塑性加工用模具及其制造方法、以及铝材的锻造方法

    公开(公告)号:CN102527899B

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201110375527.9

    申请日:2011-11-23

    Inventor: 山本兼司

    CPC classification number: B21J3/00 B21J13/02 B21K5/20 Y10T428/265

    Abstract: 提供一种通过控制表面性状而使耐热粘性优异的塑性加工用模具及其制造方法、以及铝材的锻造方法。这种塑性加工用模具其特征在于,通过以下工序进行制造,即基材表面粗糙化工序,采用喷丸法使基材表面粗糙化,将算术平均粗糙度Ra调整为超过1μm且2μm以下;基材研磨工序,对该表面进行研磨,保持Ra为0.3μm以上且调整偏度Rsk为0以下;成膜工序,在该基材表面形成硬质覆膜,硬质覆膜的表面的算术平均粗糙度Ra为0.3μm以上且2μm以下,偏度Rsk为0以下。通过调整为不偏向凹部的凹凸形状,由此抑制蓄留润滑剂的凹部的容积,在凸部表面也能够附着足够的润滑剂。

    硬质皮膜形成部件以及硬质皮膜的形成方法

    公开(公告)号:CN103168113A

    公开(公告)日:2013-06-19

    申请号:CN201180050474.1

    申请日:2011-10-20

    Abstract: 本发明提供一种第1硬质皮膜形成部件,在基材上交替层叠A层和B层,A层满足组成为TiaCrbAlcSidYe(BuCvNw)(其中,a、b、c、d、e、u、v、w为特定量的原子比),B层满足组成为TifCrgAlh(BxCyNz)(其中,f、g、h、x、y、z为特定量的原子比),在设A层和B层的1组的层叠构造为1单位时,该1单位的厚度为10~50nm,且硬质皮膜的膜厚为1~5μm。另外,本发明还提供一种第2硬质皮膜形成部件,其隔着厚度为0.5μm以下的中间层或不隔着中间层而在所述B层上面层叠所述A层,A层的厚度为0.5~5.0μm,B层的厚度为0.05~3.0μm。

    成膜装置和成膜方法
    56.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103088287A

    公开(公告)日:2013-05-08

    申请号:CN201210415298.3

    申请日:2012-10-26

    CPC classification number: H01J37/3405 H01J37/3444 H01J37/3452

    Abstract: 本发明涉及一种成膜装置和成膜方法。本发明的成膜装置具有两台溅射蒸发源,该溅射蒸发源包括:非平衡磁场形成单元,该非平衡磁场形成单元由配备在内侧的内极磁铁和配备在该内极磁铁的外侧且磁力线密度比内极磁铁大的外极磁铁形成;以及靶,配备在非平衡磁场形成单元的前方,进而,所述成膜装置还具有交流电源,该交流电源通过在两台溅射蒸发源的各靶之间流过极性以10kHz以上的频率切换的交流电流,从而在两靶之间引起放电而进行成膜。

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