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公开(公告)号：CN108544739B
公开(公告)日：2023-07-04
申请号：CN201810319845.5
申请日：2018-04-11
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种半球谐振器的热成型装置及半模压热成型加工方法，其中的热成型装置，包括：用于承载成型材料片的承载台，与所述承载台密封连接的凹模，以及与所述承载台密封连接且支撑在所述凹模下方的密封头；其中，在所述凹模的型腔的底部中心设置有用于固定成型材料柱的插槽，在所述凹模的型腔的底部还设置多个抽气孔；在所述密封头的下端密封连接抽气管，在所述抽气管中布置可升降的顶杆，所述顶杆的上端与顶针固定连接，所述顶针的上端布置于开设在所述凹模底部的顶针孔中，所述顶针孔与插槽相通。
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公开(公告)号：CN112880657B
公开(公告)日：2023-02-07
申请号：CN202110053102.X
申请日：2021-01-15
Applicant: 清华大学
IPC: G01C19/56 , G01C19/5776
Abstract: 本发明涉及一种用于MEMS谐振式陀螺仪信号解调及控制的片上系统，其包括：处理器、专用处理模块、存储加载模块、外设、调试接口和总线；MEMS谐振式陀螺仪经A/D模块将传感器信号传输至所述处理器，所述处理器经所述总线分别与所述专用处理模块、存储加载模块、外设和调试接口进行信息交互；所述处理器将接收到的数据处理后经所述A/D模块向所述MEMS谐振式陀螺仪传输控制和反馈信号。本发明实现了数字和模拟混合电路的单片集成。本发明可以广泛应用于MEMS谐振式陀螺仪的测控领域。
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公开(公告)号：CN113503899A
公开(公告)日：2021-10-15
申请号：CN202110784967.3
申请日：2021-07-12
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于传感器信号处理技术领域，涉及一种基于神经网络的非线性误差抑制系统和传感器，包括：滑动滤波模块、MLP处理模块和参数存储模块；滑动滤波模块，用于根据滤波算法对输入信号进行滤波处理；MLP处理模块，用于根据神经网络算法对经过滤波处理的信号进行补偿，获得下一时刻的误差补偿值，用误差补偿值减去经过滤波处理的信号获得经过补偿的信号；参数存储模块，用于存储滑动滤波模块和MLP处理模块的信号和参数。其将滤波算法和神经网络算法结合，对传感器输出信号中的非线性误差进行处理，实时地进行误差补偿，支持最高3.2MHz的信号采样频率。
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公开(公告)号：CN107528557B
公开(公告)日：2021-03-02
申请号：CN201710801461.2
申请日：2017-09-07
Applicant: 清华大学
IPC: H03F3/45
Abstract: 本发明实施例公开了一种数据驱动的运算放大器，该运算放大器包括：相互连接的N型和P型互补输入的循环折叠跨导运算放大器电路以及数据驱动的运算放大器偏置电路；该数据驱动的运算放大器偏置电路包括输入差分信号比较器；输入差分信号比较器用于检测输入差分信号，并当输入差分信号大于或等于输入差分信号比较器的打开阈值时增大电路的偏置电流，当输入差分信号小于输入差分信号比较器的打开阈值时，保持电路的偏置电流不会变。并且可根据应用需求动态调整放大器电流大小，以及比较器打开阈值和比较器速度，控制大电流的工作窗口。通过该实施例方案，提高了高性能开关电容电路的速度，并降低了功耗、提高了良率。
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公开(公告)号：CN109059915B
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201811132424.8
申请日：2018-09-27
Applicant: 清华大学
Abstract: 本申请提供一种重力补偿方法、系统和装置。导航计算机根据运载体的初始重力矢量、比力和姿态信息确定运载体的位置信息，并将其发送至重力计算机,重力计算机根据运载体的位置信息计算运载体所在位置的重力矢量，并发送至导航计算机，导航计算机根据运载体所在位置的重力矢量更新运载体实时重力矢量。这样，通过导航计算机与重力计算机的通讯进行运载体的位置信息传递和其重力矢量更新，且重力计算机对运载体重力矢量的计算不会打断导航计算机对运载体导航信息的解算，有效的保证导航信息的实时输出，该计算过程简单，复杂度低，大大缩短了重力矢量计算时间，保证运载体的重力矢量更新满足导航系统重力补偿的实时性要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110311684B
公开(公告)日：2020-11-27
申请号：CN201910619492.5
申请日：2019-07-10
Applicant: 清华大学
IPC: H03M3/00
Abstract: 本发明涉及一种基于微机电陀螺的自动调谐带通Σ‑Δ接口电路，其包括C/V转换模块、环路滤波模块、观测器、量化器和DAC反馈模块；所述环路滤波模块的输出端经所述量化器与所述DAC反馈模块输入端连接，所述DAC反馈模块输出端与所述环路滤波模块的输入端连接构成闭环结构，形成Sigma‑delta调制器；现有检测模块将检测到的电容信号经过所述C/V转换模块转换成比例的电压信号，该电压信号与所述DAC反馈模块输出的反馈模拟信号进行逻辑运算后输入所述Sigma‑delta调制器，实现噪声整形和量化输出；所述观测器产生控制电压作用在所述环路滤波模块上，实现自动调谐。本发明可以实时进行中心频点的调整，跟踪MEMS陀螺仪的谐振频率变化，显著提高MEMS陀螺仪的环境适应性，提高整体精度。
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公开(公告)号：CN108276019B
公开(公告)日：2020-10-27
申请号：CN201810172660.6
申请日：2018-03-01
Applicant: 清华大学 , 北京巨瓷科技有限公司
Abstract: 本发明提供了精密真空转子球腔装置及其陶瓷电极引针的金属化封接方法。该封接方法包括：S100：在所述精密真空转子球腔装置的陶瓷碗引针孔内填充金属化膏剂；S200：使陶瓷电极引针穿过所述金属化膏剂并伸入所述陶瓷碗内部；S300：将步骤S200中得到的产品进行第一烧结。由此，不仅可以实现陶瓷电极引针与陶瓷碗的良好匹配性，而且封接效果好；金属化膏剂与陶瓷碗的匹配较好，可进一步提高封接效果；该方法不需要焊料进行钎焊，而是直接使用金属化膏剂与陶瓷碗和陶瓷电极引针利用烧结的方法进行焊接，避免了焊料的磁性对精密真空转子球腔装置的性能产生负面影响；陶瓷电极引针不易断裂，可靠性高；该封接方法工艺简单，成本低，且氦漏率不大于1.0×10‑11Pa/m3·s和1.0×10‑12Pa/m3·s的成品率分别为100％和80％。
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公开(公告)号：CN110031647B
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910374194.4
申请日：2019-05-07
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种用于容栅式角位移传感器的ASIC接口，该ASIC接口包括直流电容对消阵列、C‑V转换器、谐振器、量化器、有数字信号控制的电容反馈阵列和数字解调滤波模块；所述直流电容对消阵列用于抵消检测电容中的直流量C0；C‑V转换器用于将检测电容信号经过C‑V转换为成比例的电压信号；谐振器用于将所述C‑V转换器输出的电压信号进行带通Σ‑Δ调制；量化器用于将所述谐振器输出的信号转换成位流信号；所述数字信号控制的电容反馈阵列用于根据所述量化器输出的位流信号调节所述C‑V转换器输入信号的动态范围；数字解调滤波电路用于将所述量化器输出的位流信号经过数字解调输出传感器测量信号的数字量。
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公开(公告)号：CN109738093B
公开(公告)日：2020-02-14
申请号：CN201910097689.7
申请日：2019-01-31
Applicant: 清华大学
IPC: G01L1/10
Abstract: 本发明涉及一种用于微机电器件应力检测的片上谐振梁结构及检测方法，其包括微机电器件和谐振梁；微机电器件包括由上向下依次设置的结构层、锚点层和基片层；谐振梁采用U型结构，其设置在结构层和基片层之间，U型结构的顶部和底部的两端通过3个锚点固定到基片层上；谐振梁的U型结构内部设置有一个检测电极，该检测电极的端部通过锚点与基片层固定连接；谐振梁的U型结构的外部上、下两侧各设置一个外部检测电极，两外部检测电极通过锚点与基片层固定连接；谐振梁与内、外部检测电极之间设置有电容，在谐振梁与检测电极之间施加电压产生静电力驱动谐振梁振动，通过检测电极与谐振梁之间电容量的变化检测谐振梁的振动。本发明可以广泛应用于微机电器件的应力检测领域。
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