一种基于AAO纳米结构光刻掩膜版的制备方法

    公开(公告)号:CN112099311B

    公开(公告)日:2024-05-21

    申请号:CN202011001312.6

    申请日:2020-09-22

    Abstract: 本发明公开了一种可以在目标基片制备出与AAO模板一致的分布均匀、形状统一的纳米结构的基于AAO纳米结构光刻掩膜版的制备方法。该基于AAO纳米结构光刻掩膜版的制备方法首先以进行PMMA旋涂的AAO多孔纳米结构为基底,在AAO表面生长一层金属层,再依次去除PMMA层和AAO层,利用玻璃衬底将纳米结构金属层从酸性溶液取出,将金属‑玻璃衬底上生长一层透明的覆盖层,最后得到由纳米结构金属‑玻璃衬底组成的亚微米级光刻掩膜版。采用该基于AAO纳米结构光刻掩膜版的制备方法将AAO纳米结构图形尺寸完全复制到金属层上,再将金属层固定到玻璃衬底上制备得到亚微米级光刻掩膜版,具有操作简单、成本低、精度高、保存方便等优点。

    一种隔离型恒流转恒压开关电源电路

    公开(公告)号:CN117595674A

    公开(公告)日:2024-02-23

    申请号:CN202311606094.2

    申请日:2023-11-28

    Abstract: 本申请公开了一种隔离型恒流转恒压开关电源电路,电路主要由分流稳压电路、储能滤波电路、隔离DC转DC电路、电压探测电路、PID反馈控制电路组成。分流稳压电路连接输入的恒流电流,其输出连接到储能滤波电路的输入;储能滤波电路的输出连接到隔离DC转DC电路;隔离DC转DC电路的输出信号连接到整个电路系统的电压输出端子,并且连接到电压探测电路;电压探测电路用于监控输出电压值并将反馈信号连接到PID反馈控制电路;PID反馈控制电路的输出连接到分流稳压电路。整个电路采用新型的开关电源拓扑结构和新型的电路反馈方式,实现了将恒流电流转换成隔离的恒压电压输出的功能,具有信号隔离、效率高、多个模块并联均流的特点。

    基于双栅的具有P型沟道特性的新型半导体器件

    公开(公告)号:CN113871478A

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202111025927.7

    申请日:2021-09-02

    Abstract: 本发明公开一种基于双栅的具有P型沟道特性的新型半导体器件,在传统AlGaN/GaN HEMT器件中引入底部栅极,通过背栅与顶栅控制沟道,实现具有P沟道特性的HEMT器件。一方面,通过顶部栅极偏置电压,使得器件处于关断状态。降低底部栅极偏置电压,削弱顶部栅所产生的电场,使得沟道二维电子气重新产生,实现P型沟道器件特性。另一方面,在开态下,进一步减小底部栅极偏置电压,异质结界面三角形势阱的深度增加,从而增大器件的开态电流。本发明实现的是一种基于双栅的具有P型沟道特性的新型半导体器件,避免了传统HEMT器件的无法实现二维空穴气,P型沟道的HEMT器件难以制造的难题,为实现具有P型沟道特性的HEMT器件提供新的思路。

    基于非对称开口圆环结构的双透射峰等离子光纤传感器

    公开(公告)号:CN109100332B

    公开(公告)日:2021-07-02

    申请号:CN201810751945.5

    申请日:2018-07-10

    Abstract: 本发明公开了一种基于非对称开口圆环结构的双透射峰等离子光纤传感器,包括金属薄膜以及开设在金属薄膜上的周期开口圆环狭缝阵列结构。单个周期结构由左右两个开口圆环狭缝构成,内外半径相同但圆心角不同的两个开口圆环狭缝水平位于单元中心左右两侧。本发明的传感器结构在近红外频段内具有高品质因数高透射率的双透射峰特性,利用该特性可进一步提高传感器灵敏度,并且可使传感器工作在两个不同的频段。同时,通过修改相关结构参数可以达到调整双透射峰频谱位置的目的,从而可以实现工作频段宽、适用范围广、灵敏度高、易于加工的等离子光纤传感器。

    一种基于AAO纳米结构光刻掩膜版的制备方法

    公开(公告)号:CN112099311A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202011001312.6

    申请日:2020-09-22

    Abstract: 本发明公开了一种可以在目标基片制备出与AAO模板一致的分布均匀、形状统一的纳米结构的基于AAO纳米结构光刻掩膜版的制备方法。该基于AAO纳米结构光刻掩膜版的制备方法首先以进行PMMA旋涂的AAO多孔纳米结构为基底,在AAO表面生长一层金属层,再依次去除PMMA层和AAO层,利用玻璃衬底将纳米结构金属层从酸性溶液取出,将金属‑玻璃衬底上生长一层透明的覆盖层,最后得到由纳米结构金属‑玻璃衬底组成的亚微米级光刻掩膜版。采用该基于AAO纳米结构光刻掩膜版的制备方法将AAO纳米结构图形尺寸完全复制到金属层上,再将金属层固定到玻璃衬底上制备得到亚微米级光刻掩膜版,具有操作简单、成本低、精度高、保存方便等优点。

    一种D型光子晶体光纤表面等离子体共振的多参量传感器

    公开(公告)号:CN112098339A

    公开(公告)日:2020-12-18

    申请号:CN202010712874.5

    申请日:2020-07-22

    Abstract: 本发明提供了一种可同时实现多参量(温度、磁场强度和折射率)检测用的D型光子晶体光纤(PCF)表面等离子体共振(SPR)的传感器。所述D型PCF在纤芯两侧的两个空气孔分别引入磁流体和温敏介质形成通道1和通道2。本发明在D形PCF的侧抛平面、通道1和通道2的内壁分别涂覆金属膜;利用SPR效应,形成折射率传感通道;利用磁流体的磁光效应,形成磁场传感通道;同时利用温敏介质的温敏效应,形成温度传感通道,从而设计实现温度、磁场强度和折射率的多参量同时检测的传感器。本发明的优点是:克服传统光纤传感器单一测量的不足,实现了多参量同时检测;另外,D型结构减少了传感器与纤芯的距离,使传感器迅速检测待测液变化,实现高灵敏度传感。

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