classification number: H01L21/31144 , G03F7/094 , H01L21/02112 , H01L21/0332
Abstract: 本发明提供硬掩模组合物,所述硬掩模组合物包括一种化合物和溶剂,所述化合物包括用以下化学式1表示的结构单元,在化学式1中,A、L、B、R1、R2、n1和n2中的每一个与在具体实施方式中所定义的相同。并且,本发明提供了利用所述硬掩模组合物形成图案的方法,以及包括通过所述图案形成方法形成的多个图案的半导体集成电路器件。所述硬掩模组合物具有高的蚀刻选择性和改进的光学特性,同时保证对多重蚀刻的抗蚀性。[化学式1]
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公开(公告)号:CN103135350A
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN201210260827.7
申请日:2012-07-25
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G02B5/223 , G03F7/027 , G03F7/0388
Abstract: 本发明披露了用于滤色器的光敏树脂组合物以及使用其的滤色器。所述用于滤色器的光敏树脂组合物包括:(A)包含由以下化学式1表示的结构单元的丙烯酸类共聚物;(B)丙烯酸类光聚合单体;(C)光聚合引发剂;(D)着色剂;以及(E)溶剂。在化学式1中,R1和R2各自独立地为氢或者取代或未取代的C1至C30烷基基团,且Q由以下化学式2表示,在化学式2中,R3是氢或者取代或未取代的C1至C30烷基基团,Y1是C1至C30烷基基团,X1和X2各自独立地为-O-、-N(H)-、或-S-。
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公开(公告)号:CN102053498B
公开(公告)日:2013-05-15
申请号:CN201010190605.3
申请日:2010-05-27
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/075 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明披露了一种正型感光性树脂组合物,其包括(A)聚苯并噁唑前体,该聚苯并噁唑前体包括化学式1表示的重复单元、化学式2表示的重复单元、或其结合,和在聚苯并噁唑前体至少一个末端的可热聚合官能团;(B)感光性重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)包含交联官能团的酚类化合物;以及(E)溶剂。
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公开(公告)号:CN102540724A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201110238394.0
申请日:2011-08-18
Applicant: 第一毛织株式会社
IPC: G03F7/039 , H01L21/312
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0751 , G03F7/40
Abstract: 本发明提供了正型光敏树脂组合物,其包括:(A)包括含有由以下化学式1表示的重复单元和由以下化学式2表示的重复单元并在至少一个末端上具有热聚合性官能团的第一聚苯并噁唑前体的聚苯并噁唑前体;(B)光敏重氮醌化合物;(C)硅烷化合物;(D)酚化合物;和(E)溶剂。本发明提供了利用该正型光敏树脂组合物制造的光敏树脂膜。并提供了一种包含该光敏树脂膜的半导体器件。利用该正型光敏树脂组合物制造的膜具有改善的机械性质、可靠性、灵敏度、分辨率、图案外观和残余物除去性。
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公开(公告)号:CN104903384B
公开(公告)日:2017-07-25
申请号:CN201380070093.9
申请日:2013-09-30
Applicant: 第一毛织株式会社
CPC classification number: C08F230/08 , C07F7/1804 , C08F130/08 , C08G65/336 , C08G77/20 , C08L71/02 , C08L83/04 , G03F7/027 , G03F7/0755 , H01L51/0034 , H01L51/0094 , H01L51/5253 , C08F2222/1013
Abstract: 本发明涉及:可光固化组合物,其包含具有由化学式A表示的重复单元(具有1至15碳数的直链或支链的亚烷基氧化物)和可光固化官能团的硅基化合物;还涉及包含该组合物的阻挡层;和包含该阻挡层的封装设备。
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